該宣泄孔121的上孔徑a1與下孔徑a2亦不相等,且該上孔徑a1小于該下孔徑a2,或該宣泄孔121由該第二擋板12的下表面122朝向上表面123的方向漸縮,以維持毛細現象而避免該藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題。當該風刀裝置40的***風刀41與該第二風刀42為了減少該基板(本圖式未標示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結構10后部分會往該復數個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖10與圖11所示),除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的顯影不均現象,亦可達到避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;為了必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,故該復數個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細現象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達到防止位于該第二擋板12上表面的藥液51水滴經由該復數個宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖12所示)。另請參閱圖13所示,為本實用新型蝕刻設備的蝕刻方法的步驟流程圖,其中本實用新型蝕刻設備的蝕刻方法主要包括有下列步驟。質量好的蝕刻液的公司聯系方式。安徽鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液銷售公司
技術實現要素:本實用新型所解決的技術問題即在于提供一種擋液板結構與以之制備的蝕刻設備,尤其是指一種適用于濕式蝕刻機的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產品損耗的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備,主要借由具有復數個宣泄孔的擋液板結構搭配風刀裝置的硬體設計,有效使風刀裝置吹出的氣體得以經由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現象防止水滴由宣泄孔落下造成基板顯影不均等異?,F象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險等主要優勢。本實用新型所采用的技術手段如下所述。為了達到上述的實施目的,本實用新型提出一種擋液板結構,適用于一濕式蝕刻機,擋液板結構包括有一***擋板、一與***擋板接合的第二擋板,以及一與第二擋板接合的第三擋板,其主要特征在于:第二擋板具有復數個貫穿第二擋板且錯位設置的宣泄孔。如上所述的擋液板結構,其中***擋板與第二擋板呈正交設置,且第二擋板與第三擋板呈正交設置。如上所述的擋液板結構,其中***擋板、第二擋板與第三擋板圍設成一凹槽的態樣。如上所述的擋液板結構,其中第二擋板的長度介于10厘米(centimeter,cm)至15厘米(cm)之間。安徽鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液銷售公司蝕刻液的配方是什么?
故仍舊會有少量的藥液51噴灑在擋液板結構10上而留下該藥液51的水滴,而該藥液51的水滴亦不能落入該基板20上,以避免基板20的蝕刻不均的現象產生;此外,該輸送裝置30用以承載并運送至少一該基板20于該濕式蝕刻機內運行,并接受濕式蝕刻的噴灑裝置50的制程運作,故該輸送裝置30具有一驅動機構以驅動該滾輪31轉動,以帶動該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風刀裝置40的該***風刀41下端部的方向移動。步驟三s3:使用一設置于該擋液板結構10下方的風刀裝置40對該基板20吹出一氣體43,以使該基板20干燥;在本實用新型其一較佳實施例中,該風刀裝置40設置于該擋液板結構10的一端部,該風刀裝置40包括有一設置于該基板20上方的***風刀41,以及一設置于該基板20下方的第二風刀42,其中該***風刀41與該第二風刀42分別吹出一氣體43至該基板20,以將該基板20上的該藥液51帶往與相反于該基板20的行進方向,以使該基板20降低該藥液51殘留,其中該氣體43遠離該***風刀41與該第二風刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設有一第三夾角θ3,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間。步驟四s4:該氣體43經由該復數個宣泄孔121宣泄;在本實用新型其一較佳實施例中。
避免連接構件11的兩側與操作人員的手接觸的時候,會因操作人員的手沾濕出現手滑的情況,有效的保證了裝置內部構件的連接工作能正常的進行。推薦的,支撐腿2的底端嵌入連接有防滑紋6,在制備蝕刻液的時候,需要將裝置固定的特定的位置,通過支撐腿2將裝置主體1進行支撐固定,在支撐腿2與固定位置的接觸面接觸時,防滑紋6能增大支撐腿2的底端與固定接觸面的摩擦力,使裝置主體1能有足夠的抓地力固定在固定位置上,有效的提高了裝置固定的防滑性。推薦的,過濾部件9的內部兩側嵌入連接有過濾板26,常規的生產方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合,其分散混合性能差,蝕刻液雜質含量多,過濾板26能將蝕刻液內部的雜質進行過濾,使制備出的蝕刻液的雜質被過濾板26過濾出,得到不含雜質的蝕刻液,避免多種強酸直接共混有效的減小了蝕刻液制備的安全隱患。推薦的,過濾部件9設置有一個,過濾部件9設置在連接構件11的內側,過濾部件9與連接構件11固定連接,過濾部件9能將制備出的蝕刻液進行過濾,且過濾部件9能將內部的過濾板26進行拆卸更換,將過濾部件9的內部進行清洗,在將過濾部件9進行連接安裝時,將滑動蓋24向外側滑動。什么制程中需要使用蝕刻液。
為本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖,以及其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖,在本實用新型其二較佳實施例中,開設于該第二擋板12上的宣泄孔121亦呈千鳥排列的直通孔態樣,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離,例如:圖4中所示的w1,其中w1大于圖3的w或圖5的w2,其中w2大于w,而該宣泄孔121的一孔徑a0亦小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內產生毛細現象,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現時,則該水滴不至于經由該宣泄孔121落至下表面,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外,請參閱圖6與圖7所示,為本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的整體結構示意圖,以及擋液板結構運作局部放大圖,其中本實用新型的蝕刻設備1設置于一濕式蝕刻機的一槽體(圖式未標示)內,該蝕刻設備1包括有一如上所述的擋液板結構10、一輸送裝置30、一基板20,以及一風刀裝置40,其中本實用新型主要借由具有復數個宣泄孔121的擋液板結構10搭配該風刀裝置40的硬體設計,有效使該風刀裝置40吹出的氣體43得以由該復數個宣泄孔121宣泄。如何挑選一款適合自己公司的蝕刻液?哪家蝕刻液蝕刻液銷售公司
銅蝕刻液的配方是什么?安徽鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液銷售公司
對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例,基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。實施例一,請參閱圖1-4,本實用新型提供技術方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,包括裝置主體1、支撐腿2、電源線3和單片機4,裝置主體1的底端固定連接有支撐腿2,裝置主體1的后面一側底部固定連接有電源線3,裝置主體1的一側中間部位固定連接有控制器5,裝置主體1的內部底端一側固定連接有單片機4,裝置主體1的頂部一端固定連接有去離子水儲罐14,裝置主體1的頂部一側固定連接有磷酸儲罐15,磷酸儲罐15的底部固定連接有攪拌倉23,攪拌倉23的內部頂部固定連接有攪拌電機13,攪拌倉23的另一側頂部固定連接有醋酸儲罐16,裝置主體1的頂部中間一側固定連接有硝酸儲罐17,裝置主體1的頂部中間另一側固定連接有陰離子表面活性劑儲罐18,陰離子表面活性劑儲罐18的另一側固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐19,裝置主體1的頂部另一側固定連接有氯化鉀儲罐20。安徽鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液銷售公司
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