檢漏儀待機時電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。在檢漏過程中，當出現意外情況，系統突然暴露大氣或真空度突然降低，導致大量的氣體突然進入電離室，真空度≥1x10-1Pa時，燈絲電流急劇增大，燈絲被碳化，就發生了脆斷現象。檢漏儀燈絲壽命如何延長？由前面分析已知，造成檢漏儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環境下長時間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長檢漏儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預置真空開關空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。氦質譜檢漏儀實際的檢漏靈敏度比理論計算值低。上海國產檢漏儀原理

檢漏儀對高純氣體管道進行測試的注意事項：確認系統中的壓力為0，如果系統中還有正壓，要先將系統中的氣體放掉。緩緩打開檢漏儀入口處的閥門，開始將系統抽成真空狀態。遵照檢漏儀的操作說明操作，直至達到可以檢測的狀態。記錄下檢漏儀的背景氦漏率，該背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以進行噴吹工作。從較靠近檢漏儀的焊道或連接處開始檢測，將氦氣用噴口噴吹到焊道或連接處，使得氦氣會停留在焊道或連接處一段時間，確認沒有泄漏后，進行下一個焊道或連接處的檢測，直到較后一個焊道或連接處。如果發現檢漏儀的指示值有上升的現象，待到檢漏儀讀值恢復正常后，重新檢測該焊道或連接處以確認其是否真的有漏，如果確認不是該焊道或連接處有漏，要依次檢測該焊道或連接處之前的焊道或連接處，直到找到漏點為止。直至所有的接點都被檢測到，檢測合格的接點要貼合格標志。所有的接點都噴吹過氦氣后，繼續觀察檢漏儀的讀值10分鐘左右，確認讀值沒有異常后才可以將系統與儀器之間分離開。浙江真空衰減法檢漏設備檢漏儀在正式檢漏前，工件內部要用氦氣將工件內部的空氣排出，保證一定的氦氣濃度。

檢漏儀中使用防返油閥的目的：主要是防止機械泵中的油，在檢漏儀停止工作時，從機械泵內返到檢漏儀的閥座內，導致檢漏儀無法正常使用。防返油通常是裝配在機械泵的進氣口，另一端與分子泵的排氣口連接。在通電后，防返油閥內部打開，使分子泵排氣口和機械泵進氣口導通。氣流沿分子泵進入機械泵。在斷電后，防返油閥內部關閉，外界的空氣沿閥內部的通道進入閥的出氣口，使機械泵進氣口達到大氣壓狀態。從而防止機械泵油從進氣口返出。優點：防返油閥，能夠很好的避免因機械泵故障，導致返油到檢漏儀閥座和分子泵的概率。能夠更好的保護檢漏儀。

檢漏儀的整體結構:一、質譜室,形象的說，質譜室是檢漏儀的心臟，由離子源、分析器和電氣系統三個部分組成，并將冷陰極磁控規也放在其內，共用其磁場。為了有利于微小的粒子流放大，將一級放大用高阻及靜電計管也放在質譜室之內。質譜室殼由非磁性材料制成，內部抽空，而外部設置成磁鐵形成磁分析器的磁場。二、真空系統,真空系統是提供質譜室正常工作的條件。由于鎢陰極正常工作時需要具備0.001-0.01Pa的真空度，同時保證氦離子在分析器中的運動有較高的傳輸率，因此建立一個高真空系統是必要的。系統中的節能閥則是為了滿足質譜室工作壓力的調節，該閥全開時檢漏靈敏度較高，因此在條件允許情況下開啟大些為宜。檢漏時為了校準檢漏靈敏度，系統中設置了標準漏孔。氦質譜檢漏儀的選擇要進行多家的貨物進行對比。

氦質譜檢漏儀使用液氮步驟：1、加液氮：在冷規指針過1×10-2Pa以后，加入液氮。2、停機前必須將殘余液氮排除后，才能關機：關機前先關“冷規”，關抽速閥，將總電源轉到“前級泵”，將冷阱內殘余液氮排出，再加入熱水，等20分鐘左右，擴散泵已冷，將總電源轉到“關”。3、加液氮時應注意防護，加液氮每次不一定加滿，使用中如不夠，可再加。4、第二天(或定期)將液氮冷阱取下，清洗冷阱內、外筒，再用吹風吹干，安裝好后按正常程序開機。適時對氦質譜檢漏儀可能出現的泄漏處(如放氣閥)進行清洗，排除漏點。不同氦質譜檢漏儀都有特定的使用范圍。江蘇進口檢漏儀哪個牌子好

使用中盡量將預置真空開關空擋可以有效延長檢漏儀的燈絲壽命。上海國產檢漏儀原理

氦質譜檢漏儀的極限真空及入口處抽速，質譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數。利用檢漏儀的真空規可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。所謂“可檢率”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內輸出儀表的較大的波動量，能較方便地估計檢漏效果。氦質譜檢漏儀應用領域：學校科研單位、真空制造、真空鍍膜、航空航天、核工業、電力、電子元器件、汽車及制冷、低溫容器、閥門、儀器儀表、聚酯等行業。上海國產檢漏儀原理

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