硅烷（SiH4）是一種在常溫常壓下為具有惡臭的無色氣體。它還是一種在室溫下能著火、在空氣或鹵素氣體中能爆裂性燃燒和劇毒性的特種氣體。硅烷在高科技行業(yè)中應(yīng)用越來越普遍，這與它的特性有關(guān)，同時也與行業(yè)的特殊需求有關(guān)。硅烷（SiH4）可以通過熱分解或與其它氣體的化學(xué)反應(yīng)制得單晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物質(zhì)。舉例：半導(dǎo)體行業(yè)中，硅烷SiH4是顯示屏制造中較關(guān)鍵的氣體之一，與氨氣（NH3）結(jié)合使用，形成用于a-Si晶體管的氮化硅層；與氧化亞氮（N2O）結(jié)合使用形成MO晶體管的氧化硅層。焊工施焊時，要求氬弧焊機(jī)焊接時電流穩(wěn)定，焊接速度應(yīng)保持均勻一致。江蘇檢驗科特氣管道安裝服務(wù)

大宗特氣供氣系統(tǒng)，大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出較嚴(yán)格的要求。杭州廠房特氣管道安裝配件管道連接過程中按圖紙要求設(shè)伸縮節(jié)，設(shè)計無要求時，按照規(guī)范要求設(shè)置，管端伸入伸縮節(jié)應(yīng)預(yù)留伸縮間隙。

雙層管特種氣體管道施工除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第 10.6.1條~第 10.6.3條的規(guī)定外，還應(yīng)符合下列規(guī)定：1當(dāng)雙層管焊接施工時，應(yīng)先實施內(nèi)管的焊接，并在焊接接頭處應(yīng)安裝滑套；2 當(dāng)雙層管焊接外管及滑套時，內(nèi)管和外管都應(yīng)充高純氬氣保護(hù)，宜采用自動軌道氬弧焊機(jī)焊接；3 內(nèi)管焊接完成后應(yīng)先做壓力試驗和氦檢漏，確認(rèn)內(nèi)管無泄漏后，方可焊接外管上的滑套；4 雙層管的內(nèi)管和外管之間應(yīng)安裝彈簧進(jìn)行隔離，內(nèi)管和外管不得直接接觸；5雙套管施工宜采用分段隔絕的方式施工，從氣瓶柜到閥門箱的外層套管不得全部相通。

系統(tǒng)檢測，特氣管道施工結(jié)束后都需要進(jìn)行壓力檢測，氦檢漏，顆粒度和水分、氧分測試。壓力檢測一般采用比較精密的圓盤式壓力檢測儀或電子檢測儀，不用壓力表。這樣較大程度上提高了檢測的精密度。水、氧測試采用水氧分析儀；顆粒度測試目前基本采用激光顆粒測試儀，精度達(dá)到0.1微米；而對要求更高的采用核凝結(jié)技術(shù)（CNC）它可達(dá)到0.01微米。其它氣相雜質(zhì)的測試根據(jù)具體要求確定。氣體房和氣柜還須有自動噴淋系統(tǒng)，但有的氣體如三氟化氯,硅烷遇水反應(yīng)，這時就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。管材或管件在粘合前應(yīng)將承口和插口的粘結(jié)面擦拭干凈，確保無異物。

特種氣體管道配管應(yīng)符合下列規(guī)定：1 按照管道系統(tǒng)單線圖，應(yīng)將規(guī)定尺寸的管段及預(yù)制好的管道有序放在管架上，用專門使用夾具定位后進(jìn)行預(yù)連接，并應(yīng)通入適量的高純氬氣進(jìn)行保護(hù)；2 支架宜采用碳鋼噴塑、不銹鋼、熱鍍鋅C型鋼或鋁合金的槽式橋架組合；3 支架應(yīng)采用機(jī)械切割，不得氣割，切割后的端頭應(yīng)倒角并涂環(huán)氧漆后加蓋塑料封頭；4 當(dāng)采用有蓋槽式不銹鋼橋架或鋁制橋架時，應(yīng)采用樹脂薄板將橋架與鋼制綜合支架隔離；5 管外徑小于或等于1/2“管道宜采用a型不銹鋼管卡或鍍鎳電工管卡；大于或等于3/4”管道宜采用U型不銹鋼管卡或帶塑料管束的鍍鋅P型卡。焊工的焊縫是否符合質(zhì)量要求，每個焊縫都必須仔細(xì)檢查，并作好焊接作業(yè)者和焊接數(shù)量記錄。杭州高純特氣管道安裝規(guī)范

在雙層管道彎管時，于內(nèi)外管間套不銹鋼彈簧圈，作為內(nèi)外管傳力物，確保彎管過程中內(nèi)外管的真圓度。江蘇檢驗科特氣管道安裝服務(wù)

特氣管道的組成：1. 特氣管道由鋼管或無縫鋼管（內(nèi)襯聚乙烯）制成，其規(guī)格為DN50～150mm（公稱壓力2.5～3.5MPa），壁厚1.5～3mm；2. 閥門：用于調(diào)節(jié)流量的大小和切斷介質(zhì)流動；3. 防腐層：防腐材料采用環(huán)氧煤焦油瀝青涂料涂敷于鋼管外壁上。特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。特氣管道安裝：1. 安裝前準(zhǔn)備工作：（1）檢查管材是否符合設(shè)計要求；（2）檢查配件是否完好；（3）檢查焊接設(shè)備是否正常運轉(zhuǎn)；（4）檢查焊機(jī)電流電壓是否符合要求。江蘇檢驗科特氣管道安裝服務(wù)