高純氣體管路設計要點:01輸送系統“分等級”,對高純氣體純度要求不同的用氣設備,宜采用分等級高純氣體輸送系統;也可采用同等級輸送系統,但是在純度要求高的用氣設備臨近處設末端氣體提純裝置。02采樣儀器及“采樣口”,為了檢測高純氣體的純度和雜質含量,輸送系統除了設置必要的連續檢測儀器,如衡量水含量或者氧雜質等分析儀外,還應設置定期取樣用的檢測采樣口,以便按規定時間進行采樣,分析高純氣體中各種雜質的含量。03確保氣體純度,在亞微米級的集成電路生產中,要求供應10-9級的高純氣體,為了確保末端用氣工藝設備處的氣體純度,使氣體中的雜質含量(包括塵粒)控制在規定的數值內,一般在設備前設置末端純化裝置,或末端高精度氣體過濾器。氣體純度大于或等于99.99%的氣體管道宜采用不銹鋼管、銅管或無縫鋼管。氧氣氣體管道設計注意事項
中心供氧系統:1醫院中心供氧系統由中心供氧站、管道、閥門及終端送氧插頭等組成。氧氣氣源集中在中心供氧站,氣源氧氣通過減壓裝置和管道輸送得手術室、搶救室、醫治室和各個病房的終端處,供醫療使用。2中心供氧站,中心供氧站供氧方式有:氧氣瓶組供氧、液氧供氧和液氧與氣瓶組聯合供氧及制氧機供氧。氧氣瓶組供氧由高壓氧氣瓶、匯流排、減壓裝置、管道及報警裝置組成。氧氣瓶組供氧匯流排,必須設兩組(或多組)交替供氧,采用自動或手動切換。氧氣瓶可由散裝或箱式瓶組供給。采用匯流排氣瓶組時氣瓶總數不得超過20瓶。瓶裝匯流排間地坪應與運輸工具高度相適應,一般宜高出室外地坪600mm以上。箱式瓶組應有防止發生火花的軌導吊車。南通氣體管道設計服務對氫氣和煤氣管道不得采用銅質材料,其它氣體管道可采用銅、碳鋼和可鍛鑄鐵等材料。
輔助系統的設計。氣體柜或控制面板在安裝和運輸的過程中由于搬運和震動,閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢,氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣,所以特氣柜需設計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。一般選擇在特氣房設置一臺或多臺惰性氣體柜。材料的選擇。特氣管路系統普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道,閥門一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等,采用經過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 。
中心供氧系統:1)中壓輸送中心供氧站:0.8~1.0 MPa氧氣經過二級減壓后,以0.3~0.5MPa(可調)送至各醫療用氧氣終端。根據病區的要求,可調節末端壓力值,同時中壓輸送氣體,相對管經較細。2)低壓輸送中心供氧站:0.5~0.6 MPa氧氣經過氣體閥箱(包括氣體壓力表、氣體壓力接觸器、氣體壓力傳感器及報警控制系統)0.2~0.4 MPa供至各醫療用氧氣終端。中心供氧系統技術要求,為保證系統正常供氧,應有供氧欠壓報警裝置。當供氧系統壓力低于報警壓力時,應有聲、光同時報警;聲報警要求在55db(A)噪聲環境下,在距1.5m范圍內可以聽到;氧氣管道須有可靠接地,接地電阻小于100Ω。凡是用氧氣的管道、管件、儀表、閥門和其他一切接觸氧氣的附件都必須事先進行脫脂,脫脂后管道用不含油氣體吹干。應有適當的過濾和凈化系統,以除去氣體中的雜質和水分。
氣體管道連接規范:1、氣體管道的連接應采用焊接或法蘭連接等形式。氫氣管道不得用螺紋連接。高純氣體管道應采用承插焊接。2、氣體管道與設備、閥門及其他附件的連接應采用法蘭或螺紋連接。螺紋接頭的絲扣填料應采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化鉛、甘油調合填料。氣體管道設計安全技術:1、氣體管道設計的安全技術應符合下列規定:2、每臺(組)用氫設備的支管和氫氣放空管上應設置阻火器。3、各種氣體管道應設置明顯標志。4、使用氫氣及可燃氣體的實驗室應設置報警裝置。5、氣瓶應放在主體建筑物之外的氣瓶存放間。對曰用氣量不超過一瓶的氣體,實驗室內可放置一個該種氣體的氣瓶,但氣瓶應有安全防護設施。6、氫氣和氮氣的氣瓶存放間應有每小時不小于三次換氣的通風措施。采用同等級輸送系統,但是在純度要求高的用氣設備臨近處設末端氣體提純裝置。南京定制氣體管道設計解決方案
對于特殊氣體,如高純氣體,管道內部應保持高度清潔,防止污染。氧氣氣體管道設計注意事項
管材選用及連接,管材:*氧氣管道材料為不銹鋼管、脫氧紫銅管(簡稱銅管)。*吸引管道材料可采用鍍鋅鋼管。要求高的在病房內的支管可采用銅管或不銹鋼管。*壓縮空氣管道材料可采用鍍鋅鋼管。要求高的在病房內的支管可采用銅管或不銹鋼管。*氮氣、笑氣、二氧化碳氣管道材料為不銹鋼管或銅管。連接:鍍鋅鋼管采用螺紋連接,采用聚四氟乙烯填料。不銹鋼管采用氬孤焊、焊接連接。銅管采用釬焊連接;釬料(焊料)可采用低銀焊料或銅磷釬焊料。氧氣氣體管道設計注意事項