氦質譜檢漏儀常見的故障和處理：1、內部的泄漏，當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。2、本底信號不穩定，1）本底信號過高有可能是環境本底被污染，注意檢查室內是否有氦氣源在泄漏，將室內的門窗打開通風，降低環境本底。2）本底信號過高也有可能是因為質譜室被污染。檢漏儀若經常檢測含有油污、粉塵等雜質較多的被檢件時，質譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩定，檢查電源電壓是否穩定，檢漏儀應有可靠的接地。氦質譜檢漏儀具有性能穩定、靈敏度高的特點。上海移動式氦質譜檢漏儀品牌

氦質譜檢漏儀質量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不但解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。例如可通過采用改變分子泵轉速來達到此目的，且提高檢漏靈敏度。另外，逆擴散檢漏方式，實現了高壓強下檢漏，也為正壓吸檢漏提供了良好的條件。氦質譜檢漏儀現在已經滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業。紹興妤林氦質譜檢漏儀使用方法氦質譜檢漏儀的靈敏度可達10-12Pam3/s。

氦質譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設備電子線路和電子元件的改進，使得電路噪聲已經降得很低，因此氦質譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設備性能的主要因素。而其本底噪聲的產生主要是由于本底峰的不穩定造成的，主要形成的原因包括：一、離子源中的發射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數不穩定。二、真空油脂、橡膠材料、有機絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規，特別是磁放電真空規對氦有記憶效應，其表面污染時就更為嚴重。三、抽氣系統中抽速不穩定和氦的反擴散。因此，為盡量消除氦質譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施，如減少采用有機材料，不用磁放電規，提高檢漏儀的工作真空度，保證穩定抽速等等。

氦質譜檢漏儀檢漏前用特定加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時間控制壓入的量)，然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入特定檢漏罐中，再將檢漏罐聯接到檢漏儀的檢漏口上，對檢漏罐抽真空，實施檢漏。自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程?，F今生產的氦質譜檢漏儀，質量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。氦質譜檢漏儀的機械泵有足夠的機械泵油；保證機體內分子泵、機械泵、真高空組件各連接順暢；電源線線路沒有破損，有良好的接地。氦質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。

氦質譜檢漏儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到只對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。性能穩定可靠。不但靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。使用氦質譜檢漏儀要注意哪些問題？紹興分體式氦質譜檢漏儀原理

氦質譜檢漏儀是磁偏轉型的質譜分析計。上海移動式氦質譜檢漏儀品牌

氦質譜檢漏儀檢漏時，產生測量誤差的主要來源：一、氦質譜檢漏儀在校準靈敏度時，標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導致經二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數值而導致無法換算，這時也會產生漏率測量誤差。三、所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。四、氦質譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關系差。五、校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時，所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。上海移動式氦質譜檢漏儀品牌

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