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來源: 發布時間:2023-05-22

    使用當前級腔室相應的過濾器過濾來自當前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室;若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關;取出被阻塞的所述過濾器。在一些實施例中,所述若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關包括:若所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則關閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關。本申請實施例還提供一種剝離液機臺,包括:依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應連接一存儲箱;過濾器,所述過濾器的一端設置通過***管道與當前級腔室對應的存儲箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接;其中,至少在所述***管道或所述第二管道上設置有閥門開關開關。通過閥門開關控制連接每一級腔室的過濾器相互獨立,從而在過濾器被阻塞時通過閥門開關將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進程,提高生產效率。附圖說明為了更清楚地說明本申請實施例中的技術方案,下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖**是本申請的一些實施例,對于本領域技術人員來講。京東方用的哪家的剝離液?惠州天馬用的蝕刻液剝離液商家

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    所述硫脲類緩蝕劑包括硫脲、苯基硫脲或月桂酰基硫脲中的一種。具體的,所述聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑為聚氧乙烯聚氧丙烯單丁基醚、壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、十二烷基聚氧乙烯醚、二壬基酚聚氧乙烯醚中的一種。采用上述技術方案,本發明技術方案的有益效果是:本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液具有較快的剝離速度,對金屬的腐蝕率低,而且使用壽命長。具體實施方式本發明涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,配方包括10~20wt%二甲基亞砜,10~20wt%一乙醇胺,5~11wt%四甲基氫氧化銨,~1wt%硫脲類緩蝕劑和~2wt%聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去離子水。聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑因為分子中的醚鍵不易被酸、堿破壞,所以穩定性較高,水溶性較好,耐電解質,易于生物降解,泡沫小。硫脲類緩蝕劑呈現弱堿性,所以在酸性介質中能夠起到緩蝕的效果,另外與聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑和n-甲基吡咯烷酮配合可以起到提高處理量的作用。下面結合具體實施例對本發明作進一步詳細說明。

在生產方面,剝離液的純度對于應用領域有所限制,高純度剝離液生產工藝復雜,且對于生產設備、生產環境控制均有較高的要求,整體技術門檻較高。在資金方面,為取得競爭優勢,剝離液生產企業需要在研發、技術、設備方面投入大量資金,因此為實現剝離液產業化生產所需的資金門檻相對較高。新思界產業分析人士表示,剝離液作為半導體制造的關鍵性濕電子化學品,在半導體產業快速發展背景下,剝離液市場需求攀升。就總體來看,剝離液雖然是一種關鍵化工原料,但由于需求量較少,因此市場規模偏小,生產企業由大型濕電子化學品主導,新進入企業難以尋求發展機遇。哪家公司的剝離液的是口碑推薦?

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    所述膠水盛放箱804與所述點膠頭805通過管道連接,所述卷邊輥806與所述膠面收卷輥807通過皮帶連接,所述收卷驅動電機802與所述膠面收卷輥807通過導線連接。本實施例中,所述電加熱箱9與所述干燥度感應器11通過導線連接,所述電氣控制箱12與所述液晶操作面板13通過導線連接。本實施例中,所述主支撐架1由合金鋼壓制而成,厚度為5mm。本實施例中,所述干燥度感應器11與所述電氣控制箱12通過導線連接。本實施例中,所述防濺射擋板704共有兩塊,傾斜角度為45°。本實施例中,所述電氣控制箱12與所述表面印刷結構7通過導線連接,所述電氣控制箱12與所述膠面剝離結構8通過導線連接。具體工作原理為:將印刷品放置于所述印刷品放置箱6中,印刷品進入所述印刷品傳送帶5本文檔來自技高網...【技術保護點】1.一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置,其特征在于:包括主支撐架(1)、橫向支架(2)、伺服變頻電機(3)、電機減速箱(4)、印刷品放置箱(6)、表面印刷結構(7)、膠面剝離結構(8),所述主支撐架(1)上方設置有所述橫向支架(2),所述橫向支架(2)上方設置有所述伺服變頻電機(3),所述伺服變頻電機(3)上方設置有所述電機減速箱(4),所述電機減速箱(4)上方安裝有印刷品傳送帶(5)。ITO剝離液的配方是什么?惠州天馬用的蝕刻液剝離液商家

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