氦質譜檢漏儀測試高純氣體管道的方法：1. 確認系統中所有的閥門和調壓閥都是全開的。2. 確認系統中的壓力為0，如果系統中還有正壓，要先將系統中的氣體放掉。3. 緩緩打開檢漏儀入口處的閥門，開始將系統抽成真空狀態。遵照檢漏儀的操作說明操作，直至達到可以檢測的狀態。4. 記錄下檢漏儀的背景氦漏率，該背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以進行噴吹工作。5. 從較靠近檢漏儀的焊道或連接處開始檢測，將氦氣用噴口噴吹到焊道或連接處，使得氦氣會停留在焊道或連接處一段時間，確認沒有泄漏后，進行下一個焊道或連接處的檢測，直到較后一個焊道或連接處。氦質譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。紹興自動氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀主要性能指標試驗方法：靈敏度、反應時間、清理時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質譜檢漏儀的主要性能指標。反應時間、清理時間及其測定：反應時間是指儀器節流閥完全開啟，本底訊號為零（或補償到零）時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的時間，記為τR。清理時間是指輸出儀表訊號穩定到值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的時間，記為τC。工作真空、極限真空及入口處抽速，質譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數。利用檢漏儀的真空規可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。臺式氦質譜檢漏儀哪個牌子好氦質譜檢漏儀應在施工工作完成后進行本測試。

氦質譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態檢漏時所能檢測出的較小漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數調整到較佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“較小可檢”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內輸出儀表的波動量。如果檢漏時用輔助系統抽氣（即對示漏氦氣有分流）。或用累積法檢漏時，給出儀器較小可檢氦濃度（即濃度靈敏度）。記為γmin，能較方便地估計檢漏效果。濃度靈敏度校準系統中應用出色量計測出通過針閥2進入儀器的空氣流率qL.o，則儀器濃度靈敏度。

氦質譜檢漏儀真空系統：氦質譜檢漏儀的真空系統部分由分子泵、前級機械泵組成。在常規檢測時通常由前級機械泵對被檢件預抽真空，當真空度達到一定壓力后，再進入真空系統部分；被檢件在檢測前會被要求進行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進入真空系統；否則將直接污染真空系統，甚至造成真空泵損壞；所以被檢件的清潔前處理及對設備自身定期的保養清理尤為重要。設備自身保養小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養維護。氦質譜檢漏儀可以雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準等。

氦質譜檢漏方法 ( 以下簡稱氦檢)以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和 設備內部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將 設備完全抽成真空狀態， 往往會增加測試用設備( 如高、低壓真空泵、真空閥等)和設備工裝 ( 如 外壓加強圈)而使造價提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設備;對于大多數壓力容器而言，通常優先選用前一種方法。于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、 焊渣以及設備內部的積水、污垢等都會使泄漏孔暫時阻塞而影響檢測結果，因此，測試前必須設備內部清理干凈及焊縫表面并用熱風裝置將設備內部干燥。氦質譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名，但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等。常州氦質譜檢漏儀定制

氦質譜檢漏儀具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。紹興自動氦質譜檢漏儀

適當的維護您的氦質譜檢漏儀是非常必要的，具體步驟如下：1、探頭清潔：利用附送的防護罩防止灰塵、水汽、油脂阻塞探頭，在使用本儀器前，均要檢查探頭和防護罩確無灰塵或油脂。2、拉下防護罩；3、用工業毛巾或壓縮空氣清潔防護罩；4、如果探頭本身也臟，可浸入像酒精等溫和清洗劑幾秒鐘，然后用壓縮空氣或工業毛巾清潔，嚴禁用像汽油、松節油、礦物油等溶劑，這樣易降低儀器靈敏度。5、探頭更換：探頭較終總要失效，需更換。由于探頭壽命直接和使用條件和頻次相關，因此較難預計準確的更換時間。當在清潔、純凈空氣中報警或不穩定時，應更換探頭，具體探頭步驟是如下：（1）確認本儀器處于關閉狀態；（2）逆時針旋下舊探頭；（3）順時針旋上包裝箱中提供的備用探頭。紹興自動氦質譜檢漏儀

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