氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到只對氦氣反應的工作狀態)的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小重量輕并且有滲透能力強的優點，達到了細檢漏的目的。氦質譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。分體式氦檢機供應廠家

氦檢儀的撿漏方法有哪些？背壓法（壓氦法）真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣，迫使氦氣進入泄漏工件，再放入檢漏罐中檢測是否有氦氣漏出。可根據工件大小定制罐體大小。可檢測工件的整體漏點。檢測精度較高。適用行業：電子元器件，電子封裝等。氦質譜檢漏背壓法優點：檢測靈敏度高；可以進行批量化檢測；一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調整好，再將器件放入加壓罐內壓入氦氣，氦氣進入有漏孔的器件內部，無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時間根據GB2423，2328文件而定，器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空，待真空抽至設定值后自動將夾具連至儀器的測量系統。這時壓入存在漏孔器件內部的氦氣泄漏出來被檢測，其漏率在漏率表上顯示出來。一般壓氦法檢漏時采用排除法。在夾具中放一定數量的器件，這一批的總漏率沒超過報廢預定值，說明這一批合格；總漏率超過報廢預定值可以取出一半，剩下的一半繼續檢漏，這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中，依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。分體式氦檢機供應廠家氦檢儀整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

氦質譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理：一、機械維護，檢查泵的油量，如果低于低標線，則加入泵油；如果變黑或渾濁，則更換泵。使用方法見機械泵說明書。二、清洗，泄漏探測器沒有氦進入，但有一定的泄漏率指示，長期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時又被釋放，造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進入氦質譜檢漏儀，在氦質譜檢漏儀下方設置過濾器，將其拆下，用酒精浸泡清洗。檢查泄漏，用棉布擦拭波紋管。三、以下是常見的故障現象、原因及解決方法。斷電：1.電源線連接不當；2、保險管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規格的保險管。

便攜式氦質譜檢漏儀的明顯優點：1、性價比高：便攜式氦質譜檢漏儀是一款實用的檢漏儀，可覆蓋廣大的應用領域，競爭性的價格及較低的使用成本，大抽速前級泵的設計，可縮短抽氣時間，提高使用效率；2、自我保護功能：在突然暴露大氣和突然斷電時具有保護功能，系統的逆擴散設計保護了質譜室的清潔、真空，且不需要液氮；3、結構靈活：可采用主機與前級泵單獨采買，前級泵可使用油封式旋片泵或渦卷式干泵，對于便攜式氦質譜檢漏儀，既可選擇帶有連接配件的主機形式，也可選擇安裝在兩輪小車上的整體形式。氦質譜檢漏儀的靈敏度可達10-12Pam3/s。

氦檢儀有漏率靈敏度參數，它是儀器在出廠時經過校準的在較佳條件下所能實現的儀器靈敏度，但平常實際使用時其靈敏度是低于該參數的，稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中，氦檢儀的檢漏方法也較多，有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式，可結合實際情況靈活運用。如較簡單常用的噴吹法，與鹵素氦檢儀的真空法類似，將被檢件抽真空，調整好氦檢儀并與被檢件連通，隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣，如果存在漏洞，噴吹一定時間后，氦檢儀即可發出信號。檢漏過程中，如發現大量氦氣進人氦質譜檢漏儀，應立即移去吸口。分體式氦檢機供應廠家

氦質譜檢漏儀的保養項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。分體式氦檢機供應廠家

氦質譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護？當發現檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。這個時候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電極部件，不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；然后用烘箱或電吹風進行干燥。如果操作正確，經過清洗維護后的氦質譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。分體式氦檢機供應廠家

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