氦質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發電廠、制冷工業等領域。檢漏儀在使用過程中，往往會因為產生的一些故障或是現象，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種，將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。氦質譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲。蕪湖氦氣檢測機

氦檢儀在壓力容器中的常用方法：噴氦法，噴氦法是常用，比較方便的檢漏方法。檢漏時，用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴頭向懷疑有漏泄的部位噴氦氣，如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置，則裝置內的氦分壓就會上升，氦氦檢儀上就會顯示有泄漏率。是否合格要看標準漏率值是定在多少，超過標準漏率值的可視為不合格。氦罩法，這種方法使用一個檢漏罩（塑料薄膜等）把被檢容器包起來，先排除罩內空氣，然后充入氦氣或氦氣的混合氣體，氦檢儀與被檢容器內部連接，當氦檢儀有漏率顯示時，說明有泄漏。這個漏率稱為總漏率。總漏率為各個分漏率之和；總漏率不超標準值，則各個分漏率也不超標準值；總漏率超過標準值，則檢查各個點的分漏率是否超過標準值。然后再對超過標準值的漏孔進行修補，直至達到合格標準為止。便攜式氦氣檢測儀品牌推薦氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法？

氦檢儀噪聲是哪兒來的？高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲，另一個就是本底噪聲。實際上，目前通過對電子線路的改進，儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經降到很低的一個程度，因此已經不是限制設備靈敏度的主要因素，如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話，可以通過放大信號的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩定造成，與本底的大小以及電磁場參數的穩定度有關，具體的包括：1、離子源發射電子流的不穩定性，加速電壓、分析器電磁參數的不穩定性；2、氦氣在真空系統內的吸附和再放出（如真空油脂、人造橡膠、有機絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣），電離真空計特別是磁放電真空計對氦氣的記憶效應（被污染的情況下更為嚴重）；3、抽氣系統中氦氣的反擴散與對氦氣抽速的不穩定性；4、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透；5、殘余氣體分子對氦離子的散射等等。這些因素對本底噪聲及靈敏度的影響都很大。

提高氦質譜檢漏儀靈敏度方法：1、盡量開大節流閥。2、盡量減小外接泵對工件的分流或采用不分流檢漏(當工件抽上真空后，關閉工件與外接泵之間的閥門)。3、將工件用塑料袋包扎，袋內再充入氦氣，(但此法不能測出具體漏點)。4、使用液氮，全開節流閥，采用不分流檢漏，必要時可將抽速閥關小。氦質譜檢漏儀日常維護：1、定期更換燈絲，清洗冷規。2、定期更換機械泵油，適時對機械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質譜檢漏儀部件后，安裝時要避免安裝處出現泄漏。5、適時對氦質譜檢漏儀可能出現的泄漏處(如放氣閥)進行清洗，排除漏點。氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器。

氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發臺、ICP、PECVD等設備。出現泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現泄漏周圍環境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應產物，保障工作人員安全和大氣環境。4、芯片封裝，一旦出現泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業起著至關重要的作用。氦質譜檢漏儀應用領域：學校科研單位、真空制造、真空鍍膜、航空航天等。便攜式氦氣檢測儀品牌推薦

氦質譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體？蕪湖氦氣檢測機

氦檢儀靈敏度高、操作便捷、低維護，使您放心得到準確可靠的測試結果。產品普遍應用于科研院所、航空航天、動力鋰電池，閥門、精密儀表、機械加工、電力、半導體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。氦檢儀關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。氦檢儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有氦檢儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。蕪湖氦氣檢測機

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