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氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范:1、穿過實(shí)驗(yàn)室墻體或樓板的氣體管道應(yīng)敷在預(yù)埋套管內(nèi),套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采用非燃燒材料嚴(yán)密封堵。2、氫氣、氧氣管道的末端和較高點(diǎn)宜設(shè)放空管。放空管應(yīng)高出層頂2m以上,并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。氫氣管道上還應(yīng)設(shè)取樣口和吹掃口。放空管、取樣口和吹掃口的位置應(yīng)能滿足管道內(nèi)氣體吹掃置換的要求。3、氫氣、氧氣管道應(yīng)有導(dǎo)除靜電的接地裝置。有接地要求的氣體管道其接地和跨接措施應(yīng)按國家現(xiàn)行有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。穿過實(shí)驗(yàn)室墻體或樓板的氣體管道應(yīng)敷在預(yù)埋套管內(nèi),套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。南京潔凈室氣體管道設(shè)計(jì)公司
管道設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn):一、管道直徑的確定,管道直徑的確定取決于氣體的流量和運(yùn)輸?shù)木嚯x。如果管道直徑過小,會(huì)導(dǎo)致氣體流量不足,影響氣體的輸送效率;如果管道直徑過大,不只會(huì)浪費(fèi)材料,還會(huì)增加建設(shè)成本。二、管道的布局,在氣體管道的布局設(shè)計(jì)中,需要考慮管道連接的數(shù)量和位置、管道的支撐方式等因素。合理的管道布局可以保證氣體輸送的平穩(wěn)和安全。三五、管道的安裝,在氣體管道的安裝過程中,需要特別注意管道的密封和固定。如果安裝不當(dāng),會(huì)導(dǎo)致氣體泄漏和管道破裂等安全問題。以上就是芯片凈化車間建設(shè)中工業(yè)氣體管道設(shè)計(jì)的必須知道的標(biāo)準(zhǔn)。只有在嚴(yán)格遵守這些標(biāo)準(zhǔn)的前提下,才能保證凈化車間的高效運(yùn)行和安全生產(chǎn)。上海氬氣氣體管道設(shè)計(jì)連接圖填料應(yīng)采用經(jīng)除油處理的石墨石棉或聚四氟乙烯。
氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范:1.氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實(shí)驗(yàn)室的各種氣體管道支管宜明敷。當(dāng)管道井、管道技術(shù)層內(nèi)敷設(shè)有氫氣、氧氣和煤氣管道時(shí),應(yīng)有換氣1 - 3 次/h 的通風(fēng)措拖。2.按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計(jì)的通用實(shí)驗(yàn)空,各種氣體管道也應(yīng)按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計(jì)。3.穿過實(shí)驗(yàn)室墻體或樓板的氣體管道應(yīng)敷在預(yù)埋套管內(nèi),套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采用非燃燒材料嚴(yán)密封堵。4.氫氣、氧氣管道的末端和較高點(diǎn)宜設(shè)放空管。放空管應(yīng)高出層頂2m以上,并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。氫氣管道上還應(yīng)設(shè)取樣口和吹掃口。放空管、取樣口和吹掃口的位置應(yīng)能滿足管道內(nèi)氣體吹掃置換的要求。5.氫氣、氧氣管道應(yīng)有導(dǎo)除靜電的接地裝置。有接地要求的氣體管道其接地和跨接措施應(yīng)按國家現(xiàn)行有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
高純/特種氣體的概念,半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類:1.普通氣體:也叫大宗氣體,主要有:H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特種氣體:主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。氣力輸送設(shè)計(jì)的計(jì)算方法:1、確定各工作參數(shù)。氣力輸送的主要工作參數(shù)包括輸送量、混合比(輸送濃度)和氣流速度等,這些參數(shù)的正確確定,對(duì)氣力輸送系統(tǒng)的選擇和運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)性有很大的影響。2、確定各主要部件的型式和結(jié)構(gòu)尺寸,如選用吸送式氣力輸送型式,則要注意吸嘴的選型,繪制出系統(tǒng)示意圖。3、計(jì)算出系統(tǒng)各部分的壓力損失及管道總壓力損失。4、根據(jù)風(fēng)網(wǎng)總風(fēng)量和總壓力損失選擇合適的風(fēng)機(jī),并計(jì)算風(fēng)機(jī)所需功率配用電機(jī)。根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況嗎,高純氣體的管網(wǎng)大小長(zhǎng)短應(yīng)適宜,不宜過大或過長(zhǎng)。
進(jìn)行檢測(cè)和調(diào)試。在氣體管道施工完成后,需要進(jìn)行管道的檢測(cè)和調(diào)試工作。首先,進(jìn)行的氣體泄漏檢測(cè),確保管道的密封性。其次,進(jìn)行的氣體流量的測(cè)試,確保氣體輸送的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。通過檢測(cè)和調(diào)試,可以發(fā)現(xiàn)并解決潛在的問題,確保管道的正常運(yùn)行。然后,進(jìn)行驗(yàn)收和維護(hù)。當(dāng)實(shí)驗(yàn)室氣體管道設(shè)計(jì)與施工完成后,需要進(jìn)行驗(yàn)收工作。驗(yàn)收包括對(duì)管道的安全性、可靠性以及使用效果的檢查。只有通過驗(yàn)收,實(shí)驗(yàn)室能夠正式投入使用。同時(shí),為了保證管道的正常運(yùn)行和使用壽命,還需要進(jìn)行定期的維護(hù)和保養(yǎng)工作,包括清洗、潤滑等。管道與套管之間應(yīng)采用非燃燒材料嚴(yán)密封堵。南京潔凈室氣體管道設(shè)計(jì)公司
所有管道應(yīng)清晰標(biāo)識(shí),包括氣體名稱、流向標(biāo)記和安全警示。南京潔凈室氣體管道設(shè)計(jì)公司
物料的輸送狀況:輸送量,在設(shè)計(jì)氣力輸送系統(tǒng)時(shí),一般是根據(jù)單位時(shí)間的輸送量確定系統(tǒng)的容量和規(guī)格。輸送系統(tǒng)往往是作為整套設(shè)備的組成部分進(jìn)行設(shè)計(jì)的。如果輸送能力比額定值大,則后部的設(shè)備就沒有能力處理,反之,如果輸送能力過小,則會(huì)影響設(shè)備的正常操作。因此,一般宜使瞬時(shí)的輸送量控制在額定的范圍內(nèi)。對(duì)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的設(shè)備,當(dāng)輸送裝置萬一發(fā)生故障時(shí),會(huì)造成整套設(shè)備的停車,帶來過大的損失。因此輸送系統(tǒng)應(yīng)具有承受連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu),并要設(shè)置中間料斗,以便在緊急修理時(shí),允許暫停運(yùn)轉(zhuǎn)。當(dāng)供給量不連續(xù)時(shí),在瞬時(shí)內(nèi)會(huì)供給大量的物料所以系統(tǒng)的容量應(yīng)加大。南京潔凈室氣體管道設(shè)計(jì)公司