每一所述第二子管道502與所述公共子管道501連通,所述公共子管道501與所述下一級腔室102連通。其中,閥門開關60設置在每一***子管道301上。在一些實施例中,閥門開關60設置在每一***子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些實施例中,閥門開關60設置在每一第二子管道502上。具體的,閥門開關60的設置位置可以設置在連接過濾器30的任意管道上,在此不做贅述。在一些實施例中,請參閱圖4,圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第四種結構示意圖。第二管道50包括多個第三子管道503,每一所述第三子管道503與一子過濾器連通301,且每一所述第三子管道503與所述下一級腔室連通102。其中,閥門開關60設置在每一第三子管道503上。本申請實施例提供的剝離液機臺,包括:依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應連接一存儲箱;過濾器,所述過濾器的一端設置通過***管道與當前級腔室對應的存儲箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接;其中,至少在***管道或所述第二管道上設置有閥門開關。通過閥門開關控制連接每一級腔室的過濾器相互獨立,從而在過濾器被阻塞時通過閥門開關將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進程,提高生產效率。天馬微電子用的哪家的剝離液?江蘇銅鈦蝕刻液剝離液推薦貨源
本發明涉及剝離液技術領域:,更具體的說是涉及一種光刻膠剝離液再生方法。背景技術::電子行業飛速發展,光刻膠應用也越來越***。在半導體元器件制造過程中,經過涂敷-顯影-蝕刻過程,在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后,必須在除去殘余光刻膠的同時不能損傷任何基材,才能再進行下道工序。因此,光刻膠的剝離質量也有直接影響著產品的質量。而隨著電子行業的發展以及高世代面板的面世,光刻膠剝離液的使用越來越多。剝離液廢液中含有光刻膠樹脂、水和某些金屬雜質,而剝離液廢液的處理主要是通過焚燒或者低水平回收,其大量的使用但不能夠有效地回收,對環境、資源等都造成了比較大的影響。有鑒于此,申請人研發出以下的對使用后的光刻膠剝離液回收及再生方法。技術實現要素:本發明的目的是提供一種光刻膠剝離液再生方法。為了實現上述目的,本發明采用如下技術方案:本申請公開了一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,包括以下質量組分:光刻膠剝離液再生方法,包括以下步驟:s1:回收剝離液新液使用后的剝離液廢液,將剝離液廢液經過蒸餾、加壓工序,得出剝離液廢液的純化液體;純化液體中含有酰胺化合物、醇醚化合物以及胺化合物;s2:制備添加劑。合肥配方剝離液銷售公司剝離液的的性價比、質量哪家比較好?
所述印刷品傳送帶(5)一側安裝有所述印刷品放置箱(6),所述印刷品放置箱(6)一側安裝有所述表面印刷結構(7),所述表面印刷結構(7)上方設置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安裝有油墨加壓器(702),所述油墨加壓器(702)下方安裝有高壓噴頭(703),所述高壓噴頭(703)一側安裝有防濺射擋板(704),所述防濺射擋板(704)下方安裝有印刷輥(705),所述表面印刷結構(7)一側安裝有所述膠面剝離結構(8),所述膠面剝離結構(8)上方安裝有收卷調速器(801),所述收卷調速器(801)一側安裝有收卷驅動電機(802),所述收卷驅動電機(802)一側安裝有輥固定架(803),所述輥固定架(803)一側安裝有膠水盛放箱(804),所述膠水盛放箱(804)下方安裝有點膠頭(805),所述點膠頭(805)下方安裝有卷邊輥(806),所述卷邊輥(806)一側安裝有膠面收卷輥(807),所述膠面剝離結構(8)一側安裝有電加熱箱(9),所述電加熱箱(9)下方安裝有熱風噴頭(10),所述熱風噴頭(10)下方安裝有干燥度感應器(11),所述干燥度感應器(11)下方安裝有電氣控制箱(12),所述電氣控制箱(12)上方安裝有液晶操作面板(13)。...【技術特征摘要】1.一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置,其特征在于:包括主支撐架(1)、橫向支架。
實施例1~6:按照表1配方將二甲基亞砜、一乙醇胺、四甲基氫氧化銨、硫脲類緩蝕劑、聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑、n-甲基吡咯烷酮和去離子水混合,得到用于疊層晶圓的光刻膠剝離液。表1:注:含量中不滿100wt%的部分由去離子水補足余量。以cna披露的光刻膠剝離液作為對照例,與實施例1~6所得用于疊層晶圓的光刻膠剝離液進行比較試驗,對面積均為300cm2的疊層晶圓上的光刻膠進行剝離并分別測定剝離周期、金屬鍍層的腐蝕率和過片量(剝離的面壁數量)。對比情況見表2:表2:剝離周期/s金屬腐蝕率/ppm過片量/片實施例1130~15015376實施例2130~15016583實施例3130~15017279實施例4130~15015675實施例5130~15016372實施例6130~15017681對照例180~20022664由表2可知,本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液通過加入硫脲類緩蝕劑和聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,使剝離效率有明顯的提升,對金屬腐蝕率降低20%以上,而且讓過片量提高10%以上。以上所述的*是本發明的一些實施方式。對于本領域的普通技術人員來說,在不脫離本發明創造構思的前提下,還可以做出若干變形和改進,這些都屬于本發明的保護范圍。質量好的做剝離液的公司。
所述硫脲類緩蝕劑包括硫脲、苯基硫脲或月桂?;螂逯械囊环N。具體的,所述聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑為聚氧乙烯聚氧丙烯單丁基醚、壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、十二烷基聚氧乙烯醚、二壬基酚聚氧乙烯醚中的一種。采用上述技術方案,本發明技術方案的有益效果是:本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液具有較快的剝離速度,對金屬的腐蝕率低,而且使用壽命長。具體實施方式本發明涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,配方包括10~20wt%二甲基亞砜,10~20wt%一乙醇胺,5~11wt%四甲基氫氧化銨,~1wt%硫脲類緩蝕劑和~2wt%聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去離子水。聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑因為分子中的醚鍵不易被酸、堿破壞,所以穩定性較高,水溶性較好,耐電解質,易于生物降解,泡沫小。硫脲類緩蝕劑呈現弱堿性,所以在酸性介質中能夠起到緩蝕的效果,另外與聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑和n-甲基吡咯烷酮配合可以起到提高處理量的作用。下面結合具體實施例對本發明作進一步詳細說明。友達光電用的哪家的剝離液?南通什么剝離液聯系方式
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上述組分中,酰胺是用于溶解光刻膠;醇醚是用于潤濕、膨潤、溶解光刻膠的;環胺與鏈胺,用于滲透、斷開光刻膠分子間弱結合力;緩蝕劑,用于降低對金屬的腐蝕速度;潤濕劑,能夠增強親水性,使得剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠。進一步技術方案中,所述的步驟s3中重新制備剝離液新液,制備過程中加入酰胺化合物或醇醚化合物,其中重新制備新液時,加入的純化液體質量分數為:70%-95%,加入的添加劑質量分數為:5%-10%;加入的酰胺化合物質量分數為:0-15%;加入的醇醚化合物質量分數為0-5%。在制備過程中額外加入酰胺化合物以及醇醚化合物是為了調節中心制備的剝離液新液中各組分的質量分數,將配比調節到更優的比例,使得剝離液新液的效果更好。經由上述的技術方案可知,與現有技術相比,本發明具有以下有益效果:本發明對剝離液廢液進行加壓、蒸餾等處理,得出純化液體,該純化液體中所含的物質是剝離液新液中所含有的某些組分,而通過預先制備添加劑,可以在得出純化液體后直接加入添加劑以及原材料,重新配備剝離液新液,使得剝離液廢液得以循環再生,減少資源的浪費以及對環境的危害。江蘇銅鈦蝕刻液剝離液推薦貨源
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