氦檢儀測量數據處理：漏率示值誤差，①漏率的溫度修正，標準漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃ ，所以如果實際環境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致，需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環境溫度下來計算，并在測試結果中加以說明，修正方法如下:方法一: 將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環境溫度下，用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值；方法二: 將標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環境溫度下，用標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值。氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法？國產氦氣檢測儀一臺多少錢

選擇氦質譜檢漏儀時主要考慮以下問題：1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，不宜作為批量產品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦質譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染，就應選擇無油真空系統的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預抽泵。智能氦檢設備氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。

氦檢儀的撿漏方法有哪些？背壓法（壓氦法）真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣，迫使氦氣進入泄漏工件，再放入檢漏罐中檢測是否有氦氣漏出。可根據工件大小定制罐體大小。可檢測工件的整體漏點。檢測精度較高。適用行業：電子元器件，電子封裝等。氦質譜檢漏背壓法優點：檢測靈敏度高；可以進行批量化檢測；一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調整好，再將器件放入加壓罐內壓入氦氣，氦氣進入有漏孔的器件內部，無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時間根據GB2423，2328文件而定，器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空，待真空抽至設定值后自動將夾具連至儀器的測量系統。這時壓入存在漏孔器件內部的氦氣泄漏出來被檢測，其漏率在漏率表上顯示出來。一般壓氦法檢漏時采用排除法。在夾具中放一定數量的器件，這一批的總漏率沒超過報廢預定值，說明這一批合格；總漏率超過報廢預定值可以取出一半，剩下的一半繼續檢漏，這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中，依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。

氦檢儀在使用過程中，較常見的故障就是燈絲脆斷，氦檢儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。氦檢儀燈絲壽命如何延長？造成氦檢儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環境下長時間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦檢儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預置真空開關空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。氦質譜檢漏儀的主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據。

氦質譜檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩定，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應連接穩壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。③氦質譜檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養，保養的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。靈敏度、反應時間、消除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質譜檢漏儀的主要性能指標。氦檢儀的撿漏方法有哪些？小型氦氣檢測儀多少錢

質譜室是氦檢儀的重點部分，它包括離子源、聚焦、質量分析器和測量部分。國產氦氣檢測儀一臺多少錢

氦檢儀作為一種磁偏轉型質譜分析儀器，結構上分單級磁偏轉型和雙級串聯偏轉性，而在結構組成上，大部分氦檢儀就是由質譜室、真空系統以及電氣系統3部分組成的：質譜室是這種真空氦檢儀器的心臟，又包括離子源、分析器、收集器、前級放大器、冷陰極電離真空計等組成部分；真空系統用于為質譜室提供真空工作條件，保證氦離子的傳輸率；電氣系統的重點功能就是為質譜室供電與測量。另外在有些條件下，氦質譜檢漏可能還會需要輔助真空系統，完成一些預抽、保證氦檢儀真空度等工作。國產氦氣檢測儀一臺多少錢

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