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四川真空鍍膜設備質量

來源: 發布時間:2022-01-19

【真空鍍膜真空蒸發鍍膜原理】: 真空蒸發法的原理是:在真空條件下,用蒸發源加熱蒸發材料,使之蒸發或升華進入氣相,氣相粒子流直接射向基片上沉積或結晶形成固態薄膜;由于環境是真空,因此,無論是金屬還是非金屬,在這種情況下蒸發要比常壓下容易得多。真空蒸發鍍膜是發展較早的鍍膜技術,其特點是:設備相對簡單,沉積速率快,膜層純度高,制膜材料及被鍍件材料范圍很廣,鍍膜過程可以實現連續化,應用相當guang泛。按蒸發源的不同,主要分為:電阻加熱蒸發、電子束蒸發、電弧蒸發和激光蒸發等。 真空鍍膜設備品牌有很多,你如何選擇?四川真空鍍膜設備質量

【真空鍍膜設備之渦輪分子泵】: 渦輪分子泵:渦輪分子泵是利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。主要用于高真空或超高真空,屬于干泵,極限真空10&7~10&8Torr,烘烤后可到10&10Torr,抽速可從50L/S~3500L/S。分子泵是靠高速轉動的渦輪轉子攜帶氣體分子而獲得高真空、超高真空的一種機械真空泵。泵的轉速為10000轉/分到50000轉/分,這種泵的抽速范圍很寬,但不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵。分子泵抽速與被抽氣體的種類有關,如對氫的抽速比對空氣的抽速大20%。 四川真空鍍膜設備質量關于真空鍍膜設備,你知道多少?

【光譜分光不良的補救(補色)之停電】: 分光不良分為二種情況:一是全部膜系鍍制完成后,經測試分光不良,此類不良主要按六節所述方法處理,一般減反膜難以補救。但對于高反膜、帶通濾光膜等可以通過加層的方法補救。二是鍍制中途中斷(包括發現錯誤中斷)造成的分光不良,一般都可以通過后續努力補救。后續方法正確,補救成功率比較高。 中斷的原因形式之停電: 對于停電這種情況,比較好處理,只要確認前面鍍的沒錯,程序沒有用錯,就可以繼續原來的程序,要注意的是:如果某一層鍍了一部分繼續鍍下去時,交接處要減少一些膜厚(根據膜料、蒸發速率決定減少多少,一般時0.2~1nm左右),如果該層剩下的膜厚不足15~20秒蒸鍍時,要考慮降低蒸發速率或干脆不讀,通過后續層調整膜厚解決。

【光譜分光不良的補救(補色)之機器故障和人為中斷】: 分光不良分為二種情況:一是全部膜系鍍制完成后,經測試分光不良,此類不良主要按六節所述方法處理,一般減反膜難以補救。但對于高反膜、帶通濾光膜等可以通過加層的方法補救。二是鍍制中途中斷(包括發現錯誤中斷)造成的分光不良,一般都可以通過后續努力補救。后續方法正確,補救成功率比較高。 中斷的原因形式之機器故障和人為中斷: 模擬:根據已經實鍍的鏡片(測試比較片)實測分光數據輸入計算機膜系設計程序的優化目標值,再根據已經掌握的膜系信息輸入,采用倒推法逐層優化,模擬出實際鍍制的膜系數據。 *測試比較片是指隨鏡片一起鍍制(在傘片上、與鏡片同折射率),用于測試鍍后分光曲線的平片。 優化:再鎖定通過模擬得到的膜系數據,通過后續層膜厚優化找到實現目標的Zui佳方案。 試鍍:根據新優化的后續膜層數據,試鍍若干鏡片或測試片,確認補色膜系的可行性。 補色鍍:對試鍍情況確認后實施補色鍍。補色鍍前,確認基片是否潔凈,防止產生其他不良。 真空鍍膜設備操作視頻。

【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之膜外色斑】: 色斑(也稱膜色亞克、燒蝕)是指鏡片上的膜色局部變異。有膜內色斑和膜外色斑二種。 膜外色斑改善對策: 1. 對減反膜,設計條件許可時,外層加以SiO2層,10nm左右即可(一般的外層膜是MgF2)。使外層趨于光滑、致密、減少有害物質的侵蝕。 2. 適當降低蒸鍍速率(在一定范圍內),提高膜層光滑度,減少吸附。 3. 鏡片在出罩后,待冷卻后再下傘和擦拭。 4. 鏡片在出罩后,放置在潔凈干燥的場合待冷卻。減少污染可能。 5. 用碳酸鈣粉,輕擦去除外層附著物。 6. 改善工作環境的濕度、溫差 7. 改善充氣口附近的環境,使充入的大氣干燥、潔凈。 8. 工作人員的個人衛生改善 9. 檢討真空室返油狀況,防止返油。 10. 適當降低基片溫度。 11. 改善膜系,取消太薄的膜層,根據硝材特性,選擇合適的膜層材料。 離子真空鍍膜設備是什么?陜西真空鍍膜設備國家標準

真空鍍膜設備操作培訓。四川真空鍍膜設備質量

【真空鍍膜磁控濺射法】: 濺射鍍膜Zui初出現的是簡單的直流二極濺射,它的優點是裝置簡單,但是直流二極濺射沉積速率低;為了保持自持放電,不能在低氣壓(<0.1 Pa)下進行;不能濺射絕緣材料等缺點限制了其應用。 磁控濺射是由二極濺射基礎上發展而來,在靶材表面建立與電場正交磁場,解決了二極濺射沉積速率低,等離子體離化率低等問題,成為目前鍍膜工業主要方法之一。磁控濺射與其它鍍膜技術相比具有如下特點:可制備成靶的材料廣,幾乎所有金屬,合金和陶瓷材料都可以制成靶材;在適當條件下多元靶材共濺射方式,可沉積配比精確恒定的合金;在濺射的放電氣氛中加入氧、氮或其它活性氣體,可沉積形成靶材物質與氣體分子的化合物薄膜;通過精確地控制濺射鍍膜過程,容易獲得均勻的高精度的膜厚;通過離子濺射靶材料物質由固態直接轉變為等離子態,濺射靶的安裝不受限制,適合于大容積鍍膜室多靶布置設計;濺射鍍膜速度快,膜層致密,附著性好等特點,很適合于大批量,高效率工業生產。近年來磁控濺射技術發展很快,具有代表性的方法有射頻濺射、反應磁控濺射、非平衡磁控濺射、脈沖磁控濺射、高速濺射等。 四川真空鍍膜設備質量

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