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本發(fā)明涉及化學(xué)制劑技術(shù)領(lǐng)域:,特別涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液。背景技術(shù)::隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)以及立體封裝技術(shù)的不斷發(fā)展,電子器件和電子產(chǎn)品對(duì)多功能化和微型化的要求越來越高。在這種小型化趨勢的推動(dòng)下,要求芯片的封裝尺寸不斷減小。3d疊層粉妝技術(shù)的封裝體積小,立體空間大,引線距離短,信號(hào)傳輸快,所以能夠更好地實(shí)現(xiàn)封裝的微型化。晶圓疊層是3d疊層封裝的一種形式。疊層晶圓在制造的過程中會(huì)對(duì)**外層的晶圓表面進(jìn)行顯影蝕刻,當(dāng)中會(huì)用到光刻膠剝離液。以往的光刻膠剝離液對(duì)金屬的腐蝕較大,可能進(jìn)入疊層內(nèi)部造成線路減薄,藥液殘留,影響產(chǎn)品的質(zhì)量。因此有必要開發(fā)一種不會(huì)對(duì)疊層晶圓產(chǎn)生過腐蝕的光刻膠剝離液。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的主要目的在于提供一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,既具有較高的光刻膠剝離效率,又不會(huì)對(duì)晶圓內(nèi)層有很大的腐蝕。本發(fā)明通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)上述目的:一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,配方包括10~20wt%二甲基亞砜,10~20wt%一乙醇胺,5~11wt%四甲基氫氧化銨,~1wt%硫脲類緩蝕劑和~2wt%聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去離子水。具體的。剝離液蝕刻后如何判斷好壞 ?廣州剝離液推薦貨源
博洋股份擁有甲類、丙類的危化品生產(chǎn)和倉儲(chǔ)**廠房,功能包括了液體稀釋、固體溶解、液體和固體混配等工藝要求的定制研發(fā)類別Category危化品等級(jí)Hazardouschemicalsgrade設(shè)備材質(zhì)Materialofequipment工藝TechnologyOEM定制加工OEM第三類Thethird(flammableliquilds)不銹鋼Stainlesssteel溶解、稀釋Dissolutionanddilution第五類Thefifth(oxidizingsubstanceandorganicperoxides)搪瓷Enamel固液配料Solid-liquidingredients第八類Theeight(correctives)襯塑Plasticlining固固混料Solid-solidmixing廣州銅鈦蝕刻液剝離液按需定制哪家公司的剝離液是比較劃算的?
在生產(chǎn)方面,剝離液的純度對(duì)于應(yīng)用領(lǐng)域有所限制,高純度剝離液生產(chǎn)工藝復(fù)雜,且對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制均有較高的要求,整體技術(shù)門檻較高。在資金方面,為取得競爭優(yōu)勢,剝離液生產(chǎn)企業(yè)需要在研發(fā)、技術(shù)、設(shè)備方面投入大量資金,因此為實(shí)現(xiàn)剝離液產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)所需的資金門檻相對(duì)較高。新思界產(chǎn)業(yè)分析人士表示,剝離液作為半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵性濕電子化學(xué)品,在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展背景下,剝離液市場需求攀升。就總體來看,剝離液雖然是一種關(guān)鍵化工原料,但由于需求量較少,因此市場規(guī)模偏小,生產(chǎn)企業(yè)由大型濕電子化學(xué)品主導(dǎo),新進(jìn)入企業(yè)難以尋求發(fā)展機(jī)遇。
701、油墨放置箱;702、油墨加壓器;703、高壓噴頭;704、防濺射擋板;705、印刷輥;8、膠面剝離結(jié)構(gòu);801、收卷調(diào)速器;802、收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī);803、輥固定架;804、膠水盛放箱;805、點(diǎn)膠頭;806、卷邊輥;807、膠面收卷輥;9、電加熱箱;10、熱風(fēng)噴頭;11、干燥度感應(yīng)器;12、電氣控制箱;13、液晶操作面板。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖對(duì)本**技術(shù)作進(jìn)一步說明:如圖1-圖4所示,一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置,包括主支撐架1、橫向支架2、伺服變頻電機(jī)3、電機(jī)減速箱4、印刷品放置箱6、表面印刷結(jié)構(gòu)7、膠面剝離結(jié)構(gòu)8,所述主支撐架1上方設(shè)置有所述橫向支架2,所述橫向支架2上方設(shè)置有所述伺服變頻電機(jī)3,所述伺服變頻電機(jī)3上方設(shè)置有所述電機(jī)減速箱4,所述電機(jī)減速箱4上方安裝有印刷品傳送帶5,所述印刷品傳送帶5一側(cè)安裝有所述印刷品放置箱6,所述印刷品放置箱6一側(cè)安裝有所述表面印刷結(jié)構(gòu)7,所述表面印刷結(jié)構(gòu)7上方設(shè)置有油墨放置箱701,所述油墨放置箱701下方安裝有油墨加壓器702,所述油墨加壓器702下方安裝有高壓噴頭703,所述高壓噴頭703一側(cè)安裝有防濺射擋板704,所述防濺射擋板704下方安裝有印刷輥705,所述表面印刷結(jié)構(gòu)7一側(cè)安裝有所述膠面剝離結(jié)構(gòu)8。哪家的剝離液的價(jià)格優(yōu)惠?
剝離液是用來干嘛的?簡單了解了剝離液的朋友圈,接下來,我們就展開講講剝離液是做什么的吧。剝離液通常用在蝕刻工藝完成之后,用于去除光刻膠和殘留物質(zhì),同時(shí)防止對(duì)下層的襯底層造成損壞。可以說我們現(xiàn)在正在看的手機(jī)、電腦屏幕都用到剝離液。據(jù)調(diào)研報(bào)告顯示,在LCD面板制造所需的濕電子化學(xué)品中,剝離液占比31%;在OLED面板制造所需的濕電子化學(xué)品中,剝離液占比44%;剝離液是顯示面板制造中用量比較大的濕電子化學(xué)品之一。那么,剝離液是如何應(yīng)用在顯示面板中的呢?我們以“人體的新***”——手機(jī)為例。現(xiàn)在**常見的手機(jī)屏幕主要是LCD屏和OLED屏。哪家的剝離液價(jià)格比較低?廣州剝離液推薦貨源
如何選擇一家好的做剝離液的公司。廣州剝離液推薦貨源
采用此方法可以制備出負(fù)性光刻膠所能制備的任意結(jié)構(gòu),同時(shí)相比于傳統(tǒng)的加工,本方案加工效率可以提高上千倍,且圖形的結(jié)構(gòu)越大相對(duì)的加工效率越高。本發(fā)明為微納制造領(lǐng)域,光學(xué)領(lǐng)域,電學(xué)領(lǐng)域,聲學(xué)領(lǐng)域,生物領(lǐng)域,mems制造,nems制造,集成電路等領(lǐng)域提供了一種新的有效的解決方案。附圖說明圖1為本發(fā)明制備用電子束在pmma上曝光出圓形陣列的輪廓;圖2為本發(fā)明用黏貼層撕走pmma輪廓以外的結(jié)構(gòu)后得到的圓形柱狀陣列;圖3為實(shí)施例1步驟三的結(jié)構(gòu)圖;圖4為實(shí)施例1步驟四的結(jié)構(gòu)圖;圖5為實(shí)施例1步驟五的結(jié)構(gòu)圖;圖6為實(shí)施例1步驟六的結(jié)構(gòu)圖。具體實(shí)施方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的描述。實(shí)施例1一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法,包括以下步驟:步驟一、提供襯底,并清洗;步驟二、使用十三氟正辛基硅烷利用高溫氣體修飾法對(duì)襯底進(jìn)行修飾;步驟三、利用旋涂的方法在襯底上旋涂光刻膠pmma得到薄膜,如圖3。步驟四、在光刻膠上加工出所需結(jié)構(gòu)的輪廓如圓形,如圖4所示。步驟五、在加工出結(jié)構(gòu)輪廓的薄膜上面覆蓋一層黏貼層,如圖5。步驟六、揭開黏貼層及結(jié)構(gòu)輪廓以外的薄膜,在襯底上留下輪廓內(nèi)的微納尺度結(jié)構(gòu)。廣州剝離液推薦貨源
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司在高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液一直在同行業(yè)中處于較強(qiáng)地位,無論是產(chǎn)品還是服務(wù),其高水平的能力始終貫穿于其中。公司成立于1999-10-25,旗下博洋化學(xué),已經(jīng)具有一定的業(yè)內(nèi)水平。博洋化學(xué)致力于構(gòu)建精細(xì)化學(xué)品自主創(chuàng)新的競爭力,博洋化學(xué)將以精良的技術(shù)、優(yōu)異的產(chǎn)品性能和完善的售后服務(wù),滿足國內(nèi)外廣大客戶的需求。