氦檢儀的型號較多，但基本結構大同小異。它主要由質譜室、真空系統及電氣部分組成。質譜室：不同類型的氦檢儀的質譜室結構大同小異，都是由離子源、分析器和收集器三部分組成，它們放在一個抽成高真空的質譜室外殼中。1）離子源。離子源的作用是使氣體分子電離，形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲（陰極）、離化室及離子加速極組成。2）分析器。分析器作用是使不同質荷比的離子按不同軌跡運動，從而將它們彼此分開，只使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個外加均勻磁場及一個出口電極組成，磁場方向與離子束入射方向垂直。3）收集極。收集極是對準出口電極狹縫安裝的，其作用是收集穿過出口電極狹縫的氦離子并通過一個電阻輸入到小電流放大器進行離子流的放大和測量。由于氦離子一般只有10-13~10-12A，要使小電流放大器第1極輸入信號電壓足夠大，則輸入電阻必需很大（一般高于1010歐），第1級放大用的靜電計管必須要高度絕緣，所以把高阻及靜電計管放在高真空的質譜室中。各國推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。便攜式氦氣檢測機技術指導

氦質譜檢漏儀作為一種測量儀器，需根據設備的使用頻率、被測品工藝要求定期使用標準漏孔對設備自身進行校準，以保證設備自身檢測精度。氦質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點，是真空檢漏技術中靈敏度高，用得比較多的檢漏儀器。消費者在選購氦質譜檢漏儀時必須要根據產品的檢測功能需求進行挑選，例如儀器需要批量檢查的需求則必須要確保這種氦質譜檢漏儀的檢查速度，立足于自身的需求保證這種氦質譜檢漏儀的功能得以實現才是正確的挑選方式。江蘇真空氦檢設備氦質譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響。

氦檢儀怎么選，這取決于客戶的需求：應用類型：(例如：生產，維護等)-干式/傳統的油泵?性能：(進入檢漏模式所需要的時間，靈敏度，響應時間，恢復時間，初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量，主要是通過以下參數：初抽的能力：(m3/h)，檢測允許的較大進氣口壓力：(mbar)，進入檢測模式所需要的時間：(s)，氦抽速：(l/s))靈敏度，較低可測的氦信號：(mbar.l/s)，響應時間：(s)，恢復時間：(s)，初抽能力：將決定進入檢測模式的時間)將決定是否只使用氦檢儀進行檢測就可以(是否需要輔助泵)。檢測允許的較大進氣口壓力：〉將決定進入檢測模式所需要的時間。進入檢測模式所需要的時間：是由初抽能力和檢測允許的較大壓力共同決定的。其他可能會影響檢測時間的參數：腔體的脫氣以及非常大的泄漏。

氦檢儀應用于調節閥氣路管道檢漏：調節閥又名控制閥，在現代化工廠的自動控制中，調節閥起著十分重要的作用，如果調節閥有漏，將會嚴重影響設備運行，進而降低整體的生產效率。氦檢儀成功應用于調節閥中的氣路管道檢漏,經過檢漏后的調節閥普遍應用于電廠、生物制藥、化工等行業。調節閥檢漏，閥門氣密性測試方案是向閥門內充入設定壓力的氦氣，如在被檢測處如閥桿等，用氦檢儀正壓法檢測，正壓法檢測的精度可充分滿足氣密性檢測要求。氦檢儀用于調節閥的氣路管道進行檢漏,檢漏標準是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同時需要提供快速,清潔的檢漏環境.采用氦檢儀正壓法模式,即在密封的氣體管路中充入一定量的氦氣,然后進行檢漏.氦檢儀同時擁有兩種檢漏模式真空模式及正壓模式，可根據客戶不同需求，選擇不同的檢漏方法。氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術。

氦質譜檢漏儀的優點體現在以下幾個方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。氦檢儀檢漏范圍寬：不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。妤林氦檢儀價錢

氦質譜檢漏儀的本底噪聲，一般指在2min內輸出儀表的較大的波動量，能較方便地估計檢漏效果。便攜式氦氣檢測機技術指導

氦質譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內；2.檢測的介質比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數據精確；5.自動生成數據保存，可追溯數據來源。氫質譜檢漏儀能為不同的應用提供不同的測試方法，含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。氨質譜檢漏儀在許多領域里得到普遍的應用，例如，在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。便攜式氦氣檢測機技術指導

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