氦檢儀應用于調節閥氣路管道檢漏：調節閥又名控制閥，在現代化工廠的自動控制中，調節閥起著十分重要的作用，如果調節閥有漏，將會嚴重影響設備運行，進而降低整體的生產效率。氦檢儀成功應用于調節閥中的氣路管道檢漏,經過檢漏后的調節閥普遍應用于電廠、生物制藥、化工等行業。調節閥檢漏，閥門氣密性測試方案是向閥門內充入設定壓力的氦氣，如在被檢測處如閥桿等，用氦檢儀正壓法檢測，正壓法檢測的精度可充分滿足氣密性檢測要求。氦檢儀用于調節閥的氣路管道進行檢漏,檢漏標準是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同時需要提供快速,清潔的檢漏環境.采用氦檢儀正壓法模式,即在密封的氣體管路中充入一定量的氦氣,然后進行檢漏.氦檢儀同時擁有兩種檢漏模式真空模式及正壓模式，可根據客戶不同需求，選擇不同的檢漏方法。氦質譜檢漏儀的本底噪聲，一般指在2min內輸出儀表的較大的波動量，能較方便地估計檢漏效果。進口氦檢儀工作原理

氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發臺、ICP、PECVD等設備。出現泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現泄漏周圍環境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應產物，保障工作人員安全和大氣環境。4、芯片封裝，一旦出現泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業起著至關重要的作用。多功能氦氣檢測儀特點影響氦質譜檢漏儀檢測精度的原因是什么？

氦檢儀噴氦法檢測優點：1．檢測靈敏度高，可精確定位。2．能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。氦檢儀噴氦法法檢測標準：檢測標準主要有QJ3123-2000《氦質譜真空檢漏方法》、GB／T15823-2009《氦泄漏檢驗》。氦檢儀噴氨法檢漏流程:1.將工件組裝好后，再使用相應的工裝，將工件連接到氦檢儀上。2.待確認連接OK后，按下氦檢儀“開始”按鍵，氦檢儀進入抽空檢漏狀態。3.觀察氦檢儀顯示屏上的顯示的本底值達到4.0×10-10Pa.m3/s.4.使用99.99%或999%的氨氣，對工件可疑漏點，進行噴氨檢測。5.每個可疑漏點，噴氨1秒，觀察氦檢儀本底值3-5秒。觀察氦檢儀本底值有沒有增加或氦檢儀是否有報警輸出。6.按照步驟5依次檢測其它可疑漏點。7.噴氨氣檢測順序是從上而下，先確認大漏點，8.檢測結束后，先按下氦檢儀“停止按鍵，待氦檢儀顯示屏出現待機畫面后，再拆卸工件。

氦檢儀開機如何操作？1、將總電源轉到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關，表頭示值也應能抽到原來位置，再關抽速閥。2、將總電源轉到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規開關，“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規已激發)再關冷規。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規，表頭指針應從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規，可等一會兒再開)，當真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發射電流”有指示，開、關漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關漏孔。將工件用外接泵抽上真空后，開節流閥至冷規指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對工件噴氦檢漏。檢漏完，關節流閥。氦質譜檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養。

隨著汽車行業的迅猛發展，汽車空調行業對氦檢的需求越來越大，對氦檢的性能指標要求越來越高。氦檢儀在汽車空調蒸發器、冷凝器和壓縮機檢漏上在擁有氦氣檢漏的普遍優點的同時，更具備操作方便、工作節拍快、誤判率低等獨有特點。對被檢工件抽空后充入一定壓強的氦氣，被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱與氦檢儀檢漏口相接。若被檢工件有漏，則漏入真空箱的氦氣可通過氦檢儀測出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置，在檢漏前后分別實現氦氣的充鑄和回收。電廠使用氦檢儀主要是對汽輪機內部真空系統的檢漏，還有冷凝罐的檢漏，由于每一個環節如果有泄漏的話都會增加生產成本，所以電廠檢漏在實際生產中是非常重要的。氦檢儀在電廠檢漏領域被普遍使用。氦質譜檢漏儀是根據被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。進口氦檢儀工作原理

氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器。進口氦檢儀工作原理

氦檢儀在壓力容器中的常用方法有哪些？正壓法，正壓法是先向壓力容器裝置中充入一個以上的大氣壓的氦氣或氦氣與其他氣體的混合氣，從壓力容器裝置的外部檢測從漏孔泄漏到外部的氦氣，進而發現漏孔。用吸頭尋找氦氣時，一旦氦氣被吸入，氦氦檢儀就會顯示出漏率值。在這種情況下，因為壓力容器裝置外部是一個大氣壓，所以充入壓力容器裝置內的氣體壓至少需要一個大氣壓以上。但壓力不宜過高，壓力過高，插在裝置上的壓力表或其它插件就會彈出而發生傷人等危險事故。進口氦檢儀工作原理

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