氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣，因為氦氣具有以下特性：①氦氣在空氣中的含量極少，只占約二十萬分之一，這樣氦氣的本底值就小，有利于發現極微量的氦氣;②氦分子小、質量輕、易擴散、易穿越漏孔，易于檢測也易于清理;③氦離子荷質比小，易于進行質譜分析;④氦氣是惰性氣體，化學性質穩定，不會腐蝕和損傷任何設備;⑤氦氣無毒，不凝結，極難容于水。氦質譜檢漏技術用于火力發電廠的檢漏工作,具有操作方便、靈敏度高和無損傷性等優點,特別是可以在正常運行中準確快捷地對機組進行檢漏,減少停機帶來的經濟損失。氦質譜檢漏儀的靈敏度可達10-12Pam3/s。分體式氦檢儀使用方法

氦質譜檢漏儀如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環境有很大關系，盡量做到與檢測對象的工作狀態一致。如檢測對象工作時內部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內部處于負壓，則用真空模式。氦質譜檢漏儀以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。影響氦質譜檢漏儀靈敏度的因素包括實際檢測條件、輔助真空系統以及操作人員的技術等多方面。選購氦質譜檢漏儀時不要盲目地認為價格高是好的，低的價格時不好的，要選擇適合自己的產品。這樣選擇出來的產品，才會更加的符合我們的使用情況。真空氦氣檢測機多少錢一臺氦檢儀可靠的品質保證普遍的市場應用。

氦質譜檢漏儀調氦峰步驟：1、調氦峰方法：開漏孔開關，單方向(從75~165V或從165~75V)調加速電壓“V”，使氦質譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現一個Zda值，然后關漏孔開關，如表頭指示值變小，說明氦質譜檢漏儀接收到氦信號，即找到氦峰；如表頭指示值不變，說明不是氦峰，則繼續調“V”，直到找到氦峰(出現氦的“V”一般在85~150V之間)。2、調氦峰分辨不好：①氦和重離子分辨差。②氦和輕離子分辨差。3、調氦峰信號小：①燈絲沒正對電離盒上的電子入口。②燈絲離電離盒太遠。③分辨不好。

氦質譜檢漏儀常見的幾種檢漏法：1、負壓法檢漏，負壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口，連續向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過漏孔進入檢漏儀并被檢測。一般電子器件的外殼、高壓開關管、氧化鋅、避雷器等都應采用這種方法檢漏。根據產品的不同，需要選擇不同尺寸的夾具或輔助工具。2、壓氦法檢漏，壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經檢漏儀檢測總泄漏量。一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。氨質譜檢漏儀在許多領域里得到普遍的應用。

氦檢儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到只對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。專業用于電廠檢漏的氦檢儀。關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。有些國家生產的氦檢儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果。模塊式氦檢儀單位

氦質譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。分體式氦檢儀使用方法

氦檢儀在無源器件中的檢漏應用：無源器件檢漏原因：光無源器件是光纖通信設備的重要組成部分，也是其它光纖應用領域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點。光無源器件對密封性的要求極高，如果存在泄漏會影響其使用性能和精度，光通信行業的漏率標準是小于5×10-8mbar.l/s，因此需要進行泄漏檢測。氦質譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位，定量漏點，替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏，目前已普遍應用于光無源器件的檢漏。光無源器件檢漏方法：由于無源器件體積小，且無法抽真空或直接充入氦氣，我們采用“背壓法”檢漏，具體做法如下。1.將被檢無源器件放入真空保壓罐，壓力和時間根據漏率大小設定。2.取出無源器件，使用空氣或氮氣吹掃表面氦氣。3.將無源器件放入真空測試罐，測試罐連接氦檢儀。4.啟動氦檢儀，開始檢漏。分體式氦檢儀使用方法

上海妤林真空設備技術有限公司是以提供氦氣檢漏儀，氦氣回收系統，檢漏儀，氦檢儀為主的有限責任公司（自然），上海妤林真空是我國儀器儀表技術的研究和標準制定的重要參與者和貢獻者。上海妤林真空致力于構建儀器儀表自主創新的競爭力，上海妤林真空將以精良的技術、優異的產品性能和完善的售后服務，滿足國內外廣大客戶的需求。