氦質譜檢漏儀是一種用氦氣作為示漏氣體進行泄漏檢測的專門使用儀器，具有性能穩定、靈敏度高等特點。在真空檢漏技術中，采用的是通用型檢漏儀器，具有較高的靈敏度。氦質譜檢漏儀是磁偏轉式質譜分析儀。是一種靈敏度較高的儀器，普遍應用于檢測各種真空系統和零件的漏電，具有很好的實用價值。雙層串聯磁偏變裝置與單層磁偏變裝置相比，背景噪聲明顯降低，適用于超真空系統、元件和部件的檢漏。逆電流式氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局，將檢件放置在檢漏儀主抽泵的前級部位，因而具有在高壓條件下能檢漏，不會造成液氮污染和質譜室污染等特點.適用于對大漏率、真空環境衛生較差的真空系統的檢漏。了解工件的漏孔問題是選擇氦質譜檢漏儀的必要條件。金華氦質譜檢漏儀技術指導

氦質譜檢漏儀的結構組成：它通過質譜室的重點供電和測量，所以作為供電的重點部分，其中一部分屬于真空部分，對這部分的重點檢測要求非常高，通過檢測中獲得的檢測數據輸出形成重點裝置。然后氦質譜檢漏儀主要通過控制電流輸出的大小，由于氣密性檢測儀離子流收集極接收到的離子流很小，必須放大后才能顯示輸出。通過交流放大器放大調制的離子流。輸出信號由顯示儀表和聲音裝置(揚聲器)指示。低頻發生器，低頻發生器產生頻率為5~7Hz，振幅為14~16V的調制電壓，該電壓疊加在加速電壓上，實現離子流調制。高壓整流器和發射電流穩定裝置。發射電流穩定裝置是調節燈絲加熱電流，從而保持燈絲發射電流穩定，提高靈敏度。發射電流可以分幾個檔次進行有級調節，以改變儀器的靈敏度。高壓整流器提供冷陰極磁控電源。真空規放電電流指示氣體壓力值，由儀器顯示，其放電電流也作為繼電保護的輸入信號。當質譜檢漏儀室真空度惡化時，放電電流增大，使繼電器動作，然后切斷燈絲加熱電流，保護燈絲不被燒毀。江蘇進口氦質譜檢漏儀多少錢一臺氦質譜檢漏儀堅固耐用，抗震性能好。

氦質譜檢漏儀背壓法原理：采用背壓法檢漏時，首先將被檢產品置于高壓的氦氣室中，浸泡數小時或數天，如果被檢產品表面有漏孔，氦氣便通過漏孔壓入被檢產品內部密封腔中，使內部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產品放入與檢漏儀相連的真空容器內，被檢產品內部密封腔內的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率，需要通過換算公式計算出被檢產品的等效標準漏率。背壓法的優點是檢測靈敏度高，能實現小型密封容器產品的泄漏檢測，可以進行批量化檢測。

氦質譜儀的泄漏檢測方法通常有兩種，一種是常規泄漏檢測，另一種是反向擴散泄漏檢測。反向擴散泄漏檢測是將測試件連接到分子泵出氣口的末端，并且泄漏的氦氣從分子泵出氣口進入安裝在泵進氣口的質譜儀管中，方向相反。泵排氣。這種泄漏檢測方法基于以下事實：分子泵對不同的氣體質量具有不同的壓縮率（分子泵出口處的氣壓與入口處的壓力之比），即不同氣體的反向擴散。反向擴散法檢漏可以使試件的內部壓力更高。氦質譜儀檢漏儀可達到300Pa（通常傳統檢漏儀小于0.05Pa），適用于檢測大型容器或泄漏較大的設備。泄漏。反向擴散法還具有不易污染質譜儀管且燈絲壽命長的優點。氦質譜檢漏儀是根據被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。

氦質譜檢漏儀測試高純氣體管道的方法：1. 確認系統中所有的閥門和調壓閥都是全開的。2. 確認系統中的壓力為0，如果系統中還有正壓，要先將系統中的氣體放掉。3. 緩緩打開檢漏儀入口處的閥門，開始將系統抽成真空狀態。遵照檢漏儀的操作說明操作，直至達到可以檢測的狀態。4. 記錄下檢漏儀的背景氦漏率，該背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以進行噴吹工作。5. 從較靠近檢漏儀的焊道或連接處開始檢測，將氦氣用噴口噴吹到焊道或連接處，使得氦氣會停留在焊道或連接處一段時間，確認沒有泄漏后，進行下一個焊道或連接處的檢測，直到較后一個焊道或連接處。氦質譜檢漏儀測試前必須設備內部清理干凈及焊縫表面并用熱風裝置將設備內部干燥。安徽推車式氦質譜檢漏儀生產廠家

具有性能穩定、靈敏度高等特點。金華氦質譜檢漏儀技術指導

氦質譜檢漏儀可以切實提高汽泵小機真空系統的檢漏效率，使用方法：把氦質譜檢測儀與汽泵機組的真空系統連接，采取從真空系統外部對疑漏部位噴吹氦氣的方法來檢測該部位的漏率。在運行中真空泵的汽水分離器排氣口處放置氦質譜檢漏儀的探測口，將一定量的氦氣釋放于真空系統的焊縫、管路接頭、法蘭和閥門等可能泄漏的地方，通過觀察儀器上的漏率顯示數據區間來判斷該位置是否存在泄漏，通過漏率數值大小確認該位置泄漏程度。通過氦質譜檢漏試驗，運行人員精確迅速找到機組真空漏點并及時聯系相關部門進行安全有效處理，切實提高了機組的經濟性和安全性。金華氦質譜檢漏儀技術指導

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