對于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質量流量計，壓力調節閥。對于劇毒、高反應性和自燃氣體，應使用雙套管輸送。同時管道的設計要采用零死區設計，即整個管道系統從氣柜到VMB、從VMB到用氣點，要點對點，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。然后管道還要有良好的接地。特種氣體管道的施工對環境的要求比較高，管道施工采用大批量預制然后現場 安裝的方法。上海不銹鋼特氣管道安裝參考價

設備材料進場驗收、焊接樣品鑒定時，建設單位技術人員應在場檢驗確認。主要設備、材料進場驗收，氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤進場驗收應符合下列規定：1 外包裝上應具有防止傾倒、輕放、防雨標識、防震標識，并應完整無損；2 表面應平整光潔、色澤一致、無毛刺、無劃痕、無銹蝕、不起鼓；柜體頂部應設抽風口，柜門下方應設可調節空氣過濾網進風口；3 面板上應有氣體的名稱、化學式、濃度、化學性質和危險標志的標識，并應有管線、閥體及附件相互連接的系統圖；同時，應配有與其對應的操作手冊；4 內部引出的管路和閥件接口應用專門使用管帽和堵頭封堵；5 在運輸過程中盤面內應保有不低于0.1MPa(表壓)壓力的氮氣；6 閥門、儀表與面板之間應有專門使用閥門支撐件，支撐件材質應采用不銹鋼；不得將閥門、儀表等直接用螺栓固定在面板上。檢驗科特氣管道安裝行價夏季施工預留：5-10mm;冬季施工預留：15-20mm 。

特種氣體管道焊接應符合下列規定：1管外徑大于或等于1"時，焊接前應先采用手工氬弧焊機進行不加絲對稱點焊預連接，點焊時管內應通入高純氬氣進行保護，點焊后應對焊點進行潔凈處理，并應用潔凈膠帶密封焊接接頭；2焊機應采用專門使用配電箱，當電源電壓不穩定時應采用自動穩壓裝置供電。焊機本體應可靠接地；3焊接時的保護氣體流量應以做焊接樣品的保護氣體流量為基準；施工過程中應連續充氣保護。施工中斷時可降低充氣流量，但應確保管內呈正壓；4 每一個系統焊接完成后，均應充高純氣或氮氣正壓保護；5外焊縫寬度應為管壁厚度的2.5倍~4.0倍，內焊縫寬度不應小于外焊縫寬度的2/3倍，焊縫不應有裂紋、未焊透、未熔合焊接缺陷，不得有氣孔、夾渣、咬邊等缺陷。焊縫錯邊量不應大于管壁厚度的10%，管內、外焊縫凹、凸起高度不應大于管道壁厚的10%。

特種氣體管道安裝：1 管外徑大于1/2"的管道切割應采用不銹鋼管潔凈專門使用切割機，切割時不得使用潤滑油：切口端面應垂直、無毛刺、不變形；滿足不加絲自動軌道氬弧焊要求；不得使用手工鋸、砂輪切割機切割；2管道切管作業時，應分別從兩端管口將高純氮氣或氬氣通入管內，并不得損傷管道外壁；3管口倒角作業時，不得損傷管道內壁，并不得采用什錦銼對管口進行倒角；4管道吹掃完畢，應使用不產塵的潔凈布沾上異丙醇或無水乙醇將切割管口清洗干凈，應迅速用潔凈防塵帽或潔凈膠帶將管口封堵；5切割結束后，剩余管材應以潔凈防塵帽封或潔凈膠帶堵后裝入包裝袋中；6管道預制焊接總長度不應超過12m，預制時應放置在專門使用支座上，支點數量不得少于4個；管道運輸時每3m長度應設一個支點。現在市面上的特氣管道供應商非常的多，但是大多數的氣體管道廠商只是提供產品，并不包括安裝這一方面。

施工前應將管道內的特種氣體用高純氮氣完全置換，被置換出的氣體應經過尾氣處理裝置處理，達標后排放。施工完畢、測試合格后，應將管道系統內充入0.1MPa(表壓)的高純氮氣。說明：本標準用詞說明1 為便于在執行本標準條文時區別對待，對要求嚴格程度不同的用詞說明如下：1) 表示很嚴格，非這樣做不可的：正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴禁”；2) 表示嚴格，在正常情況下均應這樣做的：正面詞采用“應”，反面詞采用“不應”或“不得”；3) 表示允許稍有選擇，在條件許可時首先應這樣做的：正面詞采用“宜”，反面詞采用“不宜”；4) 表示有選擇，在一定條件下可以這樣做的，采用“可”。2 條文中指明應按其他有關標準執行的寫法為：“應符合….的規定”或“應按……執行”。特種氣體管道的主要施工機具有:全自動軌道焊機(D100、MIOO等)管道切割機。浙江廠房特氣管道安裝服務

選擇特氣管道工程安裝公司的標準：對特氣管道工程設計考慮的比較全方面。上海不銹鋼特氣管道安裝參考價

尾氣處理裝置進場驗收應符合下列規定：1 尾氣處理裝置進場應對外觀、外形尺寸、構成、接口、銘牌、氣密試驗、閥門動作、信號傳輸等性能進行檢查和核對；2 尾氣處理裝置的主要組成件、附件應符合設計與合同的要求，隨機資料和專門使用工具應齊全；3 酸堿中和裝置的洗滌塔、風機、泵、控制盤、酸(堿)儲罐以及連接管路等應進行外觀檢查，隨機資料應齊全；4 尾氣處理裝置、風機、泵的出廠合格證、性能測試報告，銘牌、標識應齊全；5 系統流程圖、控制原理圖、設備使用說明書應齊全。上海不銹鋼特氣管道安裝參考價