氦檢儀靈敏度高、操作便捷、低維護，使您放心得到準確可靠的測試結果。產品普遍應用于科研院所、航空航天、動力鋰電池，閥門、精密儀表、機械加工、電力、半導體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。氦檢儀關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。氦檢儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有氦檢儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣。模塊式氦檢設備報價

氦檢儀進展的集中體現在如下幾個方面：（1）便攜式：較近各國推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的氦檢儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。（5）檢漏范圍寬：現今生產的四極氦檢儀，質量范圍很寬，不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。全自動氦檢儀供應廠家氦檢儀具有性能穩定、靈敏度高的特點。

氦檢儀靈敏度降低應該如何維護？當發現氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。這個時候，就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導致磁鐵退磁，使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確，經過清洗維護后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。

影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些？氦檢儀檢漏時，產生測量誤差的主要來源主要包括8個方面：第1，氦檢儀在校準靈敏度時，標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標準漏孔與被檢漏孔至氦檢儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導致經二者進入氦檢儀的氦氣量可比性差。第二，進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數值而導致無法換算，這時也會產生漏率測量誤差。第三，所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。第四，氦檢儀輸出指示與漏率的線性關系差。第五，校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時，所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六，氦檢儀的性能不穩定。第七，氦氣純度不穩定或存在誤差。第八，之后也就是檢漏操作人員的因素，包括素質、責任心、技術水平以及工作經驗等。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度高，用得普遍的氦檢儀器。氦質譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護？

氦檢儀應用于調節閥氣路管道檢漏：調節閥又名控制閥，在現代化工廠的自動控制中，調節閥起著十分重要的作用，如果調節閥有漏，將會嚴重影響設備運行，進而降低整體的生產效率。氦檢儀成功應用于調節閥中的氣路管道檢漏,經過檢漏后的調節閥普遍應用于電廠、生物制藥、化工等行業。調節閥檢漏，閥門氣密性測試方案是向閥門內充入設定壓力的氦氣，如在被檢測處如閥桿等，用氦檢儀正壓法檢測，正壓法檢測的精度可充分滿足氣密性檢測要求。氦檢儀用于調節閥的氣路管道進行檢漏,檢漏標準是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同時需要提供快速,清潔的檢漏環境.采用氦檢儀正壓法模式,即在密封的氣體管路中充入一定量的氦氣,然后進行檢漏.氦檢儀同時擁有兩種檢漏模式真空模式及正壓模式，可根據客戶不同需求，選擇不同的檢漏方法。氦檢儀內部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內部的高真空。多功能氦檢機一臺多少錢

氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。模塊式氦檢設備報價

氦檢儀在無源器件中的檢漏應用：無源器件檢漏原因：光無源器件是光纖通信設備的重要組成部分，也是其它光纖應用領域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點。光無源器件對密封性的要求極高，如果存在泄漏會影響其使用性能和精度，光通信行業的漏率標準是小于5×10-8mbar.l/s，因此需要進行泄漏檢測。氦質譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位，定量漏點，替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏，目前已普遍應用于光無源器件的檢漏。光無源器件檢漏方法：由于無源器件體積小，且無法抽真空或直接充入氦氣，我們采用“背壓法”檢漏，具體做法如下。1.將被檢無源器件放入真空保壓罐，壓力和時間根據漏率大小設定。2.取出無源器件，使用空氣或氮氣吹掃表面氦氣。3.將無源器件放入真空測試罐，測試罐連接氦檢儀。4.啟動氦檢儀，開始檢漏。模塊式氦檢設備報價

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