氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。氦質譜檢漏儀自身保養小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養維護。氦質譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。模塊式氦檢機哪家好

氦質譜檢漏儀常見的幾種檢漏法：1、負壓法檢漏，負壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口，連續向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過漏孔進入檢漏儀并被檢測。一般電子器件的外殼、高壓開關管、氧化鋅、避雷器等都應采用這種方法檢漏。根據產品的不同，需要選擇不同尺寸的夾具或輔助工具。2、壓氦法檢漏，壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經檢漏儀檢測總泄漏量。一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。模塊式氦檢機哪家好氦質譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規檢漏，另一種為逆擴散檢漏。

氦檢儀在壓力容器中的常用方法：噴氦法，噴氦法是常用，比較方便的檢漏方法。檢漏時，用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴頭向懷疑有漏泄的部位噴氦氣，如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置，則裝置內的氦分壓就會上升，氦氦檢儀上就會顯示有泄漏率。是否合格要看標準漏率值是定在多少，超過標準漏率值的可視為不合格。氦罩法，這種方法使用一個檢漏罩（塑料薄膜等）把被檢容器包起來，先排除罩內空氣，然后充入氦氣或氦氣的混合氣體，氦檢儀與被檢容器內部連接，當氦檢儀有漏率顯示時，說明有泄漏。這個漏率稱為總漏率。總漏率為各個分漏率之和；總漏率不超標準值，則各個分漏率也不超標準值；總漏率超過標準值，則檢查各個點的分漏率是否超過標準值。然后再對超過標準值的漏孔進行修補，直至達到合格標準為止。

氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法？氦檢儀的實際應用方案很多，常用的三種檢漏方法有負壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法），可以發現有不同的叫法，這是根據不同的檢測方式命名的。采用什么方法要視被檢件的結構、檢漏的經濟效益及檢漏系統的性質來決定。根據不同的檢漏目的，常用基礎的有3種檢漏方法。負壓法（噴氦法）。對被檢工件抽真空。可對被檢工件外可疑漏點噴氦，也可將工件罩起來對氦罩內噴氦。可根據工件容積大小選配輔助泵或不加輔助泵。可檢測工件的具體漏點和準確漏率。檢測精度高。適用行業：鍍膜行業，真空爐，真空配件，真空閥門，壓力容器，真空系統等。經過清洗維護后的氦質譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。

提高氦質譜檢漏儀靈敏度方法：1、盡量開大節流閥。2、盡量減小外接泵對工件的分流或采用不分流檢漏(當工件抽上真空后，關閉工件與外接泵之間的閥門)。3、將工件用塑料袋包扎，袋內再充入氦氣，(但此法不能測出具體漏點)。4、使用液氮，全開節流閥，采用不分流檢漏，必要時可將抽速閥關小。氦質譜檢漏儀日常維護：1、定期更換燈絲，清洗冷規。2、定期更換機械泵油，適時對機械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質譜檢漏儀部件后，安裝時要避免安裝處出現泄漏。5、適時對氦質譜檢漏儀可能出現的泄漏處(如放氣閥)進行清洗，排除漏點。氦檢儀為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。客制化氦氣檢測機多少錢一臺

氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局。模塊式氦檢機哪家好

氦質譜檢漏儀的選擇要進行多家的貨物進行對比，將不同品牌的樣品放一起對比，這樣氦質譜檢漏儀儀質量好與壞一眼便看得出來。除了光看樣品的質量，建議用戶盡可能監督安裝的全過程，同時并索要樣品驗貨，在安裝完后，可以要求商家在再測試一遍。保持氦質譜檢漏儀的干燥，嚴禁接觸水，并避免直接接觸腐蝕性液體。嚴禁在高溫的環境中使用氦質譜檢漏儀，高溫使用儀器，很可能會長久性的損壞傳感器。請參閱儀器的溫度使用范圍。不同的氦質譜檢漏儀的應用范圍領域也不相同，例如工業用的氦質譜檢漏儀，需符合國家各項安全標準，使用起來也更復雜。模塊式氦檢機哪家好

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