影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些？氦檢儀檢漏時，產生測量誤差的主要來源主要包括8個方面：第1，氦檢儀在校準靈敏度時，標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標準漏孔與被檢漏孔至氦檢儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導致經二者進入氦檢儀的氦氣量可比性差。第二，進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數值而導致無法換算，這時也會產生漏率測量誤差。第三，所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。第四，氦檢儀輸出指示與漏率的線性關系差。第五，校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時，所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六，氦檢儀的性能不穩定。第七，氦氣純度不穩定或存在誤差。第八，之后也就是檢漏操作人員的因素，包括素質、責任心、技術水平以及工作經驗等。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度高，用得普遍的氦檢儀器。氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。真空氦氣檢測設備工作原理

氦檢儀具有性能穩定、靈敏度高的特點。靈敏度、反應時間、清零時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦檢儀的主要性能指標。檢測氣體使用氦氣的主要原因如下：(1)對人體和自然環境沒有毒害；(2)不能燃燒，作業安全；(3)惰性氣體，和被檢測對象不會發生化學反應；(4)分子直徑和質量小，容易穿過微小縫隙，便于檢漏；(5)通常環境下保持氣體狀態，不會堵住微漏孔；(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣；(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm，容易定點查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多，向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作，否則不利于判定漏點所在。當腔體構造復雜，或漏率極小時，可針對重點部位用塑料袋套住，然后向塑料袋內部充入氦氣，實現對特定重點部位的檢漏。鎮江氦檢儀供應商家氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。

氦檢儀中沒有手動閥，現已采用自控閥自動調節運轉時的誤差。同時用渦輪分子泵取代了油擴散泵,以消除可能造成的油返流。計算機技術也在氦檢儀中獲得應用。運轉、控制和輸出數據均由計算機自動操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個操作只須按各種按鈕自動進行。氦檢儀現在已經滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業。氦檢儀在未來的歲月中還將在許多的工業領域中得到新的應用。氦檢儀質量范圍很寬，不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不只解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。

如何正確選擇氦檢儀？（1）儀器的功能是否能滿足檢漏的要求，如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不合適正壓法檢漏：有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，就不宜作為批量產品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，因此應選擇有雙工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度是否能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，被應選擇無油真空系統的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預抽泵抽速答的氦檢儀，否則要另配預抽泵就比較麻煩。（5）如果被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，就要選擇功能較全，靈敏度較高，檢漏范圍寬的氦檢儀。（6）如果檢漏地點不固定，需要經常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。（7）在滿足檢漏基本要求的基礎上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否建議、維修是夠方便等方面的問題。氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局。

氦檢儀的撿漏方法有哪些？背壓法（壓氦法）真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣，迫使氦氣進入泄漏工件，再放入檢漏罐中檢測是否有氦氣漏出。可根據工件大小定制罐體大小。可檢測工件的整體漏點。檢測精度較高。適用行業：電子元器件，電子封裝等。氦質譜檢漏背壓法優點：檢測靈敏度高；可以進行批量化檢測；一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調整好，再將器件放入加壓罐內壓入氦氣，氦氣進入有漏孔的器件內部，無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時間根據GB2423，2328文件而定，器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空，待真空抽至設定值后自動將夾具連至儀器的測量系統。這時壓入存在漏孔器件內部的氦氣泄漏出來被檢測，其漏率在漏率表上顯示出來。一般壓氦法檢漏時采用排除法。在夾具中放一定數量的器件，這一批的總漏率沒超過報廢預定值，說明這一批合格；總漏率超過報廢預定值可以取出一半，剩下的一半繼續檢漏，這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中，依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。氦檢儀噴氦法檢測靈敏度高，可精確定位。真空氦氣檢測設備工作原理

氦檢儀整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。真空氦氣檢測設備工作原理

氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩定，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應連接穩壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動氦檢儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。③氦檢儀應按照說明書的要求定期進行保養，保養的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。④氦檢儀在運行了2000h后應對前級泵進行維修和保養，運行7000h分子泵進行維護和保養。真空氦氣檢測設備工作原理

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