氦質譜檢漏儀的優點體現在以下幾個方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。氦質譜檢漏儀定期保養該怎么做？模塊式氦檢儀注意事項

氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到只對氦氣反應的工作狀態)的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小重量輕并且有滲透能力強的優點，達到了細檢漏的目的。客制化氦檢機哪個牌子好氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局。

氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發臺、ICP、PECVD等設備。出現泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現泄漏周圍環境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應產物，保障工作人員安全和大氣環境。4、芯片封裝，一旦出現泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業起著至關重要的作用。

氦檢儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發電廠、制冷工業等領域。氦檢儀在使用過程中，往往會因為產生的一些故障或是現象，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及氦檢儀的使用壽命。其中的有些故障或現象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。氦檢儀熱管檢漏：熱管需要檢漏原因：熱管內部填充特殊液體用來增強熱傳導性能，如果熱管本身存在漏點，首先會影響熱管的導熱性能；其次由于熱管都是安裝在設備內部，如果發生泄漏，里面封裝的液體就會流出，嚴重污染和影響設備的正常運轉，所以熱管生產企業，都會采用氦檢儀對熱管進行檢漏。氦質譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理要求是什么？

影響氦質譜檢漏儀檢測精度的原因是什么？穩定時間對檢測的影響，在充氣的時候，壓縮空氣會因為受壓狀態而進入一個密閉容器后，引起一系列的熱力學-動力學變化。即當一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后，其壓力會發生降低，若此時進行測量，則這種壓力的變化會被視作一個由泄漏所引起的壓力變化，影響測量結果的準確性。這種“沖氣效應”受充氣壓力、測試容積及測試件材料影響。當充氣壓力或測試容積增加時，這種充氣引起的壓力降低隨之變得明顯。解決這個問題的辦法之一是在充氣與測量之間增加一段穩定時間來消除這種影響。氦檢儀應用于調節閥氣路管道檢漏。客制化氦氣檢測儀定制

氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。模塊式氦檢儀注意事項

氦質譜檢漏儀檢漏注意事項：1、工件要保持清潔、干燥。2、對工件噴氦應按以下順序進行：①從上往下。②從靠近測試口到遠離測試口。3、噴氦時應經常檢查噴口是否有氦氣噴出。4、檢完工件，必須將“節流閥”關閉，才能取工件。5、對同一工件，如有兩處以上漏點，應排除Zda的漏點后，再對其它地方檢漏。6、裝工件時應使連接處密封好，不能有漏。7、檢漏間應通風良好，避免氦氣濃度，但應避免強通風。8、氦氣屬貴重氣體，應避免泄漏浪費。氦質譜檢漏儀燈絲安裝時應先將離子源內的污漬用細砂紙打干凈，清洗后再裝。燈絲應正對電離盒電子入口，盡量靠近電離盒，但不能短路，三根引線間也不能相互短路。模塊式氦檢儀注意事項

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