氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)：氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級(jí)機(jī)械泵組成。在常規(guī)檢測(cè)時(shí)通常由前級(jí)機(jī)械泵對(duì)被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到一定壓力后，再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測(cè)前會(huì)被要求進(jìn)行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)；否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞；所以被檢件的清潔前處理及對(duì)設(shè)備自身定期的保養(yǎng)清理尤為重要。設(shè)備自身保養(yǎng)小知識(shí)：（1）前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。使用氦質(zhì)譜檢漏儀的要求有哪些？紹興自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀品牌

怎么確定氦質(zhì)譜檢漏儀用于鍍膜設(shè)備的靈敏度？較佳工作條件。指被檢鍍膜設(shè)備部件的材料出氣很少，且沒有較大漏孔；檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到較佳工作狀態(tài)等。動(dòng)態(tài)檢漏。指不用累積法進(jìn)行檢漏，檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進(jìn)行抽真空，裝置的反應(yīng)時(shí)長(zhǎng)小于3s，3s當(dāng)中的抽氣系統(tǒng)的時(shí)間常數(shù)是小于一秒的；較小可檢。指其信號(hào)是本底噪聲的兩倍；漏孔的漏率。指干燥空氣（100kPa的壓力）經(jīng)漏孔通向真空端（遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于100kPa的壓力）的漏率。對(duì)氦分壓變化有反應(yīng)的氦質(zhì)譜檢漏儀，為表征這種反應(yīng)特性，較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度，即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”，指處在工作壓力下（工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa）的質(zhì)譜室，使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號(hào)與裝置噪聲比為一或二時(shí)，當(dāng)中氦的濃度。紹興自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀品牌氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種測(cè)量?jī)x器。

氦質(zhì)譜檢漏儀開機(jī)步驟：1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來(lái)位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”，燈亮，擴(kuò)散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱，開冷規(guī)開關(guān)，戴表壓強(qiáng)的質(zhì)譜室表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再?gòu)挠蚁蜃笾饾u上升(真空示值在1×10-2Pa以下請(qǐng)不要長(zhǎng)時(shí)間開冷規(guī)，可等一會(huì)兒再開)，當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動(dòng)燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號(hào)指示Zda)，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。5、將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對(duì)被檢件噴氦檢漏。檢漏完畢。

氦質(zhì)譜檢漏儀背壓法檢漏壓氦和清氦的說明：1.將工件放入壓氦罐內(nèi)，確認(rèn)罐內(nèi)清潔干凈。2.待工件放置好后，將壓氦罐的蓋放置到壓氦罐上，用螺釘固定牢靠。3.再將壓氦罐球閥接口與氦氣瓶連接。4.確認(rèn)連接OK后，先將壓氦罐的球閥打開，再開啟氦氣瓶的減壓閥，控制檢驗(yàn)閥的出氣壓力，待壓氦罐上的壓力表指示到規(guī)定的壓力后，關(guān)閉壓氦罐的球閥，再關(guān)閉氦氣瓶的閥和減壓閥。5.斷開氣瓶與壓氦罐的管路，（注意：管路內(nèi)還有壓力）將壓氦罐放置到安全區(qū)域保壓規(guī)定時(shí)間。6.保壓時(shí)間到后，將壓氦罐內(nèi)地氦氣放至外界大氣中或使用氦氣袋回收。7.將固定壓氦罐蓋的螺釘拆卸下來(lái)，再將罐蓋打開。8.取出工件，使用空氣或氮?dú)鈱⒐ぜ砻鏆埩舻暮馇謇怼?.放置好工件待用。氦質(zhì)譜檢漏儀長(zhǎng)期不使用時(shí)，用盲板將檢漏口、機(jī)械泵排氣口封上。

氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備相比于傳統(tǒng)檢漏方法有哪些優(yōu)勢(shì)?氦檢是先將電池里的空氣抽掉，然后注入氦氣，用氦質(zhì)譜檢測(cè)儀探測(cè)有沒有氦氣漏出。一方面，氦氣是惰性氣體，不會(huì)跟正負(fù)極材料、電解液等發(fā)生反應(yīng)，所以很安全;另一方面，氦氣比任何介質(zhì)都要小，如果電池里面連氦氣都不會(huì)泄漏，說明密封很好。相比于傳統(tǒng)檢漏方法，氦檢檢測(cè)效率高、檢漏精度要高3-4個(gè)數(shù)量級(jí)，且不會(huì)對(duì)電池造成任何影響。而目前鋰電池行業(yè)普遍采用的正壓氣泡檢漏法容易導(dǎo)致電池殼體發(fā)生變形，同時(shí)檢測(cè)效率和檢測(cè)精度較低，尤其對(duì)金屬殼體和鋁塑膜軟包裝鋰離子電池并不適用。氦質(zhì)譜檢漏儀測(cè)試前必須設(shè)備內(nèi)部清理干凈及焊縫表面并用熱風(fēng)裝置將設(shè)備內(nèi)部干燥。江蘇國(guó)產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺(tái)

氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)氦峰掃描、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。紹興自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀品牌

氦質(zhì)譜檢漏儀中氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)的關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。修長(zhǎng)的體積，優(yōu)越的性能，適用于眾多行業(yè)。運(yùn)用了氦質(zhì)譜和逆擴(kuò)散原理,采用了原裝進(jìn)口分子泵、180°非均勻磁場(chǎng)和全自動(dòng)控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)氦峰掃描、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換,具有檢測(cè)速度快、檢測(cè)靈敏度高、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。 此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)：1.檢測(cè)時(shí)間和響應(yīng)周期非常短，可以達(dá)到2s以內(nèi)；2.檢測(cè)的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可；3.多種大漏保護(hù)模式，充分保護(hù)離子源不被氧化和暴漏大氣時(shí)分子泵不被沖擊。紹興自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀品牌

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