輔助系統的設計，氣體柜或控制面板在安裝和運輸的過程中由于搬運和震動，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣，所以特氣柜需設計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。一般選擇在特氣房設置一臺或多臺惰性氣體柜。其連接形式為：特氣柜中裝有各種氣體驅動閥，主管路在送氣前必須進行管道的吹掃和空氣的置換，所以還需輔助有高純氮氣和潔凈壓縮空氣系統。氮氣系統采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管徑根據氣柜的多少來計算決定。夏季施工預留：5-10mm;冬季施工預留：15-20mm 。常州特氣管道安裝注意事項

特氣輸送系統是指：將特種氣體從氣源端、根據工藝設備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數的控制，通過管道、無二次污染、穩定的輸送到工藝設備的用氣點。其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點。分類，特種氣體根據氣體性質不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據供應包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。常規供氣系統，常規供氣系統主要應用于4-6英寸 大規模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產線，發光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規模的電子行業。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節省投資。南京實驗室特氣管道安裝配件現在市面上的特氣管道供應商非常的多，但是大多數的氣體管道廠商只是提供產品，并不包括安裝這一方面。

隨著我國經濟的不斷發展、科技不斷自主進步，半導體等對特氣有需求的行業領域也在不斷擴大，特氣管道在我們的日常生活中應用也越加的普遍起來。特氣管道一般采用電解研磨方式加工的EP管，充氬氣加熱處理而成。所以，為了讓大家后期在購買特氣管道產品之后能夠自如的安裝，避免安裝過程中老是出錯。特氣系統大致由特氣設備、特種氣體管道和使用終端三部分組成，其中，特種氣體管道工程作為特種氣體的供氣端和使用端的樞紐，是一項比較重要又危險的工程。

系統檢測，特氣管道施工結束后都需要進行壓力檢測，氦檢漏，顆粒度和水分、氧分測試。壓力檢測一般采用比較精密的圓盤式壓力檢測儀或電子檢測儀，不用壓力表。這樣較大程度上提高了檢測的精密度。水、氧測試采用水氧分析儀；顆粒度測試目前基本采用激光顆粒測試儀，精度達到0.1微米；而對要求更高的采用核凝結技術（CNC）它可達到0.01微米。其它氣相雜質的測試根據具體要求確定。特氣管道安裝一般采用充氬氣加熱處理而成，EP管采用電解研磨方式加工而成。其內、外表面極其光亮。潔凈管道的焊接除了要達到常規工業管道對焊縫的要求外，還要求焊接時管內、外表面不受污染，焊縫內、外表面必須與母材光亮度基本一致。特氣管道安裝可以改善家庭裝修效果。

特氣管道工程安裝幾個安全要點：1、所有管道的支吊架必須符合規范及設計要求并按照標準圖集中的要求制作與安裝。管道支架或管卡應固定在樓板上或承重結構上。應按設計要求或國家標準圖集中對管道固定支架的型式進行選擇。嚴禁將管道支、吊架直接焊接在鋼結構承重梁上，必須根據承重梁的承重系數選擇合適的支、吊架固定方案才能進行施工。2、特氣管道安裝的時候，管子對口時應檢查平直度，距離接口中心200mm處測量，當管子公稱直徑小于100mm時，允許偏差為1mm，當管子公稱直徑大于或等于100mm時，允許偏差為2mm，但全長允許偏差均為100mm。焊工的焊縫是否符合質量要求，每個焊縫都必須仔細檢查，并作好焊接作業者和焊接數量記錄。浙江特氣管道安裝工程

應按設計要求或國家標準圖集中對管道固定支架的型式進行選擇。常州特氣管道安裝注意事項

特種氣體管道安裝施工方案需要考慮以下幾個方面：1. 材料選擇：特種氣體管道需要選用適合的材料，如不銹鋼、玻璃鋼等，以確保管道的密封性和耐腐蝕性。2. 設計方案：根據現場情況和氣體特性，設計合理的管道布局和安裝方案，確保管道的安全和穩定運行。3. 施工準備：準備好必要的工具和設備，如切割機、焊接機等，確保施工現場的安全和清潔。4. 管道安裝：按照設計方案進行管道的切割、焊接、連接等操作，確保管道的密封性和牢固性。5. 壓力測試：在管道安裝完成后，進行壓力測試，以確保管道的密封性和耐壓性。6. 吹掃和清洗：對管道進行吹掃和清洗，以去除殘留的雜質和污染物，確保管道的干凈和衛生。7. 安全措施：在施工過程中，采取必要的安全措施，如佩戴防護用品、設置警示標志等，確保施工人員的安全和健康。8. 質量控制：對施工過程進行質量控制，確保管道的安裝質量符合相關標準和要求。常州特氣管道安裝注意事項