避免連接構件11的兩側與操作人員的手接觸的時候,會因操作人員的手沾濕出現(xiàn)手滑的情況,有效的保證了裝置內(nèi)部構件的連接工作能正常的進行。推薦的,支撐腿2的底端嵌入連接有防滑紋6,在制備蝕刻液的時候,需要將裝置固定的特定的位置,通過支撐腿2將裝置主體1進行支撐固定,在支撐腿2與固定位置的接觸面接觸時,防滑紋6能增大支撐腿2的底端與固定接觸面的摩擦力,使裝置主體1能有足夠的抓地力固定在固定位置上,有效的提高了裝置固定的防滑性。推薦的,過濾部件9的內(nèi)部兩側嵌入連接有過濾板26,常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合,其分散混合性能差,蝕刻液雜質(zhì)含量多,過濾板26能將蝕刻液內(nèi)部的雜質(zhì)進行過濾,使制備出的蝕刻液的雜質(zhì)被過濾板26過濾出,得到不含雜質(zhì)的蝕刻液,避免多種強酸直接共混有效的減小了蝕刻液制備的安全隱患。推薦的,過濾部件9設置有一個,過濾部件9設置在連接構件11的內(nèi)側,過濾部件9與連接構件11固定連接,過濾部件9能將制備出的蝕刻液進行過濾,且過濾部件9能將內(nèi)部的過濾板26進行拆卸更換,將過濾部件9的內(nèi)部進行清洗,在將過濾部件9進行連接安裝時,將滑動蓋24向外側滑動。蝕刻液的主要成分是什么?成都銀蝕刻液蝕刻液
內(nèi)部頂部兩側的震蕩彈簧件14,震蕩彈簧件14頂端的運轉(zhuǎn)電機組13,運轉(zhuǎn)電機組13頂端的控制面板15,內(nèi)部中間部位的致密防腐桿16和致密防腐桿16內(nèi)部內(nèi)側的攪動孔17共同組合而成,由于鹽酸硝酸具有較強的腐蝕性,常規(guī)的攪拌裝置容易被腐蝕,影響蝕刻液的質(zhì)量,用防腐蝕的聚四氟乙烯攪拌漿進行攪拌,成本過高,且混合的效果不好,通過設置高效攪拌裝置2,該裝置通過運轉(zhuǎn)電機組13驅(qū)動旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12,使旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12帶動高效攪拌裝置2進行旋轉(zhuǎn)搖勻,同時設置的震蕩彈簧件14可通過驅(qū)動對高效攪拌裝置2進行震蕩搖勻,高效攪拌裝置2內(nèi)部的蝕刻液通過內(nèi)置的致密防腐桿16,致密防腐桿16內(nèi)部的攪動孔17能夠使蝕刻液不斷細化均勻化,從而很好的防止了蝕刻液的腐蝕,且成本低廉,攪拌均勻效果較好。推薦的,注入量精確調(diào)配裝置是由鹽酸裝罐7內(nèi)部一側的嵌入引流口22,嵌入引流口22一端的負壓引流器21,負壓引流器21一端的注入量控制容器18,注入量控制容器18內(nèi)部內(nèi)側的注入量觀察刻度線19和注入量控制容器18一側的限流銷20共同組合而成,現(xiàn)有的制備裝置無法對相關原料的注入量進行精確控制,無法很好的保證蝕刻液制備的純度,通過設置注入量精確調(diào)配裝置。成都哪家蝕刻液蝕刻液哪里買蝕刻液使用時要注意什么?
所述裝置主體的內(nèi)部底部中間部位固定連接有常閉式密封電磁閥,所述連接構件的內(nèi)側固定連接有過濾部件,所述裝置主體的內(nèi)部底端另一側固定連接有收集倉,所述收集倉的另一側底部固定連接有密封閥門,所述過濾部件的頂端兩側活動連接有滑動蓋,所述過濾部件的內(nèi)部中間兩側固定連接有收縮彈簧管,所述連接構件的內(nèi)側兩端嵌入連接有螺紋管,所述連接構件的內(nèi)部中間兩側活動連接有活動軸,所述連接構件的內(nèi)側中間兩側嵌入連接有密封軟膠層。推薦的,所述硝酸鉀儲罐的頂部嵌入連接有密封環(huán)。推薦的,所述連接構件的兩側嵌入連接有海綿層。推薦的,所述支撐腿的底端嵌入連接有防滑紋。推薦的,所述過濾部件的內(nèi)部兩側嵌入連接有過濾板。推薦的,所述過濾部件設置有一個,所述過濾部件設置在連接構件的內(nèi)側,所述過濾部件與連接構件固定連接。推薦的,所述連接構件設置有十四個,所述連接構件設置在攪拌倉的底部,所述連接構件與攪拌倉固定連接。與現(xiàn)有技術相比,本實用新型的有益效果是:1.高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,過濾部件,過濾部件設置在連接構件的內(nèi)側,過濾部件與連接構件固定連接,過濾部件能將制備出的蝕刻液進行過濾。
本發(fā)明涉及銅蝕刻液技術領域,具體涉及一種酸性銅蝕刻液的生產(chǎn)工藝。背景技術:高精細芯片和顯示集成電路主要采用銅制程,其光刻工藝中形成銅膜層結構所需用的銅刻蝕液中主要的為過氧化氫系銅刻蝕液。過氧化氫系銅蝕刻液較其他銅刻蝕液體系(如三氯化鐵體系,過硫酸銨體系)具有不引人其他金屬離子在銅層表面或線路體系中,產(chǎn)物親和、友好、環(huán)境污染少,刻蝕效率高且使用壽命較長的特點。大部分過氧化氫系銅刻蝕液包括參與氧化的過氧化氫組分、參與溶解的無機酸/有機酸組分,以及部分銅緩蝕劑等各類添加三個部分。由于銅蝕刻液中各物質(zhì)的反應為放熱反應,體系中又含有過氧化氫在制備銅蝕刻液的生產(chǎn)過程中需要保證生產(chǎn)安全。技術實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于,克服現(xiàn)有技術中存在的缺陷,提供一種銅蝕刻液大規(guī)模量產(chǎn)的生產(chǎn)工藝,該生產(chǎn)工藝溫控嚴格,生產(chǎn)過程中安全性高。為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的技術方案是設計一種酸性銅蝕刻液的生產(chǎn)工藝,所述工藝包括以下步驟:第一步:將純水進行低溫處理,使純水溫度≤10℃在純水罐中備用;第二步:配制和準備原料,將亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸分別投入對應的原料罐中,經(jīng)過過濾器循環(huán)過濾,備用。哪家蝕刻液的的性價比好。
操作人員的手會與連接構件11接觸,海綿層12可以將操作人員手上的水分進行吸收,避免連接構件11的兩側與操作人員的手接觸的時候,會因操作人員的手沾濕出現(xiàn)手滑的情況,有效的保證了裝置內(nèi)部構件的連接工作能正常的進行;然后,通過連接構件11將裝置主體1內(nèi)部構件進行連接,連接構件11設置有十四個,連接構件11設置在攪拌倉23的底部,連接構件11與攪拌倉23固定連接,連接構件11能將裝置主體1內(nèi)部的兩個構件進行連接并固定,且在將兩構件進行連接或拆卸的時候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,在將兩構件的連接管放在連接構件11的兩端,再通過連接管與連接構件11內(nèi)側兩端的螺紋管27進行連接,通過轉(zhuǎn)動連接構件11的兩側部位,同時使連接管與連接構件11的中間位置固定住,通過活動軸28的作用,使連接管通過連接有的螺紋向內(nèi)來連接,使連接管將密封軟膠層29進行擠壓,使兩構件的連接管進行密封連接,有效的提高了裝置連接的實用性;接著,更換或添加硝酸鉀儲罐21或其它儲罐內(nèi)的制備材料,硝酸鉀儲罐21的頂部嵌入連接有密封環(huán)22,在將制備蝕刻液儲罐加入制備材料的時候,需要將儲罐進行密封,密封環(huán)22能將硝酸鉀儲罐21和其他儲罐的頂蓋與儲罐主體連接的位置進行密封。京東方用的哪家的蝕刻液?池州BOE蝕刻液蝕刻液生產(chǎn)
質(zhì)量好的蝕刻液的公司聯(lián)系方式。成都銀蝕刻液蝕刻液
并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由該復數(shù)個宣泄孔121落下造成該基板20的蝕刻不均等異常現(xiàn)象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板而導致該基板20刮傷或破片風險等主要優(yōu)勢。該蝕刻設備1可進一步設置有一噴灑裝置50,該噴灑裝置50設置于該擋液板結構10的一端部,且該基板20設置于該擋液板結構10的下方約8毫米至15毫米之間,其中該噴灑裝置50用以噴灑一藥液51至該基板20上,以對該基板20進行一濕式蝕刻制程;由上述的說明,擋液板結構10的設置即是為了避免噴灑裝置50的藥液51繼續(xù)對已經(jīng)完成蝕刻步驟的基板20再進行蝕刻制程,故仍舊會有少量的藥液51噴灑在擋液板結構10上而留下該藥液51的水滴,而該藥液51的水滴亦不能落入該基板20上,以避免該基板20的蝕刻不均的現(xiàn)象產(chǎn)生。該輸送裝置30設置于該基板20的下方,該輸送裝置30包括有至少一滾輪31,其中該滾輪31與該基板20接觸以運行該基板20;在本實用新型其一較佳實施例中,該輸送裝置30用以承載并運送至少一該基板20于該濕式蝕刻機內(nèi)運行,并接受濕式蝕刻的噴灑裝置50的制程運作,故該輸送裝置30具有一驅(qū)動機構(圖式未標示)以驅(qū)動該滾輪31轉(zhuǎn)動,例如:順時針旋轉(zhuǎn)。成都銀蝕刻液蝕刻液
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