氦檢儀作為一種磁偏轉型質譜分析儀器，結構上分單級磁偏轉型和雙級串聯偏轉性，而在結構組成上，大部分氦檢儀就是由質譜室、真空系統以及電氣系統3部分組成的：質譜室是這種真空氦檢儀器的心臟，又包括離子源、分析器、收集器、前級放大器、冷陰極電離真空計等組成部分；真空系統用于為質譜室提供真空工作條件，保證氦離子的傳輸率；電氣系統的重點功能就是為質譜室供電與測量。另外在有些條件下，氦質譜檢漏可能還會需要輔助真空系統，完成一些預抽、保證氦檢儀真空度等工作。氦質譜檢漏儀具有性能穩定、靈敏度高的優點。國產氦檢設備生產廠家

氦檢儀應用領域：工業：真空爐、鍍膜系統、壓力容器、超高真空工程。高能物理：加速器、束線、同步輻射光源。科研領域：空間模擬系統、試驗裝置、微電子、表面分析系統。半導體及電子：工藝設備、氣路、氣路傳輸設備、電子元器件、封裝。汽車制冷：蒸發器、空調、管路。核工業：核電閥門、核容器。航空航天：空間模擬器、航天器、管路。電廠：管道、蒸汽發生器、熱交換器、冷凝器。氦檢儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。氦質譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬，此外氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。推車式氦檢設備價格高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲，另一個是本底噪聲。

氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發臺、ICP、PECVD等設備。出現泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現泄漏周圍環境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應產物，保障工作人員安全和大氣環境。4、芯片封裝，一旦出現泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業起著至關重要的作用。

氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩定，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應連接穩壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動氦檢儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。③氦檢儀應按照說明書的要求定期進行保養，保養的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。④氦檢儀在運行了2000h后應對前級泵進行維修和保養，運行7000h分子泵進行維護和保養。氦檢儀噪聲是哪兒來的？

氦檢儀應用于調節閥氣路管道檢漏：調節閥又名控制閥，在現代化工廠的自動控制中，調節閥起著十分重要的作用，如果調節閥有漏，將會嚴重影響設備運行，進而降低整體的生產效率。氦檢儀成功應用于調節閥中的氣路管道檢漏,經過檢漏后的調節閥普遍應用于電廠、生物制藥、化工等行業。調節閥檢漏，閥門氣密性測試方案是向閥門內充入設定壓力的氦氣，如在被檢測處如閥桿等，用氦檢儀正壓法檢測，正壓法檢測的精度可充分滿足氣密性檢測要求。氦檢儀用于調節閥的氣路管道進行檢漏,檢漏標準是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同時需要提供快速,清潔的檢漏環境.采用氦檢儀正壓法模式,即在密封的氣體管路中充入一定量的氦氣,然后進行檢漏.氦檢儀同時擁有兩種檢漏模式真空模式及正壓模式，可根據客戶不同需求，選擇不同的檢漏方法。氦檢儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。自動氦氣檢測機使用方法

氦檢儀緊湊的設計適合串列生產和持續工作。國產氦檢設備生產廠家

氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了普遍應用。氦檢儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。國產氦檢設備生產廠家

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