檢漏儀質譜室故障及處理：1、燈絲無法正常啟動，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態后，若燈絲仍無法發射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導通，消除短路現象。2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態且大小遠遠超過檢漏儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質譜室出現故障一般用戶無法解決，只需對故障進行定位，交由維修處理。檢漏儀檢測開始時出現的故障：1、檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)，檢查燈絲是否啟動。如果燈絲沒有啟動或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒有反應。2、檢漏鍵無效(指示燈不亮)，I/O短接插頭未插入檢漏儀故障后面插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面插座，這時檢漏儀將接受I/O口輸入信號，而不接受遙控器信號，檢漏鍵無效。檢漏儀檢漏時出現的故障：氦本底太高，檢查機械泵油是否失效，檢查儀器系統是否有漏。真空檢漏儀注意事項

檢漏儀內部泄漏怎么處理？ 不同的密封部位出現泄漏采用不同的處理方法。①檢漏接口與閥門組塊的連接部位有漏，可先采用灌膠密封處理，若密封性仍不能滿足要求，需從廠家購買新品進行更換。②電磁閥與閥門組塊間的密封圈有漏，則對密封圈進行更換，并先用無水乙醇將密封面、密封圈清洗干凈，且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(這些材料在真空條件下放氣，會影響儀器本底)等密封添加劑。③各零部件間的密封一般也采用橡膠圈密封，若有漏，更換密封圈即可。注意事項同上。④真空計的探針與其外殼間采用密封膠密封，該密封環節在檢測時極易被忽視，此處若有漏可先進行灌膠處理，但探針間距很小，可操作空間有限，若灌膠后密封效果不佳，則從廠家購買新品進行更換。金華自動檢漏設備不同氦質譜檢漏儀都有特定的使用范圍。

檢漏儀的應用特點：(1)便攜式：各國推出的小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。(2)高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。(3)自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。(4)全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。(5)檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不但解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。

檢漏儀中使用防返油閥的目的：主要是防止機械泵中的油，在檢漏儀停止工作時，從機械泵內返到檢漏儀的閥座內，導致檢漏儀無法正常使用。防返油通常是裝配在機械泵的進氣口，另一端與分子泵的排氣口連接。在通電后，防返油閥內部打開，使分子泵排氣口和機械泵進氣口導通。氣流沿分子泵進入機械泵。在斷電后，防返油閥內部關閉，外界的空氣沿閥內部的通道進入閥的出氣口，使機械泵進氣口達到大氣壓狀態。從而防止機械泵油從進氣口返出。優點：防返油閥，能夠很好的避免因機械泵故障，導致返油到檢漏儀閥座和分子泵的概率。能夠更好的保護檢漏儀。如果檢漏地點不固定，需要經常搬運氦質譜檢漏儀時，就要選擇小型便攜式的儀器。

氦氣檢漏儀在鍋爐檢漏中的應用：氦質譜檢漏的主要特點：①檢漏儀的示蹤氣體通常選用氦氣.因氦氣在空氣中的含量極少，只占約二十萬分之一這樣氦氣的本底值就小有利于發現極微量的氦氣；②氦分子小、質量輕、易擴散、易穿越漏孔.易于檢測也易于清理；③氦離子荷質比小，易于進行質譜分析；④氦氣是惰性氣體化學性質穩定不會腐蝕和損傷任何設備：⑤氦氣無毒，不凝結，極難容于水。與常規水壓查漏相比，氦質譜檢漏技術具有快速、準確、靈敏度高及無損傷性等方面的優點。采用水壓查漏，現場實際操作復雜，對水質、水溫、升壓方式、升壓設備等方面都有一定要求。而且在輕微泄漏時，漏點不容易被發現。在某些情況下，大面積拆除保溫，從工期和費用等方面均值得考慮。通過檢漏儀跟蹤氦氣濃度梯度變化，能夠快速準確查找到被保溫覆蓋的焊縫微裂紋。檢漏儀檢漏時切勿將大量的氦氣通進儀器，避免本底太大，難以清理。金華自動檢漏設備

氦質譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統等先進方向發展。真空檢漏儀注意事項

檢漏儀是根據被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。對產品檢漏前首先要對工件的結構和制造工業有所了解，了解有哪些漏源，才能快，準，狠的完成檢漏。由于容器壁的缺陷或由于器壁太薄而引起的泄漏，屬于另一種類型。例如，塑料瓶某一特殊部位漏氣，顯微鏡觀察顯示很多細小的龜裂而不是幾個小孔。同樣金屬罐頭的頂部，密封拉環處，印制標志太深，余下的金屬太薄不足以防止氣體通過許多微裂紋擴散，進入罐頭內。這些只能通過高精密的檢漏儀檢漏出來。與一般概念的泄漏不能區別的另一種類型“虛漏”。它不是真正的空洞泄漏，而是由于另部件或系統內部氣體的釋放。不適當焊接結構，螺紋連接或壓配密封連接等，導致死空間而引起的虛漏。這種虛漏常給真空系統造成問題，所以了解漏孔是選擇檢漏儀的必要條件。真空檢漏儀注意事項

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