常用的無氫DLC涂層制備方法:
1、電弧離子鍍。電弧離子鍍是由Mattox于1964年首先公開了所發明的技術。它是在蒸發鍍膜的同時,用來源于等離子體的離子轟擊膜層。在上世紀70年代諸多電弧離子鍍技術相繼實用化,主要用于制備刀具涂層。電弧離子鍍技術屬于冷場致弧光放電,制備過程如下:工件經清洗入爐后抽真空。當真空度達到6X10-3Pa后,開啟烘烤加熱電源,對工件進行加熱。達到一定溫度后,通入氨氣,真空度降至(3~5)×10-1Pa。接通工件偏壓電源,電壓調至100~200V。此時產生輝光放電,從陰極弧源表面發射出碳原子和石墨原子。在工件負偏壓的作用下,沉積到工件形成DLC底層,以提高類金剛石涂層的附著力。2、離子輔助沉積。離子輔助沉積技術英文縮寫IAD,是一種真空蒸發為基礎的輔助沉積方法。是借助少量高能離子及大量高能中子的連續作用,將金屬或金屬化合物蒸氣沉積在工件的一種表面處理過程。真空蒸發鍍膜過程中沉積的原子或者分子在基體表面的有限遷移率形成柱狀的薄膜結構,所以在沉積的過程中對生長的薄膜利用離子源轟擊,將離子的動量傳給沉積的原子或分子,使沉積的分子或者原子的遷移率得到提高。 通過調整生產流程中的工藝參數和選擇不同的靶材,可以控制DLC涂層的屬性,以滿足不同場合的需求。安徽制造DLC涂層廠家
dlc涂層和pvd涂層的區別
PVD鍍和DLC區別為:特性不同、方法不同、用途不同。一、特性不同1、PVD鍍:PVD鍍具有耐磨、耐腐蝕、裝飾、導電、絕緣、光導、壓電、磁性、潤滑、超導等特性。2、DLC:DLC具有硬度高,摩擦系數低,耐磨,耐腐蝕,抗粘結性好且環保等特性。二、方法不同1、PVD鍍:PVD鍍的方法有,真空蒸鍍、濺射鍍膜、電弧等離子體鍍、離子鍍膜,及分子束外延等。2、DLC:DLC的方法有真空蒸發、濺射、等離子體輔助化學氣相沉積、離子注入等。三、用途不同1、PVD鍍:PVD鍍廣泛應用于航空航天、電子、光學、機械、建筑、輕工、冶金、材料等領域。2、DLC:DLC廣泛應用于機械功能領域,如鉆頭、銑刀、光盤模具及其輔助模具、剪刀、刮胡刀刀片、粉末冶金成型模具、塑膠成型模具、引線框彎曲模具、玻璃片成型模具、鎂合金加工模具、在軸承等。 安徽新能源DLC涂層有哪些DLC涂層還具有良好的自潤滑性能,使其在摩擦應用中摩擦因數較小。
DLC處理的工藝流程包括所需處理工件基體的處理(拋光、清洗)、靶材的選擇、成形工藝條件的設定、成形及成形后的檢測等。要想得到G品質的DLC涂層,工件基體處理的好壞至關重要。將工件要拋光到小于Ra0.2um,涂覆處理后的工件才可得到滿意的表面質量,這對成形一些具有光學性能要求的零件是非常重要的(如成形光學鏡頭和成形LED零件)。這里要注意的是基體表面處理不能留有死角,這關系到膜層是否能與基體牢固地結合。將要涂覆的工件還要充分清洗。清洗工藝取決于涂覆的質量水平、母材和幾何形狀。工件裝在設定的夾具上,夾具是在使腔體裝載尺寸Z好化和保證涂覆均勻的基礎上設計的。真空室抽真空至10-6托(高真空)來排除系統中的任何污染物。真空室中通入惰性氣體并使其離子化。導致產生輝光放電(等離子體)。珠海類金剛石DLC涂層應用DLC涂層具有非常光滑的表面,其表面粗糙度可達到納米級別,能夠減少摩擦阻力和粘附力.
DLC(英文名:DiamondLikeCarbon,簡稱DLC)涂層,即類金剛石涂層,是一種可實現無油自潤滑的涂層,它是一類性質近似于金剛石,具有高硬度,高電阻率,良好光學性能等,同時又具有自身獨特摩擦學特性的非晶碳薄膜。是一種在微觀結構上以金剛石鍵結合的碳超過總碳量30%的非晶碳膜的統稱。DLC特點:1、具有低的摩擦系數<0.06,適合用于高潤滑、減摩要求領域;2、具有極高的表面電阻(MΩ級以上),適合用于高阻值和高耐蝕領域;3、硬度2000-7000HV可調,適合耐磨領域;4、具有優越的生物相容性,環保無毒,可應用于醫療食品領域;5、表面光潔,粗糙度、對有色金屬、塑料、橡膠、陶瓷等均有良好的抗粘結和防咬合性能;6、可在各種鋼鐵、鈦合金、鋁合金、硬質合金等材料上沉積獲得HF1-HF3級結合力。DLC涂層的自潤滑性能使其在高摩擦應用中減少能量損耗和摩擦磨損。
DLC涂層的種類:1. 純碳涂層:通過碳離子沉積在基底材料上形成純碳DLC涂層,防止氧化,提高硬度和耐磨性能。2. 類金剛石涂層(化碳涂層):通過碳和沉積在基底材料上生成類金剛石DLC涂層,提高硬度、強度和耐腐蝕性。3. 含氣DLC涂層氨氣增強碳和氮的堆積形成堆積在表面上的DLC涂層,具有較高的硬度和低的摩擦系數。4. 氣氮化碳涂層:通過沉積氣體(N2)和氮化(NH3)增加氮含量,提高其耐腐蝕性和高溫性能。5. 含硅氮DLC涂層:除了碳,硅也參與到涂層中增加了硬度和耐磨性,對化學穩定性的改善也有一些幫助。6. 含氧DLC涂層:這種涂層的硬度較低,但對于某些應用場合,如醫療設備、電子器件等,其低摩擦系數和良好的生物相容性非常適合。在引擎領域,DLC涂層可以應用于活塞銷、閥類、活塞和頂桿等部件,提高其耐磨性和耐腐蝕性。四川進口DLC涂層產品介紹
DLC涂層的性能取決于其中sp3和sp2所占的比例,高比例的sp3會使涂層性能接近天然金剛石。安徽制造DLC涂層廠家
DLC涂層是一種亞穩態的非晶碳莫,兼具金剛石和石墨的質優特性,具有較好的硬度、杰出的熱傳導性、低摩擦系數、優異的電絕緣性能、高化學穩定性等應用長處,在機械制造、生物醫學、電子設備等范疇有著普遍應用。堆積靶材體系。設備具有PVD和PCVD兩個堆積單元,PCVD單元首要意圖是用于類金剛石(DLC)的堆積,選用的電源為脈沖調制電源,各項參數接連可調,經過對參數的調整,能夠堆積不同硬度和厚度的DLC涂層,同時,經過對工件裝卡方式的調整,還能夠在復雜工件上進行涂層;PVD單元的意圖首要有:①針對不同的基體經過更換不同的靶材能夠開發不同的粘結層或含有不同品種元素的金屬摻雜DLC涂層;②經過更換靶材,能夠形成多種“功用層+DLC”的用于不同范疇的復合涂層。DLC涂層因其高硬度、耐磨抗刮傷、低摩擦系數等特性得到普遍的運用。安徽制造DLC涂層廠家
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