氦質譜檢漏儀是180°磁偏轉型的質譜分析計，其基本原理是根據離子在磁場中運動時，不同質荷比的離子具有不同的偏轉半徑來實現不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質譜室、真空系統及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當真空度P1優于200Pa時，打開入口閥1、2，關閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續對檢漏接口抽真空，當P1降至20Pa時，入口閥2關閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應時間縮短，此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。影響氦質譜檢漏儀檢測精度的原因是什么？滁州妤林氦氣檢測設備單位

選擇氦質譜檢漏儀檢漏方法的原則：1、主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據，由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現。為找到一個單個漏孔，所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數量級。如一個設備的允許漏率為10-11w，而必須選用的氦質譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據具體被檢對象，所用方法簡便易行，經濟實用。為保證測試漏率真實有效：（1）標準漏孔每年送有專業資質計量單位計量；（2）使用兩年以上建議更換標準漏孔。滁州妤林氦氣檢測設備單位氦質譜檢漏儀的電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同。

氦質譜檢漏儀操作步驟：1、將總電源轉到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關，表頭示值也應能抽到原來位置，再關抽速閥。2、將總電源轉到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規開關，“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規已激發)再關冷規。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規，表頭指針應從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規，可等一會兒再開)，當真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發射電流”有指示，開、關漏孔檢查氦質譜檢漏儀靈敏度(可調加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關漏孔。

氦質譜檢漏儀的選擇要進行多家的貨物進行對比，將不同品牌的樣品放一起對比，這樣氦質譜檢漏儀儀質量好與壞一眼便看得出來。除了光看樣品的質量，建議用戶盡可能監督安裝的全過程，同時并索要樣品驗貨，在安裝完后，可以要求商家在再測試一遍。保持氦質譜檢漏儀的干燥，嚴禁接觸水，并避免直接接觸腐蝕性液體。嚴禁在高溫的環境中使用氦質譜檢漏儀，高溫使用儀器，很可能會長久性的損壞傳感器。請參閱儀器的溫度使用范圍。不同的氦質譜檢漏儀的應用范圍領域也不相同，例如工業用的氦質譜檢漏儀，需符合國家各項安全標準，使用起來也更復雜。為盡量消除氦質譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施。

氦質譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護？當發現檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。這個時候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電極部件，不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；然后用烘箱或電吹風進行干燥。如果操作正確，經過清洗維護后的氦質譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。氦質譜檢漏儀的的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。合肥妤林氦氣檢測儀費用

氦質譜檢漏儀的質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的要定期保養維護。滁州妤林氦氣檢測設備單位

氦質譜檢漏儀的注意事項：1.設備應在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。2.若設備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結果的真實性。3.因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應依照由下而上，由近而遠的順序進行。4.檢漏過程中，如發現大量氦氣進人質譜檢漏儀，應立即移去吸口，防止因儀器長時間消除不掉氦影響而延誤測試。氦質譜檢漏儀應用領域：學校科研單位、真空制造、真空鍍膜、航空航天、核工業、電力、電子元器件、汽車及制冷、低溫容器、閥門、儀器儀表、聚酯等行業。滁州妤林氦氣檢測設備單位

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