【真空鍍膜機真空系統(tǒng)檢漏法之真空計檢漏法】 常用的真空計檢漏法主要是熱傳導真空計法與電離真空計法。以熱傳導真空計法為例,它是利用低壓下不同氣體種類的熱傳導能力差異與壓力的關系來分析真空系統(tǒng)泄漏情況。使用時,要保證被檢系統(tǒng)處于一個壓力不變的動態(tài)平衡狀態(tài),將示漏氣體噴吹于可疑處(也可能用有機溶劑涂抹,但易吸附、堵塞漏孔,并造成污染)。一旦有漏孔存在,示漏氣體會通過漏孔進入被檢系統(tǒng),因為示漏氣體的熱傳導能力與原系統(tǒng)的氣體成分差異da,會引起明顯的熱傳導性質(zhì)變化,熱傳導真空計的儀表讀數(shù)在原有的平衡基礎上就會發(fā)生波動變化,根據(jù)這些確定漏孔位置并根據(jù)讀數(shù)變化換算漏率da小。相應地,電離真空計法利用的即是示漏氣體進入后導致的離子流變化來進行換算。 真空系統(tǒng)檢漏中應用真空計檢漏法要考慮示漏氣體種類與真空計的特性的配合,選擇示漏氣體對應的特性差異要明顯有別于原有氣體成分,如熱傳導真空計的熱傳導能力、電離真空計的電離電位。其次為便于準確地觀察前后數(shù)據(jù)變化,要保證被檢前被檢系統(tǒng)壓力處于穩(wěn)定的平衡狀態(tài),測量的真空計規(guī)管也要處于穩(wěn)定的狀態(tài),防止虛假數(shù)據(jù)誤導。同時真空計規(guī)管存在惰性,需要觀察足夠的時間。 真空鍍膜機該如何維修。上海磁控真空鍍膜機
【真空鍍膜之磁控濺射鍍膜】 磁控濺射對陰極濺射中電子使基片溫度上升過快的缺點加以改良,形成了電場和磁場方向相互垂直的特點。在正交的電磁場的作用下,電子以擺線的方式沿著靶表面前進,從而xianzhu地延長了電子的運動路程,增加了同工作氣體分子的碰撞幾率,提高了電子的電離效率。由于電子每經(jīng)過一次碰撞損失一部分動能,經(jīng)過多次碰撞后,喪失了能量成為“*終電子”進入離陰極靶面較遠的弱電場區(qū),*后到達陽極時已經(jīng)是能量消耗殆盡的低能電子,也就不再會使基片過熱。同時高密度等離子體被束縛在靶面附近,又不與基片接觸,這樣電離產(chǎn)生的正離子能十分有效地轟擊靶面,而基片又可免受等離子體的轟擊,因而基片溫度又可降低。在濺射儀起輝以后,并不把樣品轉入陽極的生長位置,也不通循環(huán)水,使樣品隨放電的熱能而逐漸升高至一定溫度后,才開始生長,以減小應力,獲得牢固度較高的薄膜。另外在樣品盤中還安裝了溫控儀(精度小于1℃)以監(jiān)控薄膜生長過程中的樣品溫度。 上海二手卷繞式真空鍍膜機真空鍍膜機常見故障及解決方法。
【真空鍍膜機操作工藝流程】首先開水、電、氣→總電源→開維持泵→開擴散泵加熱→開粗抽泵→開預抽閥→關預抽閥→開粗抽閥→開羅茨泵→如有離子轟擊,開轟擊30秒,關轟擊→開真空計→當真空到6.0~7.0pa時,關粗抽閥→開前置閥→開精抽閥,當真空達到7x10-3pa,開轉架→開始鍍膜操作→鍍膜完畢后,關閉真空計、離子源→關精抽閥,前置閥→關羅茨泵→開抽氣閥,取件→上料,反復開始操作。 特別注意: 1.設備停用時,鍍膜室要保持真空狀態(tài),減少內(nèi)表面氣體的吸附,防止氧化。 2.冷卻水通道場下才能對擴散泵進行加熱,未經(jīng)充分冷卻的泵不得與da氣接觸,防止氧化。 3.要保證機器內(nèi)擴散泵和機械泵的油定期檢查和更換。 4.設備運行中遇有停電或其它事故發(fā)生,須先停擴散泵,關精抽閥,前置閥和真空計。 5.產(chǎn)品做完下班后,關了擴散泵后須待溫度降低至60℃后才能關維持泵。
【真空鍍膜機真空檢漏方法之靜態(tài)升壓法】 靜態(tài)升壓法屬于真空檢漏法中的一種,也是*簡單易行的真空系統(tǒng)檢漏方法,因為它不需要用額外特殊的儀器或者特殊物質(zhì),通過測量規(guī)管就可以檢測真空系統(tǒng)的總漏率,從而確定真空系統(tǒng)或部件是否滿足工作要求。雖然勝在簡單,但也存在局限。如果真空系統(tǒng)或容器存在漏孔的話,靜態(tài)升壓法是無法確定漏孔所在的。因此在確定系統(tǒng)是否有漏孔的同時還需要確定其位置的話,就需要配合其他方法來進行了。 靜態(tài)升壓法的操作只要將被檢容器抽空至相應的壓力范圍,再關閉閥門,隔離真空泵與真空容器,然后用真空計測量記錄真空容器中壓力隨時間的變化過程,即可得出泄漏數(shù)據(jù)。《真空系統(tǒng)抽氣達不到工作壓力有哪些原因》中,螺桿真空泵廠家介紹的判斷方法即是通過靜態(tài)升壓法實現(xiàn)的,比較方便。當然在應用過程中,要提高準確性就要減少其他因素干擾,需要在檢測之前對容器進行凈化清洗并烘干,或者用氮氣進行沖洗。更嚴格一點可以在測量規(guī)管與容器之間設置冷阱,處理釋放的可凝氣體,而對可能存在的漏孔所漏進的空氣不會造成影響。 關于真空鍍膜機,你知道多少?
【真空鍍膜機之鍍鋅工藝】在鋼鐵合金材料的表面鍍一層鋅以起美觀、防銹等作用的表面處理技術,表面的鋅層是一種電化學保護層,可以防止金屬腐壞,主要采用的方法是熱鍍鋅和電鍍鋅。 適用材料: 由于鍍鋅工藝依賴于冶金結合技術,所以只適合鋼和鐵的表面處理。 工藝成本:無模具費用,周期短/人力成本中等,因為工件的表面質(zhì)量很da程度上取決于鍍鋅前的人工表面處理。 環(huán)境影響:由于鍍鋅工藝增長了鋼鐵件40-100年的使用壽命,很好的防止了工件的生銹和腐壞,所以對保護壞境有積極的作用。另外,鍍過鋅的工件在使用壽命到期后,可以重新送返鍍鋅槽,對液態(tài)鋅的反復利用不會產(chǎn)生化學或物理廢料。 真空鍍膜機故障解決方法?云南熱蒸發(fā)真空鍍膜機
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【真空鍍膜機之輔助抽氣系統(tǒng)】真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。輔助抽氣系統(tǒng):排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三da部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián),以這樣的方式完成抽氣動作。上海磁控真空鍍膜機
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