【真空鍍膜設備設計原則及常用技術指標】真空設備設計原則：(1)先功能，后結構。先給出指標參數、生產要求、功能；(2)先核xin后輔助。由內向外。先決定靶尺寸、靶基距；(3)先局部，后整體。再由整體，定局部。(4)先設計，后校核。由粗到細。鍍膜機常用技術指標：鍍膜方法：CVD，PVD（蒸發、濺射、離子鍍、復合鍍）；被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產方式:連續、半連續、周期式。生產周期。生產量。生產速率。技術參數;設備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時間、恢復真空時間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機)膜厚不均勻程度;功率;高電壓。電子束蒸發真空鍍膜機是什么？上海離子束輔助沉積射頻離子源價格

【真空鍍膜機之卷繞機構設計中應考慮的問題】①提高卷繞速度的問題。卷繞速度即是帶狀基材運動的線速度，它是卷繞機構的一個主要技術指櫟。國內早期鍍膜機卷繞速度只有10m/min，現在也只有80m/min～120m/min，在國外日本的EW系列產品中，其卷繞速度已達到300m/min，德國L．H公司生產的鍍膜機已達到600m/min，可見隨著鍍膜技術的發展，卷繞速度有待提高。②帶狀基材的線速恒定問題。這一問題也很重要，因為只有卷繞機構保證帶狀基材的線速恒定，才能使基材上鍍層厚度均勻。這一點對制備帶狀基材的功能性膜（如電容器膜）尤為重要。③帶狀基材的跑偏和起褶問題。隨著卷繞速度的提高，帶狀基材在卷繞鍍膜過程中，起褶和發生偏斜，嚴重時會造成基材的斷裂，使生產中斷，既影響生產效率，又浪費材料。因此，在卷繞機構的設計中應充分考慮這一問題。上海光學鍍膜射頻離子源制造生產廠家真空鍍膜機抽真空步驟。

    本申請還涉及一種射頻離子源離子束束徑控制方法，也即采用上述束徑控制裝置進行離子束束徑控制的方法，包括以下步驟：s1，對真空腔體5進行抽真空；s2，打開離子束發生器7，調整電壓電流參數；s3，在控制器6的輸入界面中輸入離子束束徑值；s4，點擊控制器6的執行按鈕，控制器6向驅動器8發出指令，驅動器8控制驅動機構動作；s5，驅動組件驅動滑環41轉動并帶動導柱24在導槽42中滑動，葉片2繞固定軸23轉動使光闌3大小與輸入的離子束束徑值一致。下面給出一種采用該方法進行拋光的具體步驟：1、打開離子束拋光系統電源、水冷裝置、工作氬氣等；2、放置光學元件，采用合適夾具將光學元件固定；3、對真空腔體進行抽真空，保證實驗的真空狀態，且真空腔體壓強需達到×10-3pa以上；4、打開離子源也即離子束發生器，調整好離子源的電壓電流等參數；5、根據被拋光元件尺寸及檢測后的面形參數情況選擇離子束束徑，將離子束束徑參數輸入控制器的計算機控制界面；6、點擊控制器的執行按鈕，控制器向驅動器發出指令，驅動器控制驅動機構動作；7，伺服電機驅動滑環轉動并帶動導柱在導槽中滑動，葉片繞固定軸轉動使光闌大小與輸入的離子束束徑值一致；8、控制離子束垂直入射法拉第杯。

射頻中和器采用L型接法匹配：匹配速度快，效率高，點火更優。源頭和中和器結構經常拆解部分的內六角進行電鍍及消氣處理，防止拆卸過程卡死，備件及耗品重復利用率高。射頻電源及控制部分單獨裝配在一個電柜內，RF線纜做防輻射和泄漏處理，避免對通訊、控制信號的干擾，同時也做良好的散熱處理。直流電源電壓紋波做了二次濾波處理，高壓輸出的紋波小于50mV，離子源束流的穩定性和重復性較好，鍍膜的產品的折射率更穩定。射頻部分匹配采用了硬件反饋和軟件提前記憶并預判的技術；直流引入快速滅弧技術，同時提高了射頻和直流部分的穩定性，軟件設置了自檢和自診斷功能，即：使用前系統自檢，使用中即時刷新，對非調整性輸入的變化提前警報并告知客戶做好預案。真空鍍膜機的產業集群。

【真空鍍膜機之輔助抽氣系統】真空腔各部分有連接閥，用來連接各抽氣泵浦。輔助抽氣系統：排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三da部分組成。此排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯，以這樣的方式完成抽氣動作。真空鍍膜機機組是怎樣的？上海離子束輔助沉積射頻離子源價格

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【真空鍍膜之電解拋光】電拋光是一種電化學過程，其中浸沒在電解質中的工件的原子轉化成離子，并由于電流的通過而從表面移除，從而達到工件表面除去細微毛刺和光亮度增da的效果。適用材料：多數金屬都可以被電解拋光，其中常用于不銹鋼的表面拋光（尤其適用于奧氏體核級不銹鋼）。2.不同材料不可同時進行電解拋光，甚至不可以放在同一個電解溶劑里。工藝成本：電解拋光整個過程基本由自動化完成，所以人工費用很低。環境影響：電解拋光采用危害較小的化學物質，整個過程需要少量的水且操作簡單，另外可以延長不銹鋼的屬性，起到讓不銹鋼延緩腐蝕的作用。上海離子束輔助沉積射頻離子源價格