特種氣體管道配管應符合下列規定：1 按照管道系統單線圖，應將規定尺寸的管段及預制好的管道有序放在管架上，用專門使用夾具定位后進行預連接，并應通入適量的高純氬氣進行保護；2 支架宜采用碳鋼噴塑、不銹鋼、熱鍍鋅C型鋼或鋁合金的槽式橋架組合；3 支架應采用機械切割，不得氣割，切割后的端頭應倒角并涂環氧漆后加蓋塑料封頭；4 當采用有蓋槽式不銹鋼橋架或鋁制橋架時，應采用樹脂薄板將橋架與鋼制綜合支架隔離；5 管外徑小于或等于1/2“管道宜采用a型不銹鋼管卡或鍍鎳電工管卡；大于或等于3/4”管道宜采用U型不銹鋼管卡或帶塑料管束的鍍鋅P型卡。特氣管道安裝的時候，管子對口時應檢查平直度，距離接口中心200mm處測量。上海大樓特氣管道安裝市價

大宗特氣供氣系統，大規模供氣系統主要針對大規模量產的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產線（氣體種類包括NH3），發光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產線（氣體種類包括HCL）等行業。它們的投資規模巨大，采用先進的工藝制程設備，用氣需求量大，對穩定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出較嚴格的要求。南通大口徑特氣管道安裝了解特種管道的施工作業要求和規范。

這些工廠的特種氣體的供給，除了普通鋼瓶（50L及以下）包裝的特種氣體外，還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器，由此它們被稱為大宗特氣，包括Y-鋼瓶（450L），T-鋼瓶（980L），集裝格（940L），ISO罐（22,500L），魚雷車（13,400L）等。大宗特氣供應系統（BSGS）采用全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空；多重安全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷；專門使用氮氣吹掃起源等等。特種氣體采用單獨氣源，多用點采用VMB或VMP分路供應，VMB或VMP采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大，多采用單獨的氣體房，單獨的抽風系統

管道系統的設計：材料的選擇，特氣管路系統普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 。2.主管路系統的設計，在確定好氣體房和用氣點以后,主管路系統一般遵循管道線路較短,拐彎較少,布置緊湊合理,給人簡單美觀的感覺。輸送系統的數量和管徑的大小一般根據機臺用氣點的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送（1/4-3/4）而且多設計了備用系統。由于氣體本身的危險性，許多地方采用把管道鋪設在電纜橋架里，對于穿墻或穿過夾道的地方，周圍有危險源和經常有危險作業的地方，露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序。

特種氣體管道的施工，特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質量和程序進行嚴格的監控和管理。然后整個系統還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質的測試。其現場基本的施工程序為：施工圖紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預制間的搭設﹣→施工機具的準備﹣→施工人員的培訓﹣→預制圖紙的編寫﹣→管道的預制﹣→管道的現場安裝﹣→系統檢測﹣→系統驗收。主要的施工機具，特種氣體管道的主要施工機具有:全自動軌道焊機(D100、MIOO等)管道切割機（GF鋸）、管子割刀、平口機、彎管器、倒角器、管口毛刺修理刮刀、有的需要配置電源穩壓器、防止施工現場電流波動對焊接質量造成影響、臺虎鉗、配電箱、拖線盤、臺鉆、電鉆、沖擊鉆、切割機、電焊機、手工氬弧焊機、其他輔助工具。現在市面上的特氣管道供應商非常的多，但是大多數的氣體管道廠商只是提供產品，并不包括安裝這一方面。南京鋁合金特氣管道安裝流程

施工中，可通過設計使用彎管裝置，現場制作彎頭，解決此加工問題。上海大樓特氣管道安裝市價

排風系統和放空系統也是特氣系統的重要組成部分。其排風系統也根據危險品性質分成普通排風系統（GEX）、酸性排風系統（SEX）、溶劑排風系統（VEX）、氨氣排風系統（AEX）。普通排風系統采用鍍鋅鐵皮風管，酸性排風一般采用玻璃鋼風管，溶劑和氨氣排風一般采用不銹鋼風管。氣柜的排風也是根據其性質接入上面不同的排風系統。氣體的放空是指特氣管道和氣柜中的特氣經氮氣稀釋后由放空管道排放到大氣或排風系統中，有的劇毒性或高危害性的氣體建議排放到尾氣處理器中經處理后排放至相應的排風系統中。放空系統一般采用SUS304不銹鋼管道，一直延伸到屋頂，高出屋面兩米左右，并設防雨罩。上海大樓特氣管道安裝市價