日本把微電子生產中所采用的氣體，按其不同的品位，具體分為下列幾個不同的檔次：1.超高純氣體，氣體中雜質總含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。2.高純氣體，氣體中雜質總含量控制在5ppm以下，水份含量控制在3 ppm以內。3.潔凈氣體，氣體中雜質總含量控制在10 ppm以下,對水份含量未作嚴格規定。 上述規定，都未涉及潔凈度。我們知道集成電路的生產，幾乎都是在潔凈環境中進行，是防止塵埃粒子污染微電子產品所必需的。所以，對潔凈的生產環境絕不允許采用不潔凈的氣體來破壞，必須使氣體的潔凈度與潔凈環境保持一致，根據相關資料以及近些年公司相關工程的經驗進行了一些歸納。實驗室氣體管道安全性，氣體管道應使用耐腐蝕、耐壓、無泄漏的材質。江蘇礦用氣體管道設計廠商

氣體管道敷設要求：1、輸送干燥氣體的管道宜水平安裝，輸送潮濕氣體的管道應有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液體收集器。2、氧氣管道與其它氣體管道可同架敷設，其間距不得小于0.25m，氧氣管道應處于除氫氣管道外的其它氣體管道之上。3、氫氣管道與其它可燃氣體管道平行敷設時，其間距不應小于0.50m;交叉敷設時，其間距不應小于0.25m。分層敷設時，氫氣管道應位于上方。4、室內氫氣管道不應敷設在地溝內或直接埋地，不得穿過不使用氫氣的房間。5、氣體管道不得和電纜、導電線路同架敷設。?南京氮氣氣體管道設計市場價格氣瓶應放在主體建筑物之外的氣瓶存放間。

壓送式，壓送式氣力輸送系統是靠壓氣機械產生的正壓氣流化輸送管道中進行輸送。如圖1.2.2.0所示，物料的輸送過程是在壓氣機械的壓氣段一側完成的。1一回轉式供料器；2一羅茨鼓風機；3一料斗；4一輸料管；5一旋風分離器；6一料倉。該系統具有以下特點：1 適合于大流量、長距離輸送；2 卸料器結構簡單；3 能夠防止雜質和油、水浸入系統；4 容易造成粉塵外揚。壓送式氣力輸送可分為低壓壓送式、中壓壓送式和高壓壓送式三類。1) 低壓壓送式用中速氣流在管路系統中懸浮輸送物料，操作表壓一般為82 kPa以下，較高約達100 kPa。2) 中壓壓送采用低速氣流，操作表壓可達310 kPa。3) 高壓壓送也采用低速氣流，操作表壓可達860 kPa。混合式，混合式氣力輸送是吸送和壓送兩種方式組合在一起而構成的，該系統具有兩者的共同特點，較適宜于長距離輸送物料。除了以上三種氣力輸送系統外，還有一些特殊類型的氣力輸送系統，如脈沖栓流式、文丘里供料式低壓壓送系統、循環輸送式、空氣槽等。

氣體管道設計有很多方面，都有不同的要求，氣體管道敷設，氣體管道、閥門和附件，氣體管道連接及安全問題都有要求。氣體管道設計規范：1、穿過實驗室墻體或樓板的氣體管道應敷在預埋套管內，套管內的管段不應有焊縫。管道與套管之間應采用非燃燒材料嚴密封堵。2、氫氣、氧氣管道的末端和較高點宜設放空管。放空管應高出層頂2m以上，并應設在防雷保護區內。氫氣管道上還應設取樣口和吹掃口。放空管、取樣口和吹掃口的位置應能滿足管道內氣體吹掃置換的要求。3、氫氣、氧氣管道應有導除靜電的接地裝置。有接地要求的氣體管道其接地和跨接措施應按國家現行有關規定執行。按標準單元組合設計的通用實驗室，各種氣體管道也應按標準單元組合設計。

負壓吸引系統：系統需設水分離器，地面必須有排水槽。油潤滑滑片式真空泵：具有空氣冷卻、低噪音、震動少的優點。內部單向閥保護吸引系統不被污染，油霧分離器保護環境和減少油的損失。由于該設備是空氣冷卻，設備機房必須要有良好的透風。負壓吸引系統附屬設備：雙重細菌過濾器：防止真空泵及真空罐被污染。不中斷氣流可替換過濾器：2個可交替使用的微粒過濾器。污物接收器：收集污染的及液體，保護真空系統正常運轉，不中斷氣流可清理污染物。真空緩沖罐：防止真空泵頻繁起動。有接地要求的氣體管道其接地和跨接措施應按國家現行有關規定執行。江蘇礦用氣體管道設計廠商

氫氣管道與其它可燃氣體管道平行敷設時，其間距不應小于0.50m。江蘇礦用氣體管道設計廠商

供氣管網的布置、設計和尺寸選擇對要說空氣系統的效率、可靠性和壓縮空氣的整體能耗都有非常大的影響。比如說，有時候我們必須通過空提高空壓機的供氣壓力以彌補因較大的管道壓損造成的終端壓力不足，從壓縮空氣的系統能耗來說，這是非常不經濟的設計。此外，當用氣需求降低的時候管道系統的壓損也會隨之降低，從而在終端用氣點的壓力卻不斷上升甚至達到用氣壓力限值。 一般來說壓縮空氣的官網設計要達到從空壓機出口到較遠端的用氣點之間的壓損不超過0.1 bar。 這0.1bar的壓損包括官網間連接管路、管接頭和其它管路連接件產生的壓損。江蘇礦用氣體管道設計廠商