刻蝕技術是SiC器件研制的關鍵，刻蝕精度、損傷和表面殘留物對器件性能至關重要。目前，SiC刻蝕多采用干法刻蝕，其中電感耦合等離子體（ICP）刻蝕因其低壓高密度的特點，具有刻蝕速率高、器件損傷小、操作簡單等優點，而廣泛應用。此外，刻蝕中的掩膜材料、蝕刻選擇、混合氣體、側壁控zhi、蝕刻速率和側壁粗糙度等需針對SiC材料特性開發?？涛g環節主要挑戰包括實現更小尺寸器件結構、提高深寬比和形貌圓滑度，以及從淺溝槽向深溝槽的轉變等。主流的SiCICP刻蝕設備廠商包括德國Plasma-Therm及Sentech、瑞士TEL、美國AMAT、英國牛津儀器、日本Samco及愛發科，及我國北方華創、中國電科48所、中微半導體、中科院微電子所、珠海恒格微電子、稷以科技等。北方華創在SiC器件領域具備完整的刻蝕解決方案，其SiC器件刻蝕機出貨量的市占率較高?！暗谑邔弥袊?國際先進陶瓷展覽會”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開幕！展會展覽面積將超過50,000平方米，中外展商約900家，參展品牌1500個，國內外觀眾預計將達到70,000人次。展會打通供需堵點，整合全產業鏈資源，集中展示涵蓋原材料、設備、儀器、制品等產品、服務和整體解決方案。誠邀您蒞臨參觀！“第十七屆中國國際先進陶瓷展覽會同期展會：粉末冶金及硬質合金展、 2025年3月10-12日上海世博展覽館。3月10日至12日上海市國際先進陶瓷展會

“第十七屆中國?國際先進陶瓷展覽會”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開幕。誠邀您蒞臨參觀！氧化鋯陶瓷因具有耐高溫、耐腐蝕、耐磨損等優良的性能，應用于各個領域中。常壓下純氧化鋯有三種晶型，由于晶型轉變產生體積變化，造成開裂。加入適量穩定劑，使氧化鋯從高溫冷卻至室溫過程中盡可能多的保留四方相，控制并提高對增韌有貢獻的四方到單斜相的有效轉變。氧化釔穩定氧化鋯由于其綜合性能好，成為應用較廣的氧化鋯材料。有研究表明，Y2O3含量在2.5mol%時抗彎強度好；在2mol%時斷裂韌性da。本文主要以Y2O3含量在2~2.5mol%的氧化釔穩定氧化鋯為原料，制備出綜合性能較高的氧化鋯陶瓷，并探討成型和燒結工藝對氧化鋯陶瓷性能的影響，從而為生產提供理論依據，進而生產出高性能的氧化鋯結構陶瓷。2025年3月10日-12日上海市國際先進陶瓷展會先進制造業新發展格局“第十七屆中國?國際先進陶瓷展覽會：2025年3月10-12日上海世博展覽館！

陶瓷常指陶器和瓷器的總稱，指以粘土為主要原料以及各種天然礦物經過粉碎混煉、成型和煅燒制得的材料以及各種制品，指所有以粘土等無機非金屬礦物為原料的人工工業產品。隨著現代制造方法的發展，陶瓷材料逐漸成為指用天然或合成化合物經過成形和高溫燒結制成的一類無機非金屬材料。目前我們把陶瓷學定義為“制造和應用由無機非金屬材料作為基本組分組成的固體制品的技藝和科學”。這一定義不僅包括陶器、瓷器、耐火材料、結構黏土制品、磨料、搪瓷、水泥和玻璃等材料，而且還包括非金屬磁性材料、鐵電體、人工晶體、玻璃陶瓷以及幾年前還不存在甚至至今尚未出現的其他各種各樣的制品。“第十七屆中國?國際先進陶瓷展覽會”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開幕。同期展會；第17屆中國?國際粉末冶金及硬質合金展覽會（PM CHINA）、2025上海國際線圈、變壓器、電感、電機與磁性材料展覽會（MMIC CHINA)、2025上海國際增材制造應用技術展覽會（AM CHINA)和2025上海國際粉體加工與處理展覽會（POWDEX CHINA）同期同地舉辦。五展聯動，串聯相關產業鏈，吸引更多的觀眾群體，形成既匯聚更多參展企業同臺競技，又滿足觀眾和買家多樣化需求的“一站式”商貿交流平臺。

半導體材料作為一種在常溫下導電性能介于絕緣體與導體之間的特殊物質，在現代科技產業中發揮著至關重要的作用，被譽為現代工業的“糧食”。從研究和規?；瘧玫臅r間順序來看，半導體材料可分為三代。與以硅（Si）、鍺（Ge）為dai表的一代半導體和以砷化鎵（GaAs）為dai表的第二代半導體相比，以碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）為dai表的第三代半導體具有高禁帶寬度、高擊穿電場、高熱導率、高電子飽和漂移速率等特征，可以滿足科技發展對高溫、高功率、gao壓、高頻等復雜場景的器件要求?！暗谑邔弥袊?國際先進陶瓷展覽會”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開幕。展會展覽面積將超過50,000平方米，中外展商約900家，參展品牌1500個，國內外觀眾預計將達到70,000人次。展會打通供需堵點，整合全產業鏈資源，集中展示涵蓋原材料、設備、儀器、制品等一應俱全的產品、服務和整體解決方案。誠邀您蒞臨參觀！匯中外優秀企業，展前沿技術產品，“中國?國際先進陶瓷展覽會：2025年3月10-12日將于上海世博展覽館開幕。

將氧氯化鋯、硝酸釔、硝酸鋁按比例配置成溶液，氨水為沉淀劑，采用共沉淀法制備出釔穩定氧化鋯粉體，加入一定比例的PVA，水為介質，濕法球磨，烘干、造粒，得到可成型的釔穩定氧化鋯粉(Y-ZrO2)。在8.3MPa壓力下干壓，然后在不同壓力下冷等靜壓成型，將制得的生坯在不同溫度下燒結，并保溫不同時間，研究等靜壓壓力、燒結溫度、保溫時間對陶瓷密度、抗彎強度、硬度和斷裂韌性的影響?！暗谑邔弥袊?國際先進陶瓷展覽會”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開幕。五展聯動孕育無限發展商機IACE CHINA 2025將與第17屆中國?國際粉末冶金及硬質合金展覽會（PM CHINA）、2025上海國際線圈、變壓器、電感、電機與磁性材料展覽會（MMIC CHINA)、2025上海國際增材制造應用技術展覽會（AM CHINA)和2025上海國際粉體加工與處理展覽會（POWDEX CHINA）同期同地舉辦。五展聯動，串聯相關產業鏈，吸引更多的觀眾群體，形成既匯聚更多參展企業同臺競技，又滿足觀眾和買家多樣化需求的“一站式”商貿交流平臺。本屆展會（2025年）展覽面積將超過50,000平方米，中外展商約900家，參展品牌1500個，國內外觀眾預計將達到70,000人次。 誠邀您蒞臨參觀！提高材料性能，創新技術工藝，“中國?國際先進陶瓷展覽會：2025年3月10-12日上海世博展覽館！2025年3月10至12日上海市國際先進陶瓷高峰論壇

2025年3月10-12日，讓我們相聚中國?國際先進陶瓷展覽會，共同探索先進陶瓷行業的萬千可能！3月10日至12日上海市國際先進陶瓷展會

“第十七屆中國?國際先進陶瓷展覽會”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開幕。碳化硅作為第三代半導體的代表性材料之一，展現了突出的性能優勢，具有極高的產業價值，被當下業內稱為“黃金投資賽道”。我國“十四五”規劃已將碳化硅半導體納入重點支持領域，是國家戰略性需求的重要行業。我們通過對碳化硅產業鏈的基本情況及碳化硅襯底、外延、功率器件環節的價值分析，揭示碳化硅產業鏈的發展趨勢以及面臨的機遇與挑戰。五展聯動孕育無限發展商機IACECHINA2025將與第17屆中國?國際粉末冶金及硬質合金展覽會（PMCHINA）、2025上海國際線圈、變壓器、電感、電機與磁性材料展覽會（MMICCHINA)、2025上海國際增材制造應用技術展覽會（AMCHINA)和2025上海國際粉體加工與處理展覽會（POWDEXCHINA）同期同地舉辦。五展聯動，串聯相關產業鏈，吸引更多的觀眾群體，形成既匯聚更多參展企業同臺競技，又滿足觀眾和買家多樣化需求的“一站式”商貿交流平臺。本屆展會（2025年）展覽面積將超過50,000平方米，中外展商約900家，參展品牌1500個，國內外觀眾預計將達到70,000人次。誠邀您蒞臨參觀！3月10日至12日上海市國際先進陶瓷展會