本發明涉及離子束濺射鍍膜及超精密拋光技術領域，尤其涉及一種射頻離子源離子束束徑約束器、束徑控制裝置及方法。背景技術：離子束超精密加工研究中，離子源起著非常重要的作用。離子源是產生離子束流的裝置，又是離子束設備中的關鍵部件。不論是光學薄膜的制備還是納米尺度的離子束刻蝕和拋光，高性能的離子束流都是不可缺少的。目前采用的離子束源主要有考夫曼離子源、微波ecr離子源和射頻離子源，其工作原理是利用氣體放電產生等離子體，等離子體由電子、離子和中性粒子所組成，并被引出成束，成為離子源。射頻離子源由德國giessen大學，，從電火箭空間應用向地面應用擴展而來。這種離子源具有結構簡單、無極放電的優點，因而對任何氣體特別是反應氣體具有長壽命、效率高的特點。采用射頻離子源鍍制的膜層具有吸收少、漂移小、效率高、致密性好、牢固性高等優點；同時，射頻離子源離子束拋光在超精密光學元件的**終加工中應用也非常***，是一種去除精度達到原子級別的拋光技術，被認為是加工精度**高，修形效果**好的光學元件修形技術，在此過程中，具有一定能量和空間分布的離子束流轟擊光學元件表面，利用轟擊時發生的物理濺射效應去除光學元件表面材料。光學真空鍍膜機制造商。陜西大直徑射頻離子源批發價格

【真空鍍膜的膜層結構分布】基材：ABS、PC、ABS+PC、PP、PPMA、POM等樹脂類均可成型真空電鍍,要求底材為純原料,電鍍級別更佳,不可加再生材;底漆：UV底漆,對基材表面做預處理,為膜層的附著提供活性界面,底漆厚度一般在5-10um,特殊情況可酌情加厚;膜層：靶材蒸發的結果，VM膜層可導電，NCVM鍍層不導電，且抗干擾性效果很好,膜層厚度0.3um以下。面漆：面漆利用三基色原理可與色漿搭配出各類顏色,同時對真空膜層起保護作用,再加上UV、PU的表面裝飾,效果更漂亮,厚度一般在8-10um,特殊情況可酌情加厚。四川射頻離子源批發價格真空鍍膜機的工作原理。

【真空鍍膜之離子束濺射鍍膜】離子束濺射沉積法在離子源內由惰性氣體(通常為氬)產生具有較高能量的離子轟擊靶材料，把靶材料沉積到基片上的方法。離子束濺射沉積法的一da優點是基片相對于離子源和靶是du立的，它的溫度可以單獨控制?；ǔ＝拥匚?，它和靶與高頻電路無關，不會象陰極濺射鍍膜那樣受到高能電子的轟擊，因而溫度較低。所以只要配置一臺較好的恒溫循環器(如HX1050型，控溫范圍為-10℃~50℃，精度≤0。5℃)，實現對樣品臺的單獨控溫，就可以根據不同樣品的要求以及薄膜生長不同階段的溫度需要進行適當調節。根據現有離子束濺射設備的構造，設計、加工了專門的金屬樣品架，放上樣品后蓋上金屬壓片，用螺絲緊密地固定在鍍膜腔體的樣品臺上，可使樣品和控溫的樣品臺有良好的熱接觸。并在樣品架中放置了一個測溫鉑電阻，用螺絲把金屬壓片連同其下的鉑電阻一起固定壓緊，再用導線引出與高精度的萬用表相連，以監測薄膜生長過程中的樣品溫度。

【真空鍍膜機之真空電鍍】真空電鍍是一種物理沉積現象。即在真空狀態下注入氬氣，氬氣撞擊靶材，靶材分離成分子被導電的貨品吸附形成一層均勻光滑的仿金屬表面層。適用材料：1、很多材料可以進行真空電鍍，包括金屬，軟硬塑料，復合材料，陶瓷和玻璃。其中*常見用于電鍍表面處理的是鋁材，其次是銀和銅。2、自然材料不適合進行真空電鍍處理，因為自然材料本身的水分會影響真空環境。工藝成本：真空電鍍過程中，工件需要噴涂，裝載，卸載和再噴涂，所以人力成本相當高，但是也取決于工件的復雜度和數量。環境影響：真空電鍍對環境污染很小，類似于噴涂對環境的影響。真空鍍膜機的工作原理和構成。

【真空鍍膜的分類】真空鍍膜的鍍層結構一般為：基材、底漆、真空膜層、面漆，因靶材理化特性直接決定膜層的特性，根據膜層的導電與否，可分為導電真空鍍膜（VM）和不導電真空鍍膜（NCVM）兩種。VM：一般用在化妝品類、NB類、3C類、汽配類按鍵、裝飾框、按鍵RING類飾品的表面處理，其表面效果與水電鍍相媲美，靶材一般為鋁、銅、錫、金、銀等。NCVM：具有金屬質感、透明，但不導電，一般用在通訊類、3C類對抗擾要較高的機殼、裝飾框、按鍵件、RING類飾品的表面處理，其表面效果為水電鍍不可取代，靶材一般為銦、銦錫。三、擴散泵連續使用6個月以上，抽的速度會顯然變慢，當操作不當應拆去聯結水管，卸下電爐盤，將一級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然后用清水徹底清洗干凈，待水份揮發干以后，裝好泵膽，加入新擴散泵油，并裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機。在重新開機前，要注意檢漏工作。真空鍍膜機常見故障及解決方法。廣西射頻離子源

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【真空鍍膜機之卷繞式鍍膜機】鍍膜產品廣fan用于裝飾、包裝、電容器等領域中，可鍍光學、電學、電磁、導電等多種薄膜。所用基材有PE、PET、PI、PP、OPP、BOPP、紙、泡沫塑料及布等。一般塑料基薄膜材料含水量為1%～2%，紙含水量更da，一般為5%-7%，經涂布烘干后，含水量仍有3%。由于基材含水量高，故鍍膜室由初始的單室發展到目前雙室或多室結構。蒸發源可以是電阻式、感應式、電子柬式以及磁控濺射式。雙室結構應用普遍，其優點是：①可以蒸鍍放氣量較da的紙基材，并能保障鍍膜質量。紙放出的da量氣體從卷繞室中被排走。由于卷繞室與蒸鍍室之間隔板窄縫很小，使放出來的氣體不易進入蒸鍍室中；②單室結構必須配置較da的排氣系統才能保障蒸鍍時的工作壓力，而雙室結構中的蒸鍍室氣體量較小，可配小型抽氣機組，使設備成本降低，并節約能源；③卷繞室與蒸鍍室分別抽氣，可縮短抽氣時間。卷繞式真空鍍膜機在結構上除了有一般鍍膜機所有的結構外，必須有一個為了實現連續鍍膜而設置的卷繞機構。由于被鍍基體是紙或塑料，放氣量較da，因此，在真空室的結構上又有單室和多室之分。陜西大直徑射頻離子源批發價格