檢漏儀的應(yīng)用已從科學(xué)院、大專院校、實(shí)驗(yàn)室及少數(shù)科研機(jī)構(gòu)走向工礦企業(yè)，甚至鄉(xiāng)鎮(zhèn)企業(yè)、個體企業(yè)，可以說應(yīng)用領(lǐng)域極其寬廣。航空航天高科技工業(yè)的應(yīng)用，例如火箭發(fā)動機(jī)及姿態(tài)發(fā)動機(jī)，過去是打壓刷肥皂水檢漏，現(xiàn)在重新改進(jìn)工藝用檢漏儀檢漏，與氦罩法結(jié)合，使檢漏靈敏度大幅提高，從而保證了發(fā)動機(jī)質(zhì)量。火箭箭體的檢漏采用氦罩法、累集法等幾種方法的結(jié)合。由于檢漏技術(shù)的應(yīng)用，提高了檢漏靈敏度，彌補(bǔ)了吸入法檢漏時(shí)儀器靈敏度低的不足。電力行業(yè)中，電廠的檢漏、高壓變壓器、高壓電容器、高壓開關(guān)管及其它元器件也都相應(yīng)的采用氦質(zhì)譜檢譜檢漏儀，用不同方法進(jìn)行檢漏。電子行業(yè)的應(yīng)用微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、起博器。根據(jù)檢漏儀數(shù)據(jù)的把控能力，能夠確保產(chǎn)品的質(zhì)量能夠得到更好的監(jiān)督。池州真空氦氣檢漏設(shè)備

檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)：檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。離子檢測器的作用是手機(jī)質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運(yùn)算，得出泄漏率，真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管，不會對系統(tǒng)有污染，因此被普遍采用，已成為市場的主流產(chǎn)品。紹興檢漏機(jī)使用中盡量將預(yù)置真空開關(guān)空擋可以有效延長檢漏儀的燈絲壽命。

檢漏儀啟動流程：1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”，燈亮，擴(kuò)散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱，開冷規(guī)開關(guān)，“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時(shí)間開冷規(guī)，可等一會兒再開)，當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。5、將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對工件噴氦檢漏。檢漏完，關(guān)節(jié)流閥。

檢漏儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏：調(diào)節(jié)閥檢漏，閥門氣密性測試方案是向閥門內(nèi)充入設(shè)定壓力的氦氣，如在被檢測處如閥桿等，用檢漏儀正壓法（吸口法）檢測，吸口法檢測的精度可充分滿足氣密性檢測要求。檢漏儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進(jìn)行檢漏, 檢漏標(biāo)準(zhǔn)是漏率小于100ppm或者10-4 至 10-6Pa.m3/s. 同時(shí)需要提供快速, 清潔的檢漏環(huán)境. 采用檢漏儀吸口模式, 即在密封的氣體管路中充入一定量的氦氣, 然后進(jìn)行檢漏。檢漏儀同時(shí)擁有兩種檢漏模式真空模式及正壓模式，可根據(jù)客戶不同需求，選擇不同的檢漏方法。閥門多采用檢漏儀的負(fù)壓模式既真空模式檢漏，其較小可檢查漏率為5X10-12mbar l/s。檢漏儀檢測范圍很寬，不但可檢測氦氣，還能檢測其它氣體。

檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設(shè)備電子線路和電子元件的改進(jìn)，使得電路噪聲已經(jīng)降得很低，因此檢漏儀的本底噪聲成為影響設(shè)備性能的主要因素。而其本底噪聲的產(chǎn)生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的，主要形成的原因包括：一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機(jī)絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規(guī)，特別是磁放電真空規(guī)對氦有記憶效應(yīng)，其表面污染時(shí)就更為嚴(yán)重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴(kuò)散。四、檢漏儀中空氣的本底影響。五、殘余氣體分子對離子的散射作用。六、燈絲和其他電極受機(jī)械振動引起的效應(yīng)。檢漏儀中使用防返油閥主要是防止機(jī)械泵中的油。紹興檢漏機(jī)

檢漏儀能實(shí)現(xiàn)復(fù)雜結(jié)構(gòu)之下的漏孔定位測量。池州真空氦氣檢漏設(shè)備

檢漏儀的整體結(jié)構(gòu)有哪些？電氣系統(tǒng)，氦質(zhì)譜儀電氣部分的重點(diǎn)是質(zhì)譜室的供電和測量，其他部分包括真空系統(tǒng)的電源與控制部分，操縱面板及輸出儀表等。主要含有小電流放大器及輸出裝置、低頻發(fā)生器、高壓整流器及發(fā)射電流穩(wěn)定裝置、高壓整流器供給冷陰極磁控規(guī)電源。輔助真空系統(tǒng)的配置，在氦質(zhì)譜儀檢漏技術(shù)中，根據(jù)被檢件的結(jié)構(gòu)，尺寸要求和具體的檢漏條件，設(shè)置具有預(yù)抽被檢件、保證檢漏儀工作真空度、進(jìn)行的氣體分流、縮短反應(yīng)時(shí)間和清理時(shí)間、降低對靈敏度的不良影響等功能的輔助真空系統(tǒng)，在某些條件下是非常必要的。池州真空氦氣檢漏設(shè)備

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