雙層管特種氣體管道施工除應符合本標準第 10.6.1條~第 10.6.3條的規定外，還應符合下列規定：1當雙層管焊接施工時，應先實施內管的焊接，并在焊接接頭處應安裝滑套；2 當雙層管焊接外管及滑套時，內管和外管都應充高純氬氣保護，宜采用自動軌道氬弧焊機焊接；3 內管焊接完成后應先做壓力試驗和氦檢漏，確認內管無泄漏后，方可焊接外管上的滑套；4 雙層管的內管和外管之間應安裝彈簧進行隔離，內管和外管不得直接接觸；5雙套管施工宜采用分段隔絕的方式施工，從氣瓶柜到閥門箱的外層套管不得全部相通。特氣管道安裝的時候，管子對口時應檢查平直度，距離接口中心200mm處測量。鹽城特氣管道安裝工程

管道、管件和閥門應在潔凈室內進行內包裝開封檢查，并應符合下列規定：1 管道、管件、閥門應有單獨的內包裝，端口均應裝有防塵帽；2 管道、管件、閥門檢查后應恢復內包裝及防塵帽；3 管道外觀檢查應按全數的5%以上抽查，規格尺寸、壁厚，圓度、端面平整度等應符合產品的技術要求；4 材質檢查宜采用便攜式金屬光譜分析儀檢查，每批每種規格應隨機抽查5%以上，且不得少于1件，其化學成分應符合材質質量保證書及相關要求；5 管道、管件內表面粗糙度應采用樣品比較法在管道兩端檢查，每批每種規格應隨機抽查5％以上，且不得少于1件，有不合格時應加倍抽查；6 管道內壁平均表面粗糙度Ra及較大表面糙度Rmax應滿足設計文件的要求。集中供氣特氣管道安裝服務管道焊接，自動焊接試樣制作 根據焊接工藝評定和焊接工藝規程，嚴格焊接操作。

對于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質量流量計，壓力調節閥。對于劇毒、高反應性和自燃氣體，應使用雙套管輸送。同時管道的設計要采用零死區設計，即整個管道系統從氣柜到VMB、從VMB到用氣點，要點對點，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。然后管道還要有良好的接地。

大宗特氣供應系統（BSGS）采用全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空；多重安全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷；專門使用氮氣吹掃起源等等。特種氣體采用單獨氣源，多用點采用VMB或VMP分路供應，VMB或VMP采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大，多采用單獨的氣體房，單獨的抽風系統。這些工廠的特種氣體的供給，除了普通鋼瓶（50L及以下）包裝的特種氣體外，還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器，由此它們被稱為大宗特氣，包括Y-鋼瓶（450L），T-鋼瓶（980L），集裝格（940L），ISO罐（22,500L），魚雷車（13,400L）等。焊接管子對口必須為正方并緊密連接，在對口位置所允許的圓角和倒為壁厚的十分之一。

硅烷特氣柜設計要求：1、因為硅烷（SiH4）的危險性，所以整套系統應該配備惰性吹掃裝置，而且應該設置單獨的惰性氣體鋼瓶（比如高壓N2）進行吹掃，不得采用管道氮氣吹掃。2、硅烷（SiH4）與空氣會自燃，柜內應配備氣體泄露偵測器、火焰探測器等，當發生泄漏時，能及時報警處理，避免更大事故的發生。3、硅烷系統的排氣管不得接入排風系統，硅烷和硅烷混合物排氣系統應該單獨于其它氣體排氣系統。4、如果排氣的硅烷（SiH4）濃度較高時，應采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。5、由于存在通過系統的固定慣性氣流，要設有防止回流裝置。6、排氣管應采用惰性氣體連續吹掃，吹掃氣體流速不得小于0.3m/s。管道支架或管卡應固定在樓板上或承重結構上。浙江醫院特氣管道安裝流程

特氣管道安裝時，根據不同的管徑和要求設置管卡或吊架，要求位置準確，埋設平整。鹽城特氣管道安裝工程

特氣管道工程安裝注意事項有哪些？1、管道支架制作安裝采用機械切割，臺鉆鉆孔，嚴禁氣割。支吊架要滿焊，安裝采用預埋板或滿足荷載要求的膨脹螺栓固定，確保牢固可靠。所有支吊架安裝前必須做除銹、涂刷兩遍防銹漆的防腐處理。2、管道連接過程中按圖紙要求設伸縮節，設計無要求時，按照規范要求設置，管端伸入伸縮節應預留伸縮間隙：夏季施工預留：5-10mm;冬季施工預留：15-20mm 。管材或管件在粘合前應將承口和插口的粘結面擦拭干凈，確保無異物。當表面粘有油污時，應采用清潔劑擦凈。鹽城特氣管道安裝工程