氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩定，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應連接穩壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動氦檢儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。③氦檢儀應按照說明書的要求定期進行保養，保養的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。④氦檢儀在運行了2000h后應對前級泵進行維修和保養，運行7000h分子泵進行維護和保養。氦檢儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。移動式氦檢儀技術指導

氦檢儀機械泵故障及處理：1、機械泵不動作，檢查項目有：氦檢儀電源電壓是否正常，開關是否打開，繞組是否斷路或接地，電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。2、機械泵聲音異常，檢查油位是否合適，油質是否變壞，油溫是否<10℃，油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出，更換油霧過濾器)。氦檢儀質譜室故障及處理：1、燈絲無法正常啟動，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態后，若燈絲仍無法發射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導通，消除短路現象。2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態且大小遠遠超過氦檢儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質譜室出現故障一般用戶無法解決，只需對故障進行定位，交由維修處理。移動式氦檢儀技術指導氦檢儀的實際應用方案很多，常用的三種檢漏方法有負壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法）。

氦檢儀的撿漏方法：正壓法（吸入法）。可分為真空箱法和正壓法兩張模式，工件內充氦氣，吸搶檢測可根據工件漏率選擇性充入一定比例混合氦氣可檢測工件的具體漏點。檢測精度高。適用行業：特種閥門，高壓管道，制冷管路，汽輪機組等。因為空氣中含有5ppm的氦氣，正壓法檢漏靈敏度相對負壓法要低。氦檢儀正壓法有二種方式,即移動嗅探式和氦罩累積式。前者只能定性檢測大漏,后者則可定量檢測微漏。氦質譜檢漏正壓氦罩法注意事項：??氦罩要專門設計,一般用金屬制作(塑料布在長時間累積中滲透量太大)。如果累積時間短,也可用0.10～0.15mm的塑料布制作。檢測時氦罩應盡量小,以便提高氦的壓升率。氦罩要密封。探測口要方便檢測。檢漏過程中,儀器靈敏度和吸頭在校準后不得進行調整,否則要重新進行校準。吸頭不應一直插在檢測口內,以免影響累積信號。在低溫探測時,環境濕度應盡量降低,被檢件應先加高壓示漏氣體而后降溫,以免小孔阻塞。

氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到只對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不但靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。氦質譜檢漏儀的靈敏度可達10-12Pam3/s。

選擇氦質譜檢漏儀時主要考慮以下問題：1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，不宜作為批量產品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦質譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染，就應選擇無油真空系統的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預抽泵。氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。溫州氦氣檢測設備

氦質譜檢漏儀的保養項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。移動式氦檢儀技術指導

任何儀器在制作過程中難免會遇到密封不嚴的情況，某些不重要的設備中輕微的泄露沒有太大關系，但是汽車管路作為汽車轉配中的重要零部件，關系著車輛和乘員的安全。良好的密封才能決定儀器的正常使用，所以檢漏十分重要!傳統的檢漏方法：如加壓水檢法、壓差法、鹵素檢漏法，在檢漏速度、精度及環保性能上都有一定程度的缺陷，而氦檢漏技術，是集真空技術、計算機技術及質譜技術為一體的應用技術，為汽車空調兩器及管路提供專業的檢漏方案。氦檢儀可靠的品質保證普遍的市場應用，氦檢儀適用于工業、分析研究、鍍膜市場等。檢漏時，如果用氦氣噴吹漏孔，氦氣便通過漏孔進入氦檢儀的質譜室中，使氦檢儀的測量儀表立即靈敏地反應出來，達到了檢漏的目的。此款氦檢儀堅固耐用，抗震性能極強，可反復使用數年仍保證的檢漏漏率。氦檢儀緊湊的設計適合串列生產和持續工作。移動式氦檢儀技術指導

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