氦檢儀產生測量誤差主要包括哪幾個方面?第1,當氦質譜泄漏檢測器校準靈敏度時,標準泄漏的位置與檢測泄漏的位置不同,即標準泄漏與檢測泄漏檢測器之間的距離太大,在途中泄漏氦的損失不相等,導致進入檢測泄漏檢測器的氦量可比性差。第二,進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數值而導致無法換算,這時也會產生漏率測量誤差。第三,所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。第四,氦檢儀輸出指示與漏率的線性關系差。第五,校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時,所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六,氦檢儀的性能不穩定。第七,氦氣純度不穩定或存在誤差。氦檢儀為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。客制化氦氣檢測設備報價
氦檢儀靈敏度降低應該如何維護?當發現氦檢儀的靈敏度降低,而氦檢儀的工作真空度狀態良好,放大器的各級工作電壓也符合標準要求,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。這個時候,就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下:先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電極部件,這里不能用粗砂紙,因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件;然后用航空汽油和無水乙醇清洗,并用去離子水沖洗干凈;較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意,分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱,否則可能導致磁鐵退磁,使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確,經過清洗維護后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2~3倍。客制化氦氣檢測設備報價檢漏過程中,如發現大量氦氣進人氦質譜檢漏儀,應立即移去吸口。
氦檢儀漏率的校準方法:一、環境條件,校準環境溫度為(23±5)℃,校準過程中室溫變化不超過±1℃,環境相對濕度不大于80%。校準設備周圍應無明顯的溫差、氣流和強電磁場等外部干擾。環境溫度較好控制在23℃附近,因為標準漏孔的出廠標稱漏率對應的環境溫度一般為23℃。二、標準器的選擇,標準器采用滲氦型標準漏孔,漏率標稱值在(10-6~10-10)Pa·m3/s,不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計,測量范圍(0~50)℃,不確定度U=0.04℃,k=2。
氦檢儀的組成部分有哪些?真空系統:冷阱。分子泵型真空系統一般不加冷阱。擴散泵型真空系統的冷阱加在質譜室、檢漏口與擴散泵之間,使三者被冷阱隔離,冷阱加入液氮后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質譜室,保持質譜室的清潔,并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質譜室和被檢件之間的管道上。真空規。一般采用冷陰極磁控放電真室規來測量質譜室中的壓力。也有用電阻規或熱偶規測量被檢件的預抽壓力和系統的前級壓力的。標準漏孔。一般儀器內都附有標準漏孔,用它來校準儀器的較小可檢漏率和對儀器輸出指示進行定標。氦檢儀緊湊的設計適合串列生產和持續工作。
氦檢儀的工作原理:氦檢儀先在質譜室中將采集的被測氣體電離,再利用電磁場將不同荷質比的離子加以分離檢測,從中檢測出事先安排的示蹤氦離子,主要由三大組件構成:真空系統、質譜室和電子學控制單元。氦檢儀內部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內部的高真空。質譜室是氦檢儀的重點部分,它包括離子源、聚焦、質量分析器和測量部分。質譜室入口連接在渦輪分子泵的前級真空部分,分子泵對不同的氣體具有不同的壓縮比特性,氦氣的壓縮比很小,可以逆著分子泵的抽氣方向流動進入質譜室。在質譜室中氦氣被電離,氦離子通過質量分析器的篩選到達收集極,產生一個正比于離子數量的電流信號,該信號經過放大和處理即為泄漏率。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。自動氦檢設備多少錢
氦質譜檢漏儀是根據被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。客制化氦氣檢測設備報價
氦檢儀在使用過程中,較常見的故障就是燈絲脆斷,氦檢儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。氦檢儀燈絲壽命如何延長?造成氦檢儀燈絲脆斷的原因:1.真空度低;2.燈絲電流過大;3.對燈絲有害的氣體氣壓太高(氧化性氣體、水蒸氣、氫氣)。那么,在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環境下長時間開啟,或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦檢儀的燈絲壽命。如:1.使用中盡量將預置真空開關空擋;2.避免電離室泄入有害氣體(氧化性氣體、水蒸氣、氫氣)。客制化氦氣檢測設備報價
上海妤林真空設備技術有限公司成立于2020-06-11,同時啟動了以妤林為主的氦氣檢漏儀,氦氣回收系統,檢漏儀,氦檢儀產業布局。旗下妤林在儀器儀表行業擁有一定的地位,品牌價值持續增長,有望成為行業中的佼佼者。同時,企業針對用戶,在氦氣檢漏儀,氦氣回收系統,檢漏儀,氦檢儀等幾大領域,提供更多、更豐富的儀器儀表產品,進一步為全國更多單位和企業提供更具針對性的儀器儀表服務。值得一提的是,上海妤林真空致力于為用戶帶去更為定向、專業的儀器儀表一體化解決方案,在有效降低用戶成本的同時,更能憑借科學的技術讓用戶極大限度地挖掘妤林的應用潛能。