氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統，儀器的真空系統提供質譜正常工作所需要的真空條件，不同型號的氦檢儀其真空系統有較大的差別。真空系統一般包括：1）主泵。一般用擴散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa，其抽速應與氣載匹配。2）前級真空泵。一般采用旋片式機械真空泵，在以分子示為主泵的系統中，也有采用薄膜泵或干泵的。抽速與主泵匹配。3）預抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個泵，預抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預抽真空泵大都由用戶自配。氦質譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護？便攜式氦檢儀價錢

使用氦檢儀需注意的幾個問題：(1)檢漏方法的選擇:目前,電廠采用氦檢儀檢漏通常采用負壓采樣法,該方法操作簡便,但儀器的清理時間較長。根據被檢系統的不同也可以采用真空法檢漏,即將氦檢儀的測試口直接接至真空系統的抽氣管道上,通過節流閥調節氣流以衰減氦檢儀與真空系統間的壓差,使氦檢儀正常工作,該方法檢漏效率稍高,但安裝較為復雜。(2)儀器靈敏度:靈敏度的高低直接影響檢漏的效果。氦檢儀經過一段時間的使用后,靈敏度會有所下降,嚴重時對純氦無反應。因此,平時應該經常保持儀器,特別是質譜室的清潔,定期打開氣鎮閥運行一段時間,并給旋片真空泵換油,這樣可以減少儀器對氦的記憶效應。另外還要定期用標準漏孔對儀器的靈敏度進行校驗,使氦檢儀始終保持較佳的工作狀態。多功能氦氣檢測機費用氦檢儀本底漏率值是什么？

氮質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點，是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統、零部件及元器件的檢漏。氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛生較差的真空系統的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。

在使用氦檢儀時要如何保養？①如果儀器不是每天都使用，建議每周啟動并檢查一次，以保持儀器的高真空系統處于真空狀態，在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動時間。②儀器部件（如離子源）拆卸后，安裝過程中應避免在安裝現場發生泄漏，儀器可用于泄漏檢測。③及時對泄漏處（如放氣閥等）進行自檢。）可能出現在儀器上，并在發現泄漏點后及時移除、清潔或緊固，以免在泄漏檢測過程中干擾泄漏檢測。④氦檢儀維護定期維護油泵。（散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換）⑤嚴禁在氦檢儀上，尤其是進氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器，其儲存和使用環境應保持清潔衛生。只有經過培訓或合格的設備維護工程師才能使用該儀器。⑥使用時，請注意儀器的操作。一旦出現大振動、高噪音等狀況時，儀器在操作過程中不能移動。渦輪分子泵正在高速運轉。如果泄漏檢測器移動，渦輪分子泵中的葉片將很容易與轉子的圓筒碰撞。立即切斷電源并排除故障，否則會對氦檢儀造成不良影響。氦質譜檢漏儀具有性能穩定、靈敏度高的優點。

氦檢儀本底漏率值是什么？本底值是指由所處環境所形成的較穩定的輻射水平或聲量，由于氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm，5.24×10-6，也就是百萬分之五左右，這說明正常空氣環境中氦氣的含量很小，即氦本底很好。這也是用氦氣作為示蹤氣體的重要原因之一。只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小.正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來。本底高一般都是泄漏的原因，建議檢查閥有沒有內漏，試試增加清掃氣體的壓力，但是也不能過高，因為會影響抽空效率。另外檢漏時切勿將大量的氦氣通進儀器，避免本底太大，難以清理。氦質譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。模塊式氦氣檢測機工作原理

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