輔助系統(tǒng)的設(shè)計，氣體柜或控制面板在安裝和運輸?shù)倪^程中由于搬運和震動，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣，所以特氣柜需設(shè)計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。一般選擇在特氣房設(shè)置一臺或多臺惰性氣體柜。其連接形式為：特氣柜中裝有各種氣體驅(qū)動閥，主管路在送氣前必須進行管道的吹掃和空氣的置換，所以還需輔助有高純氮氣和潔凈壓縮空氣系統(tǒng)。氮氣系統(tǒng)采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管徑根據(jù)氣柜的多少來計算決定。管道支架制作安裝采用機械切割，臺鉆鉆孔，嚴禁氣割。泰州大口徑特氣管道安裝連接圖

系統(tǒng)檢測，特氣管道施工結(jié)束后都需要進行壓力檢測，氦檢漏，顆粒度和水分、氧分測試。壓力檢測一般采用比較精密的圓盤式壓力檢測儀或電子檢測儀，不用壓力表。這樣較大程度上提高了檢測的精密度。水、氧測試采用水氧分析儀;顆粒度測試目前基本采用激光顆粒測試儀，精度達到0.1微米;而對要求更高的采用核凝結(jié)技術(shù)(CNC)它可達到0.01微米。其它氣相雜質(zhì)的測試根據(jù)具體要求確定。以上，便是特氣管道安裝的8大注意事項，希望能在您自己安裝特氣管道系統(tǒng)時，提供一點小小幫助，當然如果您的自己安裝不好，也可去找專業(yè)氣體管道安裝公司。常州工業(yè)特氣管道安裝精選廠家選擇特氣管道工程安裝公司的標準：施工技藝先進，驗收嚴格按照規(guī)定標準。

特種氣體管道的施工，特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質(zhì)量和程序進行嚴格的監(jiān)控和管理。然后整個系統(tǒng)還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。其現(xiàn)場基本的施工程序為：施工圖紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預(yù)制間的搭設(shè)﹣→施工機具的準備﹣→施工人員的培訓(xùn)﹣→預(yù)制圖紙的編寫﹣→管道的預(yù)制﹣→管道的現(xiàn)場安裝﹣→系統(tǒng)檢測﹣→系統(tǒng)驗收。主要的施工機具，特種氣體管道的主要施工機具有:全自動軌道焊機(D100、MIOO等)管道切割機（GF鋸）、管子割刀、平口機、彎管器、倒角器、管口毛刺修理刮刀、有的需要配置電源穩(wěn)壓器、防止施工現(xiàn)場電流波動對焊接質(zhì)量造成影響、臺虎鉗、配電箱、拖線盤、臺鉆、電鉆、沖擊鉆、切割機、電焊機、手工氬弧焊機、其他輔助工具。

特氣管道工程安裝需要注意以下幾點，首先一定要找專業(yè)的安裝公司，公司必須是擁有建筑安全施工資質(zhì)和氣體管道施工資質(zhì)的，比如沃飛科技，這就是一家資質(zhì)非常齊全的公司，另外要找一個能提供系統(tǒng)幫助的公司，包括一定要有良好的售后服務(wù)，保證后期出現(xiàn)任何問題都有責任方。為了在電子工廠特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計和施工中正確貫徹國家法律、法規(guī)，確保安全可靠，保護環(huán)境，滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求，保護人身和財產(chǎn)安全，做到安全適用、技術(shù)先進，經(jīng)濟合理。為了在電子工業(yè)工廠特種氣體系統(tǒng)及配套裝置的工程設(shè)計、施工及驗收中貫徹國家現(xiàn)行法律、法規(guī)，滿足產(chǎn)品生產(chǎn)要求，確保人身和財產(chǎn)安全、做到安全適用、技術(shù)先進、保護環(huán)境、節(jié)約能源、經(jīng)濟合理，制定本標準。特氣管道安裝時，在管子對口前應(yīng)檢查平直度，在距離接口中心200mm處測量。

尾氣處理裝置進場驗收應(yīng)符合下列規(guī)定：1 尾氣處理裝置進場應(yīng)對外觀、外形尺寸、構(gòu)成、接口、銘牌、氣密試驗、閥門動作、信號傳輸?shù)刃阅苓M行檢查和核對；2 尾氣處理裝置的主要組成件、附件應(yīng)符合設(shè)計與合同的要求，隨機資料和專門使用工具應(yīng)齊全；3 酸堿中和裝置的洗滌塔、風(fēng)機、泵、控制盤、酸(堿)儲罐以及連接管路等應(yīng)進行外觀檢查，隨機資料應(yīng)齊全；4 尾氣處理裝置、風(fēng)機、泵的出廠合格證、性能測試報告，銘牌、標識應(yīng)齊全；5 系統(tǒng)流程圖、控制原理圖、設(shè)備使用說明書應(yīng)齊全。在雙層管道彎管時，于內(nèi)外管間套不銹鋼彈簧圈，作為內(nèi)外管傳力物，確保彎管過程中內(nèi)外管的真圓度。常州工業(yè)特氣管道安裝精選廠家

在施工過程中，采取必要的安全措施，如佩戴防護用品、設(shè)置警示標志等，確保施工人員的安全和健康。泰州大口徑特氣管道安裝連接圖

管道系統(tǒng)的設(shè)計：材料的選擇，特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 。2.主管路系統(tǒng)的設(shè)計，在確定好氣體房和用氣點以后,主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路較短,拐彎較少,布置緊湊合理,給人簡單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機臺用氣點的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送（1/4-3/4）而且多設(shè)計了備用系統(tǒng)。由于氣體本身的危險性，許多地方采用把管道鋪設(shè)在電纜橋架里，對于穿墻或穿過夾道的地方，周圍有危險源和經(jīng)常有危險作業(yè)的地方，露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。泰州大口徑特氣管道安裝連接圖