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半導體快速退火爐有哪些分類

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東莞市晟鼎精密儀器有限公司2024-11-13

桌面型快速退火爐RTP-Table-6為桌面式6英寸晶圓快速退火爐,使用上下兩層紅外鹵素燈管作為熱源加熱內部石英腔體保溫隔熱,腔體外殼為水冷鋁合金,使得制品加熱均勻,且表面溫度低。采用PID控制,系統能快速調節紅外鹵素燈管的輸出功率,控溫更加精細。主要應用于:①離子注入退火 ;②ITO 鍍膜后快速退火; ③氧化物、氮化物生長;④硅化物合金退火;⑤砷化鎵工藝;⑥歐姆接觸快速合金;⑦氧化回流;⑧其他半導體快速熱處理工藝。

東莞市晟鼎精密儀器有限公司
東莞市晟鼎精密儀器有限公司
簡介:晟鼎精密主營產品RTP快速退火爐、等離子清洗機、等離子去膠機、接觸角測量等表面性能處理及檢測設備。
簡介: 晟鼎精密主營產品RTP快速退火爐、等離子清洗機、等離子去膠機、接觸角測量等表面性能處理及檢測設備。
退火爐+等離子
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其余 2 條回答

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    東莞市晟鼎精密儀器有限公司 2024-11-16

    單腔半自動快速退火爐RTP-SA-12 是在保護氣下的半自動立式快速退火系統,以紅外可見光加熱單片 Wafer 或樣品,工藝時間短,控溫精度高,適用 4-12 英寸片。相對于傳統擴散爐退火系統和其他 RTP 系統,其獨特的腔體設計、先進的溫度控制技術和獨有的 RL900 軟件控制系統,確保了極好的熱均勻性。主要應用于:①離子注入退火 ;②ITO 鍍膜后快速退火; ③氧化物、氮化物生長;④硅化物合金退火;⑤砷化鎵工藝;⑥歐姆接觸快速合金;⑦氧化回流;⑧其他半導體快速熱處理工藝。

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    東莞市晟鼎精密儀器有限公司 2024-11-17

    雙腔全自動快速退火爐RTP-DTS-12 是在保護氣下的雙腔全自動快速退火系統,以紅外可見光加熱單片 Wafer 或樣品,工藝時間短,控溫精度高,適用 4-12 英寸片。相對于傳統擴散爐退火系統和其他 RTP 系統,其獨特的腔體設計、先進的溫度控制技術和獨有的 RL900 軟件控制系統,確保了極好的熱均勻性。同時雙腔的結構設計和增加晶圓機器手,提高了工作效率。主要應用于:①離子注入退火 ;②ITO 鍍膜后快速退火; ③氧化物、氮化物生長;④硅化物合金退火;⑤砷化鎵工藝;⑥歐姆接觸快速合金;⑦氧化回流;⑧其他半導體快速熱處理工藝。

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