氦質譜法檢漏方法可分為真空法、正壓法、真空壓力法和反壓法。靈敏度、反應時間、消除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質譜檢漏儀的主要性能指標。氦質譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態檢漏時所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數調整到合適的值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統仍在正常抽氣。質譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數。氦質譜檢漏儀負壓法就是常說的抽真空，這是氦質譜檢漏儀常用的檢漏方法。杭州客制化氦質譜檢漏儀氦檢模塊

氦質譜檢漏儀使用方法：吸口法，被檢件充入高于大氣壓的探索氣氦，檢漏儀的檢漏口連接稱之為吸口的氣體采集器。當試件有漏時，泄漏的氦氣被吸口吸入檢漏儀，而被檢測。吸口在試件表面移動，同時注視檢漏儀漏率指示的變化，一旦泄漏增加，吸口所指位置即漏點所在。因此吸口法也是能確定漏孔的檢漏方法。鐘罩法，測總漏率，將被檢件與儀器檢漏口聯接抽真空，在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器，如被檢件有漏孔，氦氣便由漏孔進入被檢件，終達到質譜管被檢測。所測漏率是被檢件的總漏率，不能確定有幾個泄漏點和每個漏點的準確位置。可以看出鐘罩法是基于噴吹法的一種檢漏方法。紹興臺式氦質譜檢漏儀氦質譜檢漏儀通過質譜室的重點供電和測量，成為供電的重點部分。

氦質譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應性以及無破壞性，使其普遍應用。主要領域和產品如下：原子能工業氣體擴散處理系統、核燃料容器；高能物理研究院加速器及其配件；電力工業高壓開關、避雷器、發電廠冷凝器系統；電力工業電子器件、半導體、傳感器和積成電路；航空航天燃料箱、油箱、衛星及各種電機等；儀表制造壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等；空調制冷工業壓縮機、冷凝器、蒸發器及閥門等；真空科學與工業泵、閥門、真空規管以及鍍膜機、真空爐等真空系統；冶金真空電爐；低溫與壓力容器液氮和液氦儲存罐、生物制品容器及各類壓力容器；輕工產品保溫杯、太陽能集熱管、飲料罐口等。

氦質譜檢漏儀中氦質譜檢漏系統的關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。修長的體積，優越的性能，適用于眾多行業。運用了氦質譜和逆擴散原理,采用了原裝進口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術，實現了自動氦峰掃描、自動調零、自動校準和自動量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小、重量輕并且有滲透能力強的優點，達到了細檢漏的目的。氦質譜檢漏儀特點：1.檢測時間和響應周期非常短，可以達到2s以內；2.檢測的介質比較常用，只需壓縮空氣即可；3.多種大漏保護模式，充分保護離子源不被氧化和暴漏大氣時分子泵不被沖擊。氮質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。

氦質譜檢漏儀是一款進行檢漏檢測的設備，通過利用氦氣或者氫氣作示漏氣體，通過以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。在工業生產也實驗研究過程中有著較普遍的應用。因為氦氣的本底噪聲低，其分子量及粘滯系數較小，所以當設備存在漏孔時，氦氣較容易通過漏孔并擴散出去。此外，由于氦系惰性氣體，不會對設備產生額外腐蝕損壞，所以一般進行相關檢測分析時，常用氦作示漏氣體。通過將這種氣體噴到接有氣體分析儀，調節氣體分析儀到只對氦氣反應的工作狀態的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。與其他設備儀器相同，定期對氦質譜檢漏儀進行保養能夠較好地延長設備的使用壽命，保證設備的可靠性。具有性能穩定、靈敏度高等特點。紹興多功能氦質譜檢漏儀使用方法

氦質譜檢漏儀維護保養方法：機械泵維護，檢查機械泵油量，如低于較低標線則添加泵油。杭州客制化氦質譜檢漏儀氦檢模塊

氦質譜檢漏儀正壓法原理：采用正壓法檢漏時，需對被檢產品內部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通孔漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環境中，再采用吸口的方式檢測被檢產品周圍大氣環境中的氦氣濃度增量，從而實現被檢產品泄漏測量。按照收集氦氣方式的不同，又可以將正壓法分為正壓吸口法和正壓累積法。其中正壓吸口法采用檢漏儀吸口對被檢產品外表面進行掃描探查，可以實現漏孔的精確定位; 正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，采用檢漏儀吸口測量一定時間段前后的氦罩內氦氣濃度變化量，實現被檢產品總漏率的精確測量。正壓法的優點是不需要輔助的真空系統，可以精確定位，實現任何工作壓力下的檢測。杭州客制化氦質譜檢漏儀氦檢模塊

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