檢漏儀的應用特點：(1)便攜式：各國推出的小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。(2)高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。(3)自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。(4)全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。(5)檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不但解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。檢漏儀其本身擁有著強力的檢測靈敏度可以精確的定位。杭州臺式檢漏設備

檢漏儀中使用防返油閥的目的：主要是防止機械泵中的油，在檢漏儀停止工作時，從機械泵內返到檢漏儀的閥座內，導致檢漏儀無法正常使用。防返油通常是裝配在機械泵的進氣口，另一端與分子泵的排氣口連接。在通電后，防返油閥內部打開，使分子泵排氣口和機械泵進氣口導通。氣流沿分子泵進入機械泵。在斷電后，防返油閥內部關閉，外界的空氣沿閥內部的通道進入閥的出氣口，使機械泵進氣口達到大氣壓狀態。從而防止機械泵油從進氣口返出。優點：防返油閥，能夠很好的避免因機械泵故障，導致返油到檢漏儀閥座和分子泵的概率。能夠更好的保護檢漏儀。浙江國產檢漏儀生產廠家氦質譜檢漏儀的泄漏測試后如果泄漏檢測氣體排放到泄漏檢測區域，背景濃度將在整個工作日持續增加。

檢漏儀五大優勢：1、智能化：以往的檢漏儀操作非常輔助，而現在都是觸屏式，自動檢測。2、便捷化：小型便捷的檢漏儀能夠為企業工件設備提供小巧方便的檢測。3、自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節0點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成全檢漏過程。4、全無油的干式檢漏：檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，這為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏提供了有利條件。5、檢漏范圍寬：檢漏儀檢測范圍很寬，不但可檢測氦氣，還能檢測其它氣體。

檢漏儀漏率校準方法：漏率校準，①校準系統的組成校準系統由標準漏孔、截止閥及需校準的氫質譜檢漏儀組成。②示值誤差通電預熱,待復檢漏儀啟動完成后,采用標準漏孔對復質譜檢漏儀進行校準,將一經過校準的標準漏孔接入檢漏儀系統，運行檢漏儀，待漏率示值穩定后，可以讀出標準漏孔漏率的檢漏儀示值，同一標準漏孔測量三次，計算檢漏儀示值平均值，從而得到標準漏孔漏率與檢漏儀示值平均值的示值誤差。結束后，將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入檢漏儀系統進行測試，得到檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。如果測試結果有較大偏差，可以考慮檢漏儀的自校功能，待完成后，再用標準漏孔進行測試。檢漏儀中使用防返油閥主要是防止機械泵中的油。

檢漏儀怎么給熱管散熱器檢漏？ 1.啟動檢漏儀，裝上夾具；2.將熱管插入夾具，并用真空封泥封堵；3.按下檢漏儀的開始按鍵，開始抽真空；4.在產品周圍噴氦氣，以 E-8 mbarl/s 為合格線。檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得較普遍的檢漏儀器。檢漏儀是磁偏轉型的質譜分析計。普遍地用于各種真空系統及零部件的檢漏。雙級串聯磁偏轉型儀器與單級磁偏轉型儀器相比較，本底噪聲明顯減小．其靈敏度可達10-14～10-15Pam3／s，適用于超高真空系統、零部件及元器件的檢漏。檢漏儀在火電廠中先在質譜室中將采集的被測氣體電離，再利用電磁場將不同荷質比的離子加以分離檢測。江蘇真空衰減法檢漏儀使用方法

避免電離室泄入有害氣體可以有效延長檢漏儀的燈絲壽命。杭州臺式檢漏設備

檢漏儀分子泵故障及處理：1、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒有工作，有可能是前級壓力過高(該分子泵的啟動壓力為200Pa)導致分子泵無法啟動。檢查導致壓力過高的項目有：真空規管是否有問題，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟或機械泵是否轉動，系統是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉子被損害，可自行用工具撥動葉片，判斷其能否轉動。2、分子泵加速指示燈不亮，電路板上的保險絲燒斷，更換保險絲或檢查是否有短路現象。3、分子泵故障燈亮，檢查電路板設置開關是否處于R位置，此時應該在N位置。檢查風扇是否停止，如風扇正常，則可能為檢漏儀分子泵電源故障。杭州臺式檢漏設備

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