氦質譜檢漏儀真空法原理：采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴口的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現漏孔的精確定位; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。真空法的優點是檢測靈敏度高，可以精確定位，能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。氦質譜檢漏儀由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應性以及無破壞性，使其普遍應用。多功能氦質譜檢漏儀工作原理

氦質譜檢漏儀的性能、特性好壞取決于質譜分析室。質譜分析室的工作原理是對離子源氣體進行電離，電離出來的正離子經過電場加速聚焦通過縫隙進入均勻磁場，離子束在磁場力的作用下，旋轉180o或90o按一定軌跡到達收集極，此種形式稱之為磁性偏轉分析形式。然后，經小電流放大器、微處理器，控制器等線路處理直至液晶屏顯示出讀數的大小。在壓力容器中，使用氦質譜檢漏儀檢漏常用的方法大體可分為三種，即噴氦法（負壓法），吸口法（正壓法），氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言，噴氦法的靈敏度高些。但是當檢漏儀安裝在大型的、比較復雜的壓力容器裝置上時，也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。上海真空氦質譜檢漏儀氦檢模塊氦質譜檢漏儀可以切實提高汽泵小機真空系統的檢漏效率。

氦質譜檢漏儀在壓力容器中噴氦法檢漏應該注意以下幾個問題：1、實際的檢漏靈敏度比理論計算值低，一是由于噴口所噴出的氦氣流是散開的，故摻有一定數量的空氣，使氦氣的濃度有所降低。二是噴口噴出的氣流的方向不可能完全對準漏孔的方向，此外、在凹缺處所存在的空氣會使得進入漏孔的氦氣濃度降低。2、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方，由檢漏儀處向遠離檢漏儀處逐點進行噴氦檢查。3、檢出的大漏孔要經修補后再去找小漏孔。4、當存在兩個相距很近的可疑的漏孔點時，應先把一個點蓋住，在對另一點用較細的噴口進行噴氦。5、當噴口噴在某一點時，如果，檢漏儀上的顯示有變化，其上升速度很慢且顯示值不穩定表示鄰近其它地方有很大漏孔。6、檢出漏孔后，還應再做幾次復檢。7、檢漏場地要有良好的通風條件，但也不能太大，不應影響噴口噴出的氦氣氣流的方向。

氦質譜檢漏儀真空系統：氦質譜檢漏儀的真空系統部分由分子泵、前級機械泵組成。在常規檢測時通常由前級機械泵對被檢件預抽真空，當真空度達到一定壓力后，再進入真空系統部分；被檢件在檢測前會被要求進行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進入真空系統；否則將直接污染真空系統，甚至造成真空泵損壞；所以被檢件的清潔前處理及對設備自身定期的保養清理尤為重要。設備自身保養小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養維護。氦質譜檢漏儀應該如何選擇？

氦質譜檢漏儀正壓法原理：采用正壓法檢漏時，需對被檢產品內部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通孔漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環境中，再采用吸口的方式檢測被檢產品周圍大氣環境中的氦氣濃度增量，從而實現被檢產品泄漏測量。按照收集氦氣方式的不同，又可以將正壓法分為正壓吸口法和正壓累積法。其中正壓吸口法采用檢漏儀吸口對被檢產品外表面進行掃描探查，可以實現漏孔的精確定位; 正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，采用檢漏儀吸口測量一定時間段前后的氦罩內氦氣濃度變化量，實現被檢產品總漏率的精確測量。正壓法的優點是不需要輔助的真空系統，可以精確定位，實現任何工作壓力下的檢測。維護氦質譜檢漏儀可以利用附送的防護罩防止灰塵、水汽、油脂阻塞探頭。金華真空氦質譜檢漏儀廠家推薦

氦質譜檢漏儀負壓法就是常說的抽真空，這是氦質譜檢漏儀常用的檢漏方法。多功能氦質譜檢漏儀工作原理

氦質譜檢漏儀技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了普遍應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進入室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。多功能氦質譜檢漏儀工作原理

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