氦檢儀作為一種磁偏轉型質譜分析儀器，結構上分單級磁偏轉型和雙級串聯偏轉性，而在結構組成上，大部分氦檢儀就是由質譜室、真空系統以及電氣系統3部分組成的：質譜室是這種真空氦檢儀器的心臟，又包括離子源、分析器、收集器、前級放大器、冷陰極電離真空計等組成部分；真空系統用于為質譜室提供真空工作條件，保證氦離子的傳輸率；電氣系統的重點功能就是為質譜室供電與測量。另外在有些條件下，氦質譜檢漏可能還會需要輔助真空系統，完成一些預抽、保證氦檢儀真空度等工作。氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣。氦氣檢測儀工作原理

氦質譜檢漏儀常見的幾種檢漏法：1、負壓法檢漏，負壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口，連續向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過漏孔進入檢漏儀并被檢測。一般電子器件的外殼、高壓開關管、氧化鋅、避雷器等都應采用這種方法檢漏。根據產品的不同，需要選擇不同尺寸的夾具或輔助工具。2、壓氦法檢漏，壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經檢漏儀檢測總泄漏量。一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。無損氦檢儀報價掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。

氦檢儀的工作原理：氦檢儀先在質譜室中將采集的被測氣體電離，再利用電磁場將不同荷質比的離子加以分離檢測,從中檢測出事先安排的示蹤氦離子，主要由三大組件構成:真空系統、質譜室和電子學控制單元。氦檢儀內部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內部的高真空。質譜室是氦檢儀的重點部分，它包括離子源、聚焦、質量分析器和測量部分。質譜室入口連接在渦輪分子泵的前級真空部分，分子泵對不同的氣體具有不同的壓縮比特性，氦氣的壓縮比很小，可以逆著分子泵的抽氣方向流動進入質譜室。在質譜室中氦氣被電離，氦離子通過質量分析器的篩選到達收集極，產生一個正比于離子數量的電流信號，該信號經過放大和處理即為泄漏率。

便攜式氦質譜檢漏儀的明顯優點：1、性價比高：便攜式氦質譜檢漏儀是一款實用的檢漏儀，可覆蓋廣大的應用領域，競爭性的價格及較低的使用成本，大抽速前級泵的設計，可縮短抽氣時間，提高使用效率；2、自我保護功能：在突然暴露大氣和突然斷電時具有保護功能，系統的逆擴散設計保護了質譜室的清潔、真空，且不需要液氮；3、結構靈活：可采用主機與前級泵單獨采買，前級泵可使用油封式旋片泵或渦卷式干泵，對于便攜式氦質譜檢漏儀，既可選擇帶有連接配件的主機形式，也可選擇安裝在兩輪小車上的整體形式。專業用于電廠檢漏的氦檢儀關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。

氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統：冷阱。分子泵型真空系統一般不加冷阱。擴散泵型真空系統的冷阱加在質譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離，冷阱加入液氮后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質譜室，保持質譜室的清潔，并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質譜室和被檢件之間的管道上。真空規。一般采用冷陰極磁控放電真室規來測量質譜室中的壓力。也有用電阻規或熱偶規測量被檢件的預抽壓力和系統的前級壓力的。標準漏孔。一般儀器內都附有標準漏孔，用它來校準儀器的較小可檢漏率和對儀器輸出指示進行定標。由于氦質譜檢漏儀儀為高精度精密儀器，其存放和使用環境要保持干凈、衛生。自動氦檢儀大概多少錢

氦檢儀自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。氦氣檢測儀工作原理

氦質譜檢漏儀性能試驗方法：1、反應時間、消除時間及其測定，反應時間是指儀器節流閥完全開啟，本底訊號為零(或補償到零)時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間，記為τR。消除時間是指輸出儀表訊號穩定到固定值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間，記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速，質譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數。利用氦質譜檢漏儀的真空規可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。氦氣檢測儀工作原理

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