【真空鍍膜之磁控濺射鍍膜】磁控濺射對陰極濺射中電子使基片溫度上升過快的缺點加以改良,形成了電場和磁場方向相互垂直的特點。在正交的電磁場的作用下,電子以擺線的方式沿著靶表面前進,從而xianzhu地延長了電子的運動路程,增加了同工作氣體分子的碰撞幾率,提高了電子的電離效率。由于電子每經過一次碰撞損失一部分動能,經過多次碰撞后,喪失了能量成為“終電子”進入離陰極靶面較遠的弱電場區,后到達陽極時已經是能量消耗殆盡的低能電子,也就不再會使基片過熱。同時高密度等離子體被束縛在靶面附近,又不與基片接觸,這樣電離產生的正離子能十分有效地轟擊靶面,而基片又可免受等離子體的轟擊,因而基片溫度又可降低。在濺射儀起輝以后,并不把樣品轉入陽極的生長位置,也不通循環水,使樣品隨放電的熱能而逐漸升高至一定溫度后,才開始生長,以減小應力,獲得牢固度較高的薄膜。另外在樣品盤中還安裝了溫控儀(精度小于1℃)以監控薄膜生長過程中的樣品溫度。離子真空鍍膜機是什么?福建紅外鍍膜空心陰極霍爾離子源源頭實力廠家
【真空鍍膜的分類】真空鍍膜的鍍層結構一般為:基材、底漆、真空膜層、面漆,因靶材理化特性直接決定膜層的特性,根據膜層的導電與否,可分為導電真空鍍膜(VM)和不導電真空鍍膜(NCVM)兩種。VM:一般用在化妝品類、NB類、3C類、汽配類按鍵、裝飾框、按鍵RING類飾品的表面處理,其表面效果與水電鍍相媲美,靶材一般為鋁、銅、錫、金、銀等。NCVM:具有金屬質感、透明,但不導電,一般用在通訊類、3C類對抗擾要較高的機殼、裝飾框、按鍵件、RING類飾品的表面處理,其表面效果為水電鍍不可取代,靶材一般為銦、銦錫。三、擴散泵連續使用6個月以上,抽的速度會顯然變慢,當操作不當應拆去聯結水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈,待水份揮發干以后,裝好泵膽,加入新擴散泵油,并裝回機體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機。山東真空鍍膜空心陰極霍爾離子源廠家真空鍍膜機哪個牌子的好?
【真空鍍膜設備維修保養技術】一、當鍍膜設備工作完成到兩百個鍍膜的時候,拆出密封圈,及時清潔設備環境(室內環境)。如何清潔保養?首先我們要使鍍上去的膜層掉落,同時釋放氫氣,清洗過程中要注意所使用到的溶液會灼傷人體的皮膚,所以通常我們要小心謹慎用堿飽和溶液不斷來回清洗真空適合內部(內壁),再用清水洗刷真空室,并通過抹布沾上汽油擦拭抽閥里面的污漬。二、當閥泵連續工作一個月之后,為保持設備的正常運轉我們需要更換油。將泵啟動,擰開放油螺栓,使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,觀察油視鏡倒入新油加到一定額度,平常換油時應將油蓋打開,有需要時用布擦干凈箱內污垢。三、擴散泵連續使用6個月以上,抽的速度會顯然變慢,當操作不當應拆去聯結水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈,待水份揮發干以后,裝好泵膽,加入新擴散泵油,并裝回機體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機。在重新開機前,要注意檢漏工作。首先啟動維持泵,關好da門,數分鐘后,觀察擴散泵部分真空度是否達到標準,否則要進行檢漏。檢查聯接處的密封圈是否正常。
【真空鍍膜機清洗工藝之真空加熱清洗】將工件放置于常壓或真空中加熱.促使其表面上的揮發雜質蒸發來達到清洗的目的,這種方法的清洗效果與工件的環境壓力、在真空中保留時間的長短、加熱溫度、污染物的類型及工件材料有關。其原理是加熱工件.促使其表面吸附的水分子和各種碳氫化合物分子的解吸作用增強。解吸增強的程度與溫度有關。在超高真空下,為了得到原子級清潔表面,加熱溫度必高于450度才行.加熱清洗方法特別有效。但有時,這種處理方法也會產生副作用。由于加熱的結果,可能發生某些碳氫化合物聚合成較da的團粒,并同時分解成碳渣。光學真空鍍膜機制造商。
【真空鍍膜設備設計原則及常用技術指標】真空設備設計原則:(1)先功能,后結構。先給出指標參數、生產要求、功能;(2)先核xin后輔助。由內向外。先決定靶尺寸、靶基距;(3)先局部,后整體。再由整體,定局部。(4)先設計,后校核。由粗到細。鍍膜機常用技術指標:鍍膜方法:CVD,PVD(蒸發、濺射、離子鍍、復合鍍);被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產方式:連續、半連續、周期式。生產周期。生產量。生產速率。技術參數;設備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時間、恢復真空時間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機)膜厚不均勻程度;功率;高電壓。真空鍍膜機參數怎么調?四川光學鍍膜空心陰極霍爾離子源制造生產
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【真空鍍膜機之輔助抽氣系統】真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。輔助抽氣系統:排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三da部分組成。此排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。福建紅外鍍膜空心陰極霍爾離子源源頭實力廠家
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