氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn)：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過低儀器啟動(dòng)困難，且性能不穩(wěn)定，電壓過高會(huì)燒壞電源，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運(yùn)行過程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動(dòng)氦檢儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦檢儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。④氦檢儀在運(yùn)行了2000h后應(yīng)對(duì)前級(jí)泵進(jìn)行維修和保養(yǎng)，運(yùn)行7000h分子泵進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。便攜式氦氣檢測(cè)機(jī)價(jià)格
氦檢儀在真空度校驗(yàn)中有什么應(yīng)用？氦是一種惰性氣體，不會(huì)對(duì)設(shè)備產(chǎn)生腐蝕，不與真空器件起化學(xué)反應(yīng)，無毒，也不會(huì)污染環(huán)境，因此使用起來也十分安全。對(duì)容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境干擾較小，常作為泄漏氣體使用。在接有氦檢儀(即調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體，如果容器有漏孔，分析儀就會(huì)發(fā)出響聲，從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質(zhì)譜檢測(cè)泄漏技術(shù)是真空檢測(cè)領(lǐng)域中不可缺少的一項(xiàng)技術(shù)，由于其檢測(cè)效率高、簡(jiǎn)便易行、儀器反應(yīng)靈敏、準(zhǔn)確度高、不受其它氣體干擾等特點(diǎn)，在電阻爐檢測(cè)泄漏中被普遍應(yīng)用。便攜式氦氣檢測(cè)機(jī)價(jià)格氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲。
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護(hù)？當(dāng)發(fā)現(xiàn)檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個(gè)時(shí)候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件，不能用粗砂紙，因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；然后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護(hù)后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。
氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？1.對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進(jìn)行保養(yǎng)時(shí)，由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級(jí)機(jī)械泵組成，因此在常規(guī)檢測(cè)時(shí)通常由前級(jí)機(jī)械泵對(duì)被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到規(guī)定壓力后，再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測(cè)前會(huì)被要求進(jìn)行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞。因此，對(duì)被檢件的前處理以及對(duì)設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外，還需要進(jìn)行前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)，避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時(shí)導(dǎo)致設(shè)備使用壽命縮短。氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修？
氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。氦檢儀的型號(hào)較多，但基本結(jié)構(gòu)大同小異。便攜式氦氣檢測(cè)機(jī)價(jià)格
氦檢儀本底漏率值是什么？便攜式氦氣檢測(cè)機(jī)價(jià)格
氦檢儀在壓力容器中的常用方法有哪些？正壓法，正壓法是先向壓力容器裝置中充入一個(gè)以上的大氣壓的氦氣或氦氣與其他氣體的混合氣，從壓力容器裝置的外部檢測(cè)從漏孔泄漏到外部的氦氣，進(jìn)而發(fā)現(xiàn)漏孔。用吸頭尋找氦氣時(shí)，一旦氦氣被吸入，氦氦檢儀就會(huì)顯示出漏率值。在這種情況下，因?yàn)閴毫θ萜餮b置外部是一個(gè)大氣壓，所以充入壓力容器裝置內(nèi)的氣體壓至少需要一個(gè)大氣壓以上。但壓力不宜過高，壓力過高，插在裝置上的壓力表或其它插件就會(huì)彈出而發(fā)生傷人等危險(xiǎn)事故。便攜式氦氣檢測(cè)機(jī)價(jià)格
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