氦檢儀本底漏率值是什么？本底值是指由所處環(huán)境所形成的較穩(wěn)定的輻射水平或聲量，由于氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm，5.24×10-6，也就是百萬分之五左右，這說明正常空氣環(huán)境中氦氣的含量很小，即氦本底很好。這也是用氦氣作為示蹤氣體的重要原因之一。只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小.正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來。本底高一般都是泄漏的原因，建議檢查閥有沒有內漏，試試增加清掃氣體的壓力，但是也不能過高，因為會影響抽空效率。另外檢漏時切勿將大量的氦氣通進儀器，避免本底太大，難以清理。氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設備檢漏。移動式氦氣檢測儀單位

氦質譜檢漏儀是根據(jù)質譜儀學原理，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測儀器。氦質譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場所，特別是儀器的電源插座，應符合要求，要有良好的地線，左右要留有30CM的通風間距。放置好氦質譜檢漏儀，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險。氦質譜檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運行前要確保真空泵中的機械泵油是否足夠，機械泵油必須用特定的針對機械泵型號的油。移動式氦檢機原理經過清洗維護后的氦質譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。

氦檢儀機械泵故障及處理：1、機械泵不動作，檢查項目有：氦檢儀電源電壓是否正常，開關是否打開，繞組是否斷路或接地，電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。2、機械泵聲音異常，檢查油位是否合適，油質是否變壞，油溫是否<10℃，油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出，更換油霧過濾器)。氦檢儀質譜室故障及處理：1、燈絲無法正常啟動，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導通，消除短路現(xiàn)象。2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠遠超過氦檢儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決，只需對故障進行定位，交由維修處理。

使用氦檢儀需注意的幾個問題：(1)檢漏方法的選擇:目前,電廠采用氦檢儀檢漏通常采用負壓采樣法,該方法操作簡便,但儀器的清理時間較長。根據(jù)被檢系統(tǒng)的不同也可以采用真空法檢漏,即將氦檢儀的測試口直接接至真空系統(tǒng)的抽氣管道上,通過節(jié)流閥調節(jié)氣流以衰減氦檢儀與真空系統(tǒng)間的壓差,使氦檢儀正常工作,該方法檢漏效率稍高,但安裝較為復雜。(2)儀器靈敏度:靈敏度的高低直接影響檢漏的效果。氦檢儀經過一段時間的使用后,靈敏度會有所下降,嚴重時對純氦無反應。因此,平時應該經常保持儀器,特別是質譜室的清潔,定期打開氣鎮(zhèn)閥運行一段時間,并給旋片真空泵換油,這樣可以減少儀器對氦的記憶效應。另外還要定期用標準漏孔對儀器的靈敏度進行校驗,使氦檢儀始終保持較佳的工作狀態(tài)。在結構組成上，大部分氦檢儀就是由質譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的；

氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統(tǒng)，儀器的真空系統(tǒng)提供質譜正常工作所需要的真空條件，不同型號的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。真空系統(tǒng)一般包括：1）主泵。一般用擴散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa，其抽速應與氣載匹配。2）前級真空泵。一般采用旋片式機械真空泵，在以分子示為主泵的系統(tǒng)中，也有采用薄膜泵或干泵的。抽速與主泵匹配。3）預抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個泵，預抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預抽真空泵大都由用戶自配。氦質譜檢漏儀的可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。氦氣檢測儀定制

氦檢儀檢漏范圍寬：不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。移動式氦氣檢測儀單位

氦質譜檢漏儀操作注意事項：1、產品放入加壓罐中加壓時，不能直接拆除加壓罐。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個警告標識。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動情況。以防氣體沖擊帶來傷害。3、產品半檢漏時，按壓住的組件不能挪動或者強行扳開。以防氣體沖擊帶來傷害。4、在進行重氟油檢漏時，產品不能直接放進油箱中，而應把油箱中的托盤拿出，把產品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飛濺燙傷。移動式氦氣檢測儀單位

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